本实用新型是一种晶圆载片清洗治具，其包含二结构相同的放置架且彼此能分离地相互叠合，放置架包含一外框及多个放置单元，放置单元排列设置在外框内，放置单元包含一内框、多个承载件及多个上限位件，内框围绕形成一容置空间，承载件环绕间隔凸设于内框上...

本实用新型是关于一种具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其包含：能分离地叠合的两放置架，各放置架包含外环壁、放置单元及防呆部，放置单元排列受外环壁围绕，各放置单元包含周壁及周壁围成的容置空间，防呆部包含多个卡合凸块，其凸设在外环壁，卡合凸块...