本公开涉及一种用于处理元件(102)的系统(100)。该系统(100)包括转塔组件(200)，该转塔组件(200)包括可绕水平轴(204)旋转的转塔(202)；以及围绕转塔(202)并自水平轴(204)径向对齐的多个端部执行器(206)...

一种3D物体检测方法包括：当(a)物体顶部表面自由地放置在物体安置表面上，或者(b)物体顶部表面不被强制压缩靠向不同于抽吸尖端的参考结构时，捕获物体底部表面3D轮廓图像；当(c)物体底部表面自由地放置在物体安置表面上，或(d)物体底部表...

用于卷带式机器的带卷轴转塔装置包含中心毂和从该中心毂径向延伸的多个臂。第一致动器可以共同旋转多个臂，使得一个臂朝向馈送位置旋转，同时其它臂离开该馈送位置旋转。一旦给定的臂驻留在馈送位置，第二致动器可以使由该臂承载的带卷轴自旋，使得承载元...

本发明涉及一种部件检验过程，其包括定位部件（例如，半导体部件或其它的物体），使得部件侧壁沿对应于侧壁分束器的光学路径设置，所述分束器被配置成用于接收由一组侧壁照明器提供的侧壁照明，以及朝着部件侧壁传递穿过其中的该侧壁照明，并且传递到部件...

基于真空的用于分离部件的系统包括了具有配置成携带部件的进给轨道的部件递送单元，和配置成从进给轨道接收部件的部件接收台。部件递送单元包括真空组合件，其中将所述真空组合件配置成在一组进给轨道部位处施加真空压或真空力以可靠地使前导进给轨道部件...

自动地校正未适当地安装在膜片架上的晶圆的旋转错位包括在检查系统开始晶圆检查过程之前，使用图像捕获装置捕获晶圆的多个部分的图像；数字地确定晶圆相对于膜片架和/或图像捕获装置的视野的一组参考轴的旋转错位角度和旋转错位方向；以及借助于与检查系...

一种多功能晶圆和膜片架操持系统包括晶圆台组件，其具有提供被构造为承载晶圆或膜片架的超平面晶圆台表面的晶圆台；以及下述中的至少一个：展平设备，其被构造为在与晶圆台表面垂直方向上将向下的力自动地施加到翘曲或非平面的晶圆的各部分；移位限制设备...

一种晶圆台结构，其提供了适合于操持晶圆和膜片架的单个晶圆台表面，该晶圆台结构包括具有借助于形成在内基底托盘表面上或中的一组脊状物而形成在其中的一组隔室；布置在一组基底托盘隔室内的可硬化流体可渗透隔室材料；以及形成在基底托盘内表面中的一组...

本发明公开了一种用于加工器件的端部处理器及其方法。该端部处理器包括与器械相配套的配套部分和用于支撑位于支撑表面的薄膜框架的支撑部分。支撑部分包括支撑底座部件，从支撑底座部件延伸的延伸部件，和支撑表面上的真空端口，以有助于支撑表面上的薄膜...

一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图...

一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图...

一种组件板处理设备，配置以处理、装载、抓取、支撑、撷取、及/或转移例如多种不同尺寸的晶圆或基材架或太阳能电池板(“组件板”)。该组件板处理设备包括至少一组件板抓取组件，可在一些不同位置之间移位，每一位置对应特定组件板尺寸。因此，该至少一...

一种用来将组件板（例如，膜框架）从组件板储存站传输至真空桌组合件的系统及方法。该系统包含数个组件板处理件（例如，两个组件板处理件）、以及拾取及放置机构或臂件。该组件板处理件将该组件板从该储存站传输至该拾取及放置机构。该系统包含对准模块或...

基于真空的用于分离部件的系统包括了具有配置成携带部件的进给轨道的部件递送单元，和配置成从进给轨道接收部件的部件接收台。部件递送单元包括真空组合件，其中将所述真空组合件配置成在一组进给轨道部位处施加真空压或真空力以可靠地使前导进给轨道部件...

根据本发明的光学检测系统可以配置成同时采集基底表面所反射的多方向上的光，因此克服了由基底表面外观的不准确或不完整的特征引起的反射强度变化，当仅从单一方向来采集光的时候，所述的反射强度会上升。一个这种系统包括一组光源和一图像采集设备配置成...

一种用于传送半导体部件的系统，包括旋转台结构、第一承载体、第二承载体和成组取放机构。台包括中心轴和和绕轴旋转的多个拾取头。拾取头可旋转移动，从而在处理模块之间传送半导体部件以处理部件。半导体部件从拾取头被逐次传送到第一承载体和第二承载体...

一种用于检测晶片的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、ＸＹ工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、３Ｄ图像和复查图像。采集的图像被转换为图...

一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、ＸＹ工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、３Ｄ图像和复查图像。采集的图像被转换为图...

一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、ＸＹ工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、３Ｄ图像和复查图像。采集的图像被转换为图...