本发明公开了对氯硅烷精馏提纯工序的废气和废液进行处理的方法，其包括：在氯硅烷精馏提纯工序的精馏塔系统中，将塔顶低沸物杂质含量最高的精馏塔内的高杂质废气排出，并将塔釜高沸物杂质含量最高的精馏塔内的高杂质废液排出；收集未排出高杂质废气的精馏...

本发明公开了一种填料式氯硅烷冷凝储存设备，用于对多晶硅生产中的含氯硅烷的尾气中的氯硅烷进行回收，所述储存设备包括：冷凝器，所述冷凝器的上部具有冷媒入口且下部具有冷媒出口，顶部具有不凝性气体出口；储存罐，所述储存罐设在冷凝器下方且与冷凝器...

本实用新型提供一种用于氢化炉的加热装置，包括：底盘；多个加热器；多个电极，通过绝缘体贯穿底盘且多个电极沿底盘圆周方向分N环布置，多个电极被分为三组，每组中的多个电极被分为多对，每对电极的电极头部通过一个加热器相连，且每组中的相邻两对电极...

本实用新型提出了清洗设备，该清洗设备包括：转动轴、喷淋装置、毛刷、驱动器以及用于盛放清洗溶液的溶液容器。其中，喷淋装置设在转动轴上且与溶液容器连通；毛刷设在转动轴上；驱动器与转动轴相连以驱动转动轴旋转。利用该清洗设备可以有效地对多晶硅氢...

本发明提出了处理多晶硅生产废物的方法及其设备，其中，废物包括烟气和废水，烟气含有二氧化硫，废水含有氢氧化钠和氯化钠，其中，该方法包括：利用烟气对废水进行加热蒸发处理，以便使氯化钠结晶，从而获得含有氯化钠晶体的废水；以及使废水与烟气进行接...

本发明公开了硅粉传输设备以及具有其的合成三氯氢硅的系统。其中，硅粉传输设备包括：干燥罐和进料罐，干燥罐用于干燥硅粉；进料罐与干燥罐相连，并且进料罐适于向合成炉中供给硅粉，其中，进料罐包括：进料罐本体，进料罐本体内限定出硅粉容纳空间；第一...

本发明提出了高温水循环及闪蒸一体罐和用于制备多晶硅的系统。高温水循环及闪蒸一体罐包括：罐体，罐体内限定出闪蒸空间，用于对闪蒸空间内的高温水进行闪蒸冷却；高温水进口，高温水进口设置在罐体上，并且适于与还原炉相连；冷却水出口，冷却水出口设置...

本实用新型公开一种用于气相色谱仪的液体进样装置，包括：与第一路氮气源连通的压力调节阀；与第二路氮气源连通的气体切换阀，气体切换阀的第一端与气相色谱仪的液体进样阀样品入口相连通；和用于容纳液体样品的样品瓶，样品瓶的第一端与压力调节阀连通，...

本实用新型公开一种12对棒还原炉喷嘴，属硅还原领域。喷嘴结构是：喷嘴为一体包括还原炉底盘、喷头、六边型卡头、喷嘴丝口，喷嘴通过喷嘴丝口固定于还原炉底盘，喷嘴经六边型卡头旋紧。针对12对棒还原炉底部进料管分布结构，外围8个喷嘴以中心喷嘴为...

本发明提出了清洗设备，该清洗设备包括：转动轴、喷淋装置、毛刷、驱动器以及用于盛放清洗溶液的溶液容器。其中，喷淋装置设在转动轴上且与溶液容器连通；毛刷设在转动轴上；驱动器与转动轴相连以驱动转动轴旋转。利用该清洗设备可以有效地对多晶硅氢化炉...

本发明主要用于一种含硅粉废水的过滤净化处理，装置利用厢式压滤机，添加珍珠岩或硅藻土絮凝剂压滤净化含硅废水的处理方法，系统由厢式压滤机机组、渣浆泵、珍珠岩或硅藻土清水混合箱和搅拌机构成过滤系统，主要工艺步骤包括：添加珍珠岩或硅藻土在清水混...

本发明公开一种用于气相色谱仪的液体进样装置，包括：与第一路氮气源连通的压力调节阀；与第二路氮气源连通的气体切换阀，气体切换阀的第一端与气相色谱仪的液体进样阀样品入口相连通；和用于容纳液体样品的样品瓶，样品瓶的第一端与压力调节阀连通，第二...

本实用新型涉及一种疏通放空管内积渣的装置，特别是处理多晶硅生产过程中产生废气及残液的装置，适用于多种氯硅烷或氯化氢混合的有害气体，属废气处理领域。疏通放空管内积渣的装置，安全液封罐的顶部装有一根放空管，安全液封罐上侧部接有淋洗液进口，安...

本实用新型提出了一种多晶硅废气淋洗系统。该系统包括：第一淋洗塔，利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第二淋洗塔，利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第一淋洗液循环池用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；第二淋洗液循环池，用于接...

本实用新型全自动上下一体行车式往返刮板机由控制器、行车驱动装置、提升驱动装置、双轨道导轨、行车、刮架、上刮板和下刮板组成；行走驱动装置提供行车来回往返移动的动力，提升驱动装置提出上刮板和下刮板同时上升及下降的动力，双轨道导轨分别安装在渣...

本发明提出了一种多晶硅废气淋洗系统。该系统包括：第一淋洗塔，利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第二淋洗塔，利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第一淋洗液循环池用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；第二淋洗液循环池，用于接收来...

本发明涉及一种全自动上下一体行车式往返刮板机，属废气处理领域。刮板机由控制器、行车驱动装置、提升驱动装置、双轨道导轨、行车、刮架、上刮板和下刮板组成；行走驱动装置提供行车来回往返移动的动力，提升驱动装置提出上刮板和下刮板同时上升及下降的...

本发明一种废气淋洗处理工艺及装置，特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置，用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体。属生产多晶硅产生的废弃物处理领域。该发明是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗处理，通过控制淋...

本实用新型涉及的一种用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备。属新能源及新材料技术领域。本实用新型将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中，同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯，先将多晶硅棒料切割成多晶硅片料，再将多晶硅片料切割...

本发明涉及的一种用于制作化学气相反应沉积生长多晶硅的硅芯专用金刚石外圆切割机及其加工方法。属新能源及新材料技术领域。本发明将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中，同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯，先将多晶硅棒料切割成多晶硅片料，再...