改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备制造技术

本发明专利技术一种废气淋洗处理工艺及装置，特别涉及采用改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置，用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体。属生产多晶硅产生的废弃物处理领域。该发明专利技术是在实验的基础上对多晶硅生产所产生废弃物进行的淋洗处理，通过控制淋洗所产生的废渣形态，利用专门的处理装置，设计出了处理能力大、残渣分离能力强和采用机械捞渣的废气处理装置。工艺采用10-15%NaOH碱液淋洗处理，通过碱液对废弃物进行淋洗，除去废弃物中的有害成分氯硅烷/氯化氢；产生的废渣通过全自动上下一体行车式往返刮板机刮入搅拌池，随后送入新型箱式压滤机进行固液分离，分离得到的干渣送渣场堆存，滤液回到淋洗塔循环池重复利用，净化后的尾气达到国家排放标准后排放。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备，特别是一种用以处理多种氯硅烷或氯化氢有害气体废气淋洗处理工艺。属生产多晶硅产生废弃物处理领域。
技术介绍
现有公知改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗装置是由淋洗塔、喷淋泵、单独收集废液池(水池中大量渣多由人工打捞)构成，其喷淋液是以水或氢氧化钙为主，废液输送入污水处理站处置。但是，单独收集废液池产生大量的渣是由人工打捞渣，工作量较大，且要配备专门的打捞渣运输工具。废渣含水率高且有腐蚀性，运输设施容易腐蚀损坏，运输和人工捞渣过程对周围环境污染较为严重。淋洗过程中喷淋液不能循环利用，造成药剂和喷淋水用量加大，增加废液产生量和生产成本。此外，该类废气淋洗装置无渣水分离机械设施，废液不能循环利用。
技术实现思路
本专利技术目的在于克服上述现有技术不足，提出一种对现有改良西门子法生产多晶硅所产生废气进行的废气淋洗处理工艺及专用装置。该废气淋洗处理工艺及专用装置不仅能方便实现渣水分离的机械操作，而且让废液重复循环利用，解决了人工捞渣问题，提高废液重复利用率，同时提高废气处理装置的处理能力。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及装置，其特征在于采用NaOH碱液为淋洗液对废气在淋洗塔塔体（18）内进行淋洗处理，去除从采用改良西门子法生产多晶硅工艺中排出废气中的氯硅烷或氯化氢有害成分，净化处理后的废气经过安全液封罐（22），废气达到国家排放标准后排放；净化处理后的废水落入每个淋洗塔（1）的淋洗液收集沟（2）中，淋洗液收集沟（2）收集的废水再集积到分流沟（15）中最后以自流方式流入渣水收集池（14），每个渣水收集池（14）上装有一台全自动上下一体行车式往返刮板机（4），渣水收集池（14）内通过全自动上下一体行车式往返刮板机（4）将废渣刮入或收集到搅拌池（8），随后搅拌池（8）内...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋东明，宋良杰，方琼，蒋万顺，李才勇，周祖萍，沈宗喜，丁丙恒，章华，邓亮，
申请(专利权)人：昆明冶研新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：