一种包含加工头３的等离子体表面加工设备。加工头３包括其上设置有第一种流道５０ａ的电场施加电极５１和其上设置有第二种流道５０ｂ的接地电极５２，通过在电极５１、５２之间施加电场产生等离子体放电。加工头３的下表面与基材Ｗ平行相对。在加工头３的...

本发明目的在于提供一种能在不导致破损的情况下以高生产率得到半导体芯片的半导体芯片的制造方法。本发明的半导体芯片的制造方法，其中包括：在形成有电路的半导体晶片上粘贴切割用粘合带的粘合带粘贴工序，所述切割用粘合带具有含通过光照产生气体的气体...

均匀氧氮化物和氮化物膜可通过不依赖于的氮化时间或氮化温度的低温和高速氮化反应而形成。将固体电介质在３００（托）或更高的压力下提供在相互相对的一对电极的至少一个相对表面上，将包含等于或低于０．２％的氧化物的氮气引入所述一对相对电极之间的空...

本发明提供一种可以以高生产率制造厚５０μｍ以下例如２５～３０μｍ左右的极薄ＩＣ芯片的ＩＣ芯片制造方法。本发明至少包括：使至少在一个面的粘合层中含有在光照射下产生气体的气体产生剂的双面粘合带的含有所述气体产生剂的面、与晶片贴合，将所述晶片...

为了提高移除例如晶片的基板（９０）的外周部上的不需要物质的效率，以及为了防止颗粒粘附到所述基板（９０）上，提出本发明。反应性气体从喷射喷嘴（７５）以如此方式朝向所述基板（９０）的所述外周部的目标点（Ｐ）喷射出，即当从与所述基板（９０）正...

本发明提供一种具有感光性、即使不使用交联剂也可以进行碱成像的感光性组合物。本发明涉及一种含硅感光性组合物，其特征在于，包括：具有用上述通式（１）（式中，Ｒ↓［１１］～Ｒ↓［１ｎ］的至少一种为Ｈ，ｎ为１以上的整数）表示的结构，Ｒ↓［１１］...

一种用于处理基板的外周的方法，其中涂覆在基板的外周部上的不需要的物质通过使其与反应性气体接触而被去除，所述方法包括步骤：　　　　使所述基板与台的支撑表面接触，以便所述基板被支撑在所述支撑表面上；　　　　加热所述基板的外周部；　　　　将所...

通过使用常压等离子体形成第Ⅲ族氮化物如ＧａＮ的薄膜。将反应室（１２）充满在约４０ｋＰａ的接近常压下的纯氮。将ｃ－面蓝宝石衬底（９０）置于电极（１４）上。通过加热器（１５）使衬底温度达到６５０℃。在电极（１３，１４）之间施加电场以形成放电...

本发明的目的是提供连接性可靠的涂布颗粒。本发明提供了涂布颗粒，它含有作为核心的有金属表面的颗粒，是用有机化合物通过能够结合于金属的官能团（Ａ）对所述核心颗粒进行部分表面修饰所得的。

一种固化性树脂组合物，其特征在于，是含有环氧树脂、具有能与环氧基反应的官能团的固体聚合物、和环氧树脂用固化剂的固化性树脂组合物，且将固化物用重金属染色后用透射型电子显微镜观察时，在由树脂组成的基体中观察不到相分离结构。

制备质子导电膜的方法、由该方法生产的质子导电膜以及使用该质子导电膜的固体聚合物类型燃料电池。所述质子导电膜具有带硅氧共价键的交联结构并在膜中具有下列式（１）表示的含磺酸交联结构，所述方法特征在于它包括第一步，制备包括含巯基低聚物（Ａ）的...

本发明提供一种可以防止导通不良且可以降低连接电阻的导电性微粒，该导电性微粒的制造方法以及用于制造该导电性微粒的无电解镀银液。该导电性微粒的特征在于，由基材粒子、在上述基材粒子表面形成的含镍的基底层以及利用无电解镀银在上述基底层的表面上形...

本发明提供一种导电性微粒以及使用该导电性微粒的各向异性导电材料，所述导电性微粒抑制了伴随着电极的细距化而产生由导电性微粒引起发生漏电流，连接电阻值低，并且导电可靠性优异。导电性微粒的基体材料表面被导电性膜包覆，上述导电性膜在表面具有隆起...

本发明的目的在于提供固化后的机械强度、耐热性、耐湿性、挠性、耐冷热循环性、耐焊锡回流性、尺寸稳定性等优良且能表现出高粘接可靠性或高导通可靠性的固化性树脂组合物、以及使用该固化性树脂组合物的粘接性环氧树脂膏、粘接性环氧树脂薄片、导电连接膏...

本发明的目的是提供表现出高减振性和高隔音性的隔音元件，用于提供此元件的减振材料和用于形成所述减振材料的树脂组合物。本发明提供第一种用于减振材料的树脂组合物，包含１００重量份含氯热塑性树脂、和２０至２００重量份平均有１２至１６个碳原子的氯...

一种用于减振材料的树脂组合物，包含１００重量份氯含量为２０至７０％（重）的含氯热塑性树脂和５０至３００重量份氯化度为３０至７０％（重）的平均碳原子数１２－１６的氯化石蜡与氯化度为３０至７０％（重）的平均碳原子数２０－５０的氯化石蜡的混合...

本发明提供具有良好的隔音性及成型性的隔音材料。本发明的隔音材料的特征是：在热塑性树脂发泡体中含有无机化合物，且相对于１００重量份的热塑性树脂，含有３０～３００重量份的无机化合物。因此，其具有良好的隔音性及成型性，可以采用公知的成型方法将...

真空阀１５包括：将真空力供给阀体７１的压力控制腔８３，它能将阀工作腔２５与真空通道连通；一检测阀６８，它能将真空力引入压力控制腔８３中；一由液体检测隔膜６０直接驱动的活塞６５，其中活塞６５驱动检测阀６８；和一开启时间调节阀，将该阀打开以...

本发明提供可以通过低浓度碱水溶液或中性水显影，并可以容易地通过臭氧水剥离，另外，不易残留残渣，可以减少成本和环境负担的正性光致抗蚀剂以及通过使用该光致抗蚀剂的抗蚀图案形成电路的结构体的制造方法。所述光致抗蚀剂是含有具有结合了２个或２个以...

本发明提供能用于例如环氧类化合物等的交联反应的碱增殖剂，利用碱的作用产生新的碱，并且可高效率地进行碱增殖反应的碱增殖剂及使用该碱增殖剂的碱反应性固化性组合物。使用上述式（１）表示的碱增殖剂（式（１）中，Ｘ表示氢原子，取代的烷基、或未取代...