本实用新型公开了一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，属于电路板生产技术领域。所述吸尘装置包括：吸尘组件(2)、过滤单元(3)、控制单元(4)及鼓风机(6)；吸尘组件(2)设置在LDI设备的立柱上，过滤单元(3)设置在LDI设备的平台(...

本实用新型公开了一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，属于电路板生产技术领域。根据本实用新型的标记结构包括：DMD(1)，光刻物镜(2)和对准标记模块；其中，DMD(1)和光刻物镜(2)为LDI设备的结构，对准标记模块与LDI设备上的...

本实用新型涉及一种用于激光直接成像设备的多光路双管水冷结构，属于光路冷却技术领域。所述水冷结构包括：双管水冷块(1)、进水管(2)、出水管(3)和分水底座(4)，进水管(2)和出水管(3)的一端均与双管水冷块(1)连接，双管水冷块(1)...

本实用新型涉及一种压板装置，属于电路板生产技术领域。本实用新型所述的压板装置包括工作台、固定压板结构组件、活动压板结构组件；固定压板结构组件设置在工作台的前端并且其位置相对于工作台固定；活动压板结构组件设置在工作台的后端并且平行于固定压...

本实用新型公开了一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。所述改进装置包括：DMD承载台，夹角旋转块和嵌入底座，还包括一同连接至夹角旋转块的倍率调节装置；夹角旋转块中空板的定位外圆嵌入底座的定位内圆中，夹角旋转块还包括伸长的板件...

本发明公开了一种基于垂直双台面结构的多工位数字光刻装置和方法，属于光刻系统技术领域。本发明提供的光刻装置及方法，通过采用触发对位模式，基于曝光工作面、对位工作面、上下板操作面分别处于不同垂直工位的垂直双台面结构，在垂直空间上，为两个台面...

一种LDI设备吸盘压板装置，包括吸盘(1)、固定压板机构(2)和移动压板机构(3)，固定压板机构(2)位于吸盘(1)一端。移动压板机构(3)包括导轨(302)、滑块转接件(303)、压板(301)、气缸(305)和压板转接件(306)，...

本实用新型公开了一种曝光设备的镜筒防撞保护装置，属于曝光设备技术领域。本实用新型的曝光设备的镜筒防撞保护装置，安装于曝光设备的曝光装置中的镜筒的下方，包括镜筒后固定板、镜筒底部防护板、镜筒前防护板、右安装板、光纤传感器和左安装板；通过设...

本实用新型公开了一种提高曝光机曝光精度和抗干扰能力的触发电路，属于曝光机技术领域。所述触发电路由差分单端转换电路、信号分路电路、电源降压电路和信号输入输出接口电路组成；能够同时输出多路触发脉冲，可以有效地将差分信号反馈给DMD数字微镜，...

本实用新型公开了一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备，属于曝光技术领域。通过提供一种分段式真空吸盘，其中一段吸盘主体划分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀；另外一段吸盘主体划分为N行，每一行连接一个横向独立电磁阀；在对小尺寸PCB板进...

本发明公开了激光直写设备中多路光路校准系统及方法，属于曝光技术领域。所述方法通过成像转换组件对各光路所投的图像进行转换，像经过成像转换组件透镜组后变成平行光通过校准光路的各光学元件(全反镜+透反镜)，最终经CCD物镜将平行入射的光线成像...

本实用新型公开了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，属于曝光技术领域。本实用新型的调节成像光路倍率及夹角的装置，包括DMD承载台、夹角调节装置和底座，其中DMD承载台用于承载DMD组件，包括至少三个倍率调节装置；通过旋转倍率调节装置上的手...

本实用新型公开了一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备，属于光刻机镜头领域。镜头污染防控装置包括壳体和进气管，壳体为筒状结构，筒壁上沿竖直方向开有槽，槽的深度小于筒壁高度；壳体上开有进气口，进气口与槽相通；进气管用于向槽内通入气体...

本实用新型公开了一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机，属于激光直写曝光机技术领域。通过提供一种无水管接头的水冷装置，解决了现有激光器中存在漏水风险导致停机的问题；进一步的，通过将激光二极管设置为上下两层，布局紧凑，减小了激光器的体...

本实用新型公开了一种电子图形资料自动检索和应用的装置，属于印刷电路板制造和检测领域。本实用新型提供了一种典型的图形应用部件就是激光直接成像设备。该设备通过在实现曝光区精确定位的前提下，将数字化的图形资料通过激光扫描的形式转印在PCB板件...