一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，属于电路板生产技术领域。所述吸尘装置包括：吸尘组件(2)、过滤单元(3)、控制单元(4)及鼓风机(6)；吸尘组件(2)设置在LDI设备的立柱上，过滤单元(3)设置在LDI设备的平台(5)的一侧，吸尘组件(2)和过滤单元(3)之间由气管连接；吸尘组件(2)包括吸嘴(21)和吸尘盒(22)，吸嘴(21)嵌入安装于吸尘盒(22)中；控制单元(4)设置在所述平台(5)上，过滤单元(3)与控制单元(4)之间由气管连接；并且，控制单元(4)通过气管连接至鼓风机(6)；控制单元(4)用于控制过滤单元(3)和鼓风机(6)之间的管路的通断。通断。通断。

【技术实现步骤摘要】
一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置


[0001]本技术涉及一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，属于电路板生产


技术介绍

[0002]在PCB板生产或半导体光刻过程中，用于承载PCB板或晶圆的吸盘载体必须要保证完全清洁，若吸盘载体表面有灰尘、纸屑等细小颗粒物，这些颗粒物会附着在待曝光的PCB板或晶圆上，从而会导致激光直写曝光设备(laser direct imaging,LDI)曝光出来的图形不清晰或者不完整以致曝光失败。
[0003]LDI设备中，传统的除尘方式通常在固定的时间或者曝光完成固定作业量后进行除尘，需要停止生产，并且由操作人员将带粘尘纸卷的滚轮放置在吸盘台面上，由人工进行来回滚动以达到除尘的目的；这种方法不仅耗时耗力，且效果不稳定，除尘效率较低。
[0004]现有的自动吸尘装置中，例如，CN206348593U公开的一种LDI自动吸尘装置，能够将PCB板的除尘工艺由曝光前延伸到曝光过程中；然而其中需要另外增加工业吸尘器，不仅占用空间，同时也增加了设备成本。

技术实现思路

[0005][技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述吸尘装置包括：吸尘组件(2)、过滤单元(3)、控制单元(4)及鼓风机(6)；其中，所述吸尘组件(2)设置在所述LDI设备的立柱上，位于吸盘(1)的上方，所述过滤单元(3)设置在所述LDI设备的平台(5)的一侧，所述吸尘组件(2)和所述过滤单元(3)之间由气管连接；所述吸尘组件(2)包括吸嘴(21)和吸尘盒(22)，所述吸嘴(21)嵌入安装于所述吸尘盒(22)中；所述控制单元(4)设置在所述平台(5)上，所述过滤单元(3)与所述控制单元(4)之间由气管连接；并且，所述控制单元(4)通过气管连接至鼓风机(6)；所述控制单元(4)用于控制所述过滤单元(3)和所述鼓风机(6)之间的管路的通断。2.根据权利要求1所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述吸嘴(21)的进气口沿着所述吸嘴的前缘形成为一条窄缝，并且所述吸嘴(21)的出气口为多个，多个所述出气口与所述吸尘盒(22)上的多个开口一一对应，所述吸尘盒(22)的多个开口均安装有开口接头(23)，所述吸尘组件(2)通过多个开口接头(23)及多根气管连接至所述过滤单元(3)。3.根据权利要求1所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述控制单元(4)采用气控阀，通过控制所述气控阀的通断，从而控制所述吸尘装置的除尘功能的开启与关闭。4.根据权利要求3所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述控制单元(4)的气控阀采用三通气控阀，所述三通气控阀包括两个进气口和一个出气口，所述两个进气口分别连接至过滤单元(3)和吸盘(1)，所述出气口通过管路与鼓风机(6)连接。5.根据权利要求4所述的一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，其特征在于，所述LDI设备在进行曝光作业时，所述控制单元(4)的三通气控阀连接至所述过滤单元(3)的进气口与所述出气口...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖燕青，徐彦文，王翰文，陈海巍，王方江，
申请(专利权)人：江苏影速集成电路装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：