一种调节成像光路夹角的改进装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。所述改进装置包括：DMD承载台，夹角旋转块和嵌入底座，还包括一同连接至夹角旋转块的倍率调节装置；夹角旋转块中空板的定位外圆嵌入底座的定位内圆中，夹角旋转块还包括伸长的板件(21)，板件(21)通过夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)连接，以通过调节夹角螺杆(22)而使夹角旋转块旋转。所述改进装置由于弹性顶紧机构(23)的设置，以及在夹角旋转块嵌入底座的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)以限制其离心，从而在夹角调节时使得DMD承载台保持水平，保证光轴不会倾斜；并且保证上部机构不会偏离中心轴线。线。线。

【技术实现步骤摘要】
一种调节成像光路夹角的改进装置


[0001]本技术涉及一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光


技术介绍

[0002]在采用LDI(laser direct imaging)曝光机的PCB行业或半导体行业中，光路调节是非常重要的一个环节，光路调节的调整精度直接影响图形的曝光质量。并且，在光路调节过程中，通常需要调整DMD(Digital Micromirror Device)曝光系统，使其与投影物镜的像面实现共焦，同时调整DMD曝光系统的角度，使投影的图像与曝光运动方向的角度达到设计要求，从而使曝光质量得到提升。
[0003]专利CN211427045U提供了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；并且在需要调节投影的图像与曝光运动方向的角度时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，带动DMD承载台位置的改变以达到夹角调节的目的。
[0004]然而，专利CN211427045U提供的调节本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述改进装置包括：DMD承载台(1)，夹角旋转块(2)和底座(3)，三者均为中空结构以便光路通过；其中，所述底座(3)和所述夹角旋转块(2)通过螺钉连接，所述夹角旋转块(2)和所述DMD承载台(1)通过弹性部件连接；所述改进装置还包括至少三个倍率调节装置(11)，所述倍率调节装置(11)和所述DMD承载台(1)通过螺纹方式一同连接至所述夹角旋转块(2)；所述夹角旋转块(2)中空板的定位外圆嵌入所述底座(3)的定位内圆中，所述夹角旋转块(2)的中空板还包括伸长的板件(21)，所述板件(21)与夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)接触，以通过调节夹角螺杆(22)而使所述夹角旋转块(2)旋转。2.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述夹角螺杆(22)和所述弹性顶紧机构(23)分别设置于螺杆固定座(4)两侧；所述螺杆固定座(4)固定在所述底座(3)上。3.根据权利要求2所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述夹角螺杆(22)与所述螺杆固定座(4)的螺纹孔(42)相配合，所述弹性顶紧机构(23)与所述螺杆固定座(4)的固定孔(43)相配合。4.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述倍率调节装置(11)和所述DMD承载台(1)能够与所述夹角旋转块(2)作为整体一同旋转。5.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖燕青，王方江，符祥震，陈海巍，程珂，
申请(专利权)人：江苏影速集成电路装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：