在溅射成膜源中，在隔着空间(20)相向配置的靶(21a、21b)的各自的背面分别设置有由永磁体(22a、23a)和磁轭(24a)构成的磁路以及由永磁体(22b、23b)和磁轭(24b)构成的磁路，用于产生屏蔽等离子体的磁感线(27)的永...

本实用新型提供一种低损伤磁控平面阴极，包括基座、平面阴极组件、接地阳极和辅助阳极；所述基座任意角度放置，所述平面阴极组件固定连接在基座顶端相对位置，所述平面阴极组件相对一侧两端分别固定连接有挡板，所述挡板与平面阴极组件固定连接形成工作腔...

本实用新型提供一种低损伤磁控旋转阴极；包括底板和阳极框；底板任意位置放置，阳极框固定连接在底板顶端，阳极框内设置有与底板顶面固定连接的水冷阳极板，水冷阳极板上开设有第一通口，第一通口内设置有与底板固定连接的气路板，底板上靠近水冷阳极板一...

本申请提供了一种采用磁控溅射成膜的方法，其包括以下步骤：在磁控溅射设备中靠近靶材的第一区域通入反应气体Ar，靶材连接于阴极；在磁控溅射设备中靠近底层的第二区域通入保护气体，保护气体进入第二区域前，经由正电线圈或正电极，反应生成带正电荷的...