本发明提供了一种晶圆承载装置、晶圆测试设备及其晶圆测试方法，其中，所述晶圆承载装置，包括：承载盘，包括承载面，所述承载面适于承载晶圆，其上设置有多个凸台，所述凸台的顶部设置有真空吸孔，以适于通过对所述承载盘抽真空来吸附所述晶圆；支撑单元...

本发明公开了一种光学测量组件、半导体光学膜厚和线宽测量装置与方法，所述光学测量组件，包括：光阑底板，所述光阑底板上设置多个通孔，适于根据光学测量的需要选择透光的通孔，其它通孔进行遮蔽。本发明所提供的光学测量组件，能够根据测试需求快速的变...

本发明公开了一种半导体测量机台内部温度控制系统及方法，用于半导体测量机台内部的温度控制，机台主体内部围绕测量平台设置有隔热空间，机台主体上设置有进风加热组件，热源及所述光源上均设置有制冷组件，光学镜头及测量平台上均设置有第二加热单元，加...

本实用新型公开了光学镜头组件用多光路精密调节装置，用于光学镜头组件中多光路的精密调节，调节装置包括底板、反射组件、球体组件以及干涉仪；反射组件的数量为多个，包括调整支架和反射镜；球体组件第一球体支架和反射球体；干涉仪用于出射、接收平行光...

一种紧凑型半导体检测盒，包括底板、第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板，第一支撑板和第二支撑板之间从后到前依次安装有相机支架、第一光学反射镜支架、第二光学反射镜支架、第一照明安装板、第二照明安装板和摄像头安装板；还包括驱动器和光源控制板，...

一种选配式AOI电箱，包括箱体，所述箱体包括底框、前面板、后面板和上盖板；底框由底板以及连设于底板左右两侧的侧板构成；使箱体内界定形成一容腔；容腔内设置有多个用于安装电气元件的安装工位；多个安装工位上分别定位有断路器转接件、滤波器安装件...

本实用新型公开了一种多工位上片及调节装置，用于片状物体检测时的上片、定位和测量，该装置具有承载台、上片支撑部、测量支撑部，装置被配置成：上片支撑顶针向上穿出上片支撑穿孔后支撑片状物体以构成第一工位；由承载工作台支撑片状物体以构成第二工位...

一种便于插拔接线的集成式配电箱，配电箱包括箱体、电路板、电气元件。箱体包括底板、后板和第一侧板，相对固定连接形成一整体结构，该整体结构上可拆卸连接有顶板和第二侧板，构成五者合围成一容腔，前端为敞口；敞口处沿竖直方向铰接有一连接板。箱体外...

一种基于晶圆承载台三维形貌快速聚焦的方法，包括采集：大范围聚焦采集形貌标定晶圆在晶圆承载台上时的三维形貌特征信息，作为形貌标定数据；使用过程包括：一、载入实测晶圆，利用当前光学系统对晶圆的参考测量点大范围聚焦得到实际焦点值；利用形貌标定...

本实用新型公开了一种镜头座及其镜头组件，用于多个光学镜头组件的集成安装，镜头座包括一体成型的座体，座体上开设垂直安装孔、斜向安装孔、顶部基准平面、底部基准平面、斜向基准平面。镜头座的下方具有焦面，定位观测光路组件、检测光路组件分别装配在...

本实用新型公开了一种多功能承载台，用于片状物体检测时的承载、定位，该承载台包括承载底座、承载工作台，承载工作台具有位于上方的用于支撑片状物体的上支撑部，该上支撑部具有位于中心部位的内圈区域和位于内圈区域外围的外圈区域，承载工作台在外圈区...

本实用新型公开了一种多方向上下料自动光学检测盒，用于片状物体的光学检测，包括一盒体结构，该盒体结构包括作为检测盒运动平台的底板和竖立在所述底板上表面的多个侧立支架；所述盒体结构在其中至少两个侧立支架上开设有用于片状物体上下料的孔口，各所...

本发明公开了一种带图像识别的自动聚焦方法、装置、计算机设备和存储介质，方法包括：选择开启图像系统和/或聚焦系统；依据获取的成像光束和/或聚焦光束进行自动聚焦；当选择同时开启图像系统和聚焦系统时，同时采集图像系统的多幅图像信息和聚焦系统的...

一种晶圆解键合方法，获得解键合工位的第一图像，处理转换为坐标系统，获得刀尖位置(row

一种晶圆搬运机械手位置教具的示教方法，包括：一、根据量测设备中晶圆承载工位上的各PIN的位置，对教具圆盘的背面相应位置贴上压力传感器，并将压力传感器的出线接至信号采集卡；二、将圆盘定位于机械手上，使圆盘的各压力传感器分布位置与承载工位各...

本发明公开了一种晶圆厚度实时测量装置，包括光学测量模块、传动模块、数据分析模块；光学测量模块被配置成：从第一光源、第二光源发射的光束经由分光器件合束后形成第一光路，第一光路经由反射器件被引到物镜，物镜将光束聚焦到晶圆表面；第一光路由晶圆...

本发明公开了一种同步信号采集处理方法、装置、计算机设备和存储介质，方法包括：标定出系统平均延时dt；根据接收到的第二位置脉冲信号并延时dt时间后输出脉冲控制信号以启动采集光电信号数据；根据控制脉冲采集电机的电机第二位置数据；计算出第二设...

本实用新型涉及镜头固定设备技术领域，本实用新型公开了一个光学镜头固定架，包括底座，所述底座的内部插设有拆装机构，所述拆装机构包括拉杆，所述底座的内部插设有拉杆，且拉杆的底端固定有拉块，所述拉杆的表面固定套接有第一固定块，所述拉杆的表面套...

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体光学检测设备用分类装置，包括箱体，所述箱体的下方开设有放置仓，且放置仓内安装有转动杆，所述转动杆位于箱体外侧的一端固定安装有转盘，所述转动杆的表面外接有连接套，且滑块的下端开设有凹槽，所述滑...

本实用新型涉及超声清洗技术领域，具体为一种光学镜片超声清洗装置，包括装置主体，所述装置主体包括盒体，所述盒体的一端铰接安装有网槽，所述盒体的外部设置有防护机构，所述防护机构包括支撑板，所述盒体的底端固定安装有支撑板，所述支撑板的底端固定...