一种镜头座及其镜头组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镜头座及其镜头组件，用于多个光学镜头组件的集成安装，镜头座包括一体成型的座体，座体上开设垂直安装孔、斜向安装孔、顶部基准平面、底部基准平面、斜向基准平面。镜头座的下方具有焦面，定位观测光路组件、检测光路组件分别装配在各所述垂直安装孔和斜向安装孔中，定位观测光路组件、检测光路组件的各入射光路、反射光路具有共同的位于焦面上的焦点；本方案将各光学镜头组件集成在一个镜头座上，实现所有镜头共面共焦点，满足不同配置的量测或成像使用情况，省去了分步对焦的步骤，提高了整体效率，同时省去了运动台分步运动，降低了运动台可靠性、重复定位精度要求，节省了成本。节省了成本。节省了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种镜头座及其镜头组件


[0001]本技术涉及光学检测设备
，特别涉及集成电路制造和检测的一种镜头座及其镜头组件。

技术介绍

[0002]在集成电路的制造和检测设备内，有工况会要求使用多个光路对被测件的某一点进行成像或量测。通常方案为：不断移动各组光学测量单元，并依次对被测元件的测量点进行对焦；或者各组光学测量单元保持固定，不断移动被测元件，使测量点依次移动到各光学测量单元的焦点位置。常规测量方案都对运动平台的可靠性和重复定位精度提出了较高的要求，增加了设备的成本，多次的对焦过程也会影响整个成像或量测的效率。针对于此，需要将各光学测量单元集成在一个镜头座中，在专利技术人对镜头座以及集成到机头座上的各组件的研究过程中发现，现有镜头座用于初步定位的经由机械加工实现的结构不易加工、不易使用，要求精度很高，造成各光学测量单元集成到镜头座上的初步定位偏差大、定位时间长，效率低。
[0003]有鉴于此，如何解决现有镜头座用于集成各光学测量单元时存在的初步定位偏差大、定位时间长、效率低等问题，便成为本技术所要研究解决的课题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种镜头座及其镜头组件，以解决现有镜头座用于集成各光学测量单元时存在的初步定位偏差大、定位时间长、效率低等问题。
[0005]为达到上述目的，本技术的第一方面提出了一种镜头座，用于多个光学镜头组件的集成安装，所述光学镜头组件包含定位观测光路组件和检测光路组件，其创新点在于：
[0006]所述镜头座包括一体成型的座体，所述座体上开设有一个由座体顶部垂直贯穿至所述座体底部的垂直安装孔，所述座体顶部设置有与垂直安装孔的中心线相垂直的顶部基准平面，所述座体底部设置有与垂直安装孔的中心线相垂直的底部基准平面；
[0007]所述座体上在所述垂直安装孔的周向开设有多个由座体侧边斜向贯穿至座体底部的斜向安装孔，所述座体的侧边设置有与各自所述斜向安装孔的中心线相垂直的斜向基准平面；
[0008]所述座体底部设置有一腔体，所述垂直安装孔中心线的延长线及各所述斜向安装孔中心线的延长线穿过所述腔体；
[0009]所述镜头座被配置成：多个所述斜向安装孔中的至少两个相对于垂直安装孔的中心线斜向对称，所述垂直安装孔或所述斜向安装孔用于安装所述定位观测光路组件和检测光路组件，在其中一个用于安装所述定位观测光路组件的所述垂直安装孔或所述斜向安装孔所对应的顶部基准平面或斜向基准平面外侧，设置有用于调节定位观测光路组件位置的第一顶拉结构件和滑动平动结构件。
[0010]为达到上述目的，本技术的第二方面提出了一种镜头座镜头组件，所述镜头组件包括本技术第一方面所述的镜头座，所述镜头座的下方具有与顶部基准面和底部基准面平行的焦面，所述镜头组件还包括安装在镜头座上的定位观测光路组件、检测光路组件、温控组件，所述定位观测光路组件、检测光路组件分别装配在各所述垂直安装孔和斜向安装孔中，所述定位观测光路组件、检测光路组件的各入射光路、反射光路具有共同的位于所述焦面上的焦点。
[0011]本技术的有关内容的进一步说明如下：
[0012]1.通过本技术的上述技术方案的实施，通过对镜头座的开发设计，其中对于镜头座上的垂直安装孔及与垂直安装孔对应的顶部基准平面和底部基准平面的设置，以及对于镜头座上的斜向安装孔及与斜向安装孔所对应的斜向基准平面的设置，使得各定位观测光路组件和检测光路组件装配到所述垂直安装孔或所述斜向安装孔中时能够快速进行初步定位，从而得以减少定位时间和定位次数，同时该镜头座一体成型加工，各镜头安装通孔通向底部，各微调结构面、包括镜头座自身安装面均为平面加工而成，在保证精度的同时降低了加工难度以及加工成本；同时在本技术中，所述镜头座镜头组件将各光学镜头组件集成在一个镜头座上，实现所有镜头共面共焦点，并且安装孔不局限镜头类型，以满足不同配置的量测或成像使用情况，共焦测量的实现省去了分步对焦的步骤，提高了整体效率，同时省去了运动台分步运动，降低了运动台可靠性、重复定位精度要求，节省了成本。
[0013]2. 在上述本技术第一方面的技术方案中，所述座体上还设置有与座体导热接触的温控组件，温控组件对镜头座进行恒温控制以保持镜头座热稳定性，降低热变形的可能性，防止长时间热变形影响镜头精度。
[0014]3. 在上述本技术第一方面的技术方案中，所述温控组件的数量为多个，多个所述温控组件定位安装在座体的侧表面，具体的，温控组件包含薄膜加热片以及外部控制回路、温度传感器，薄膜加热片粘贴在座体的两侧表面；更具体的，温控组件还包括加热片固定件、十字沉头螺钉。
[0015]4. 在上述本技术第一方面的技术方案中，所述第一顶拉结构件包括第一螺纹副、第一螺钉、光路调节件二；所述滑动平动结构件包括光路调节件一、第一紧定螺丝。具体的，定位观测光路组件不与镜头座直接接触安装，而是通过第一顶拉结构件与座体进行初定位，再通过滑动平动机构实现中心对焦定位，最后通过第一螺纹副进行对焦。其中的光路调节件一和光路调节件二均为环状结构，光路调节件二通过第一螺钉安装到座体的基准平面上，光路调节件二上开设有弧形槽，使得光路调节件二能以该弧形槽的轨迹为导向进行旋转调节，在光路调节件二上设置用于调节光路调节件二与基准平面间隙距离的第一螺纹副，第一螺纹副穿过光路调节件二后与基准平面相抵；光路调节件一安装到光路调节件二中，第一紧定螺丝从光路调节件二的侧边穿过后与位于内侧的光路调节件一相抵。
[0016]5. 在上述本技术第一方面的技术方案中，除其中一个用于安装所述定位观测光路组件的所述垂直安装孔或所述斜向安装孔外，其他的所述斜向安装孔或垂直安装孔用于安装检测光路组件，在用于安装所述检测光路组件的所述斜向安装孔或垂直安装孔所对应的斜向基准平面外侧或顶部基准平面外侧，设置有用于调节所述检测光路组件位置的第二顶拉结构件，通过第二顶拉结构件实现微调，最终实现检测光路组件和定位观测光路组件共焦。
[0017]6. 在上述本技术第一方面的技术方案中，所述第二顶拉结构件包括第二螺纹副、第二螺钉、第二紧定螺丝。具体的，由第二螺钉来使检测光路与座体的基准平面进行初定位，再由第二螺纹副、第二紧定螺丝来对所述检测光路组件进行对焦微调。
[0018]7. 在上述本技术第二方面的技术方案中，所述定位观测光路组件、检测光路组件中均包含有镜头组，所述镜头组中具有入射镜头和出射镜头，所述入射镜头和出射镜头与各自装配到的所述垂直安装孔或斜向安装孔为间隙配合，使得轴孔配和留有余量，可实现角度调节。
[0019]8. 在上述本技术第二方面的技术方案中，所述定位观测光路组件安装于所述垂直安装孔中，在垂直安装孔上方的顶部基准面上设置第一顶拉结构件和滑动平动结构件，第一顶拉结构件用于共焦面的微调，滑动平动构件用于焦点的平动。
[0020]9. 在上述本技术第二方面的技术方案中，一组或两组所述检测光路组件安装于各所述斜向安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜头座，用于多个光学镜头组件的集成安装，所述光学镜头组件包含定位观测光路组件和检测光路组件，其特征在于：所述镜头座包括一体成型的座体，所述座体上开设有一个由座体顶部垂直贯穿至所述座体底部的垂直安装孔，所述座体顶部设置有与垂直安装孔的中心线相垂直的顶部基准平面，所述座体底部设置有与垂直安装孔的中心线相垂直的底部基准平面；所述座体上在所述垂直安装孔的周向开设有多个由座体侧边斜向贯穿至座体底部的斜向安装孔，所述座体的侧边设置有与各自所述斜向安装孔的中心线相垂直的斜向基准平面；所述座体底部设置有一腔体，所述垂直安装孔中心线的延长线及各所述斜向安装孔中心线的延长线穿过所述腔体；所述镜头座被配置成：多个所述斜向安装孔中的至少两个相对于垂直安装孔的中心线斜向对称，所述垂直安装孔或所述斜向安装孔用于安装所述定位观测光路组件和检测光路组件。2.根据权利要求1所述的一种镜头座，其特征在于：所述座体上还设置有与座体导热接触的温控组件。3.根据权利要求2所述的一种镜头座，其特征在于：所述温控组件的数量为多个，多个所述温控组件定位安装在座体的侧表面。4.根据权利要求1所述的一种镜头座，其特征在于：在其中一个用于安装所述定位观测光路组件的所述垂直安装孔或所述斜向安装孔所对应的顶部基准平面或斜向基准平面外侧，设置有用于调节定位观测光路组件位置的第一顶拉结构件和滑动平动结构件；除其中一个用于安装所述定位观测光路组件的所述垂直安装孔或所述斜向安装孔外，其他的所述斜向安装孔或垂直安装孔用于安装检测光路组件，在用于安装所述检测光路组件的所述斜向安装孔或垂直安装孔所对应的斜向基准平面外侧或顶部基准平...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海，
申请(专利权)人：江苏匠岭半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：