描述了将共同－光路干涉成像用于缺陷检测和分类的系统和方法。照射源产生相干光，并且把相干光引向样品。光学成像系统收集从样品反射或透射的光，其中包括散射分量和镜面反射分量，镜面反射分量明显未因样品发生衍射。使用可变相位系统来调节散射分量和镜...