本发明涉及一种使用具有可调精度的模拟检验掩模版图印刷适性的方法和系统。公开了一种检验用于光刻工艺的掩模版图的印刷适性的方法、系统和计算机程序产品。用于所设计的掩模版图的光刻工艺的模拟是使用具有较低精度的掩模版图的简化版而模拟的，以产生较...

本发明涉及一种用于光掩模的护罩以及用于使用光掩模的方法。提供了一种在半导体光刻期间保护光掩模免受颗粒沾污的光学护罩，所述光学护罩具有增强的透射和操作性能。所述护罩利用透明聚合物和透明无机层的交替层形成具有高透射性能和高强度的护罩。在优选...

提供一种包括微电子衬底的制品（１０６）作为在微电子衬底的处理期间使用的制品。所述制品包括微电子衬底，所述微电子衬底具有前表面、与所述前表面相对的后表面以及位于所述前和后表面的边界处的外部边缘。所述前表面是所述制品的主表面。具有前表面、后...

提供了一种浸没光刻系统，其包括可用于产生具有标称波长的光的光源和光学成像系统。该光学成像系统具有在从光源到待由其构图的物件的光路上的光学元件。所述光学元件具有适于接触液体的表面，该液体占据该表面和该物件之间的空间。该光学元件包括可由该液...

一种光致抗蚀剂组合物，它包括：聚合物；光致产酸剂；和溶解改性剂。使用该光致抗蚀剂组合物和溶解改性剂组合物，形成图像的方法。该溶解改性剂不溶于含水碱性显影剂内且抑制聚合物在显影剂内溶解，直到通过光致产酸剂暴露于光化辐射线下生成酸，其中溶解...

已发现一种组合物，其特征是存在具有芳族残基、且对１９３纳米辐射波长的折射率值ｎ小于１．５的可溶于碱性水溶液的聚合物，其尤其可用作１９３纳米干式光刻法中的顶部抗反射涂层。已发现，具有烯式骨架并具有氟和磺酸残基的聚合物尤其有用。该组合物能够...

公开了涂覆在光致抗蚀剂材料上面的面涂层材料。该面涂层材料包含在２５℃或更低的温度下微溶或不溶于水但在６０℃或更高的温度下可溶于水的聚合物。该聚合物包含具有以下聚合物结构的聚乙烯醇单体单元和聚乙酸乙烯酯或聚乙烯基醚单体单元，其中Ｒ是脂族或...

一种用于在工件上沉积已构图结构材料层的设备，包括：沉积模块，具有气体供给装置和用于沉积结构材料的装置，所述气体供给装置用于使至少一种气体在所述工件上流动，所述至少一种气体包括图案材料形成气体，以及曝光模块，包括对准工件的粒子源以及调节所...

本发明公开了一种用于在衬底表面和正性光刻胶组合物之间施用的抗反射涂料组合物。该抗反射涂料组合物可在含水碱性显影液中显影。该抗反射涂料组合物包含聚合物，该聚合物包含至少一种含选自内酯、马来酰亚胺和Ｎ－烷基马来酰亚胺的一个或多个结构部分的单...

特征为存在一种具有侧发色团部分的含ＳｉＯ聚合物的抗反射组合物在光刻工艺中是有用的抗反射涂料／硬掩模组合物。这些组合物提供突出的光学，机械和蚀刻敏感性性能，同时能够使用旋涂施加技术施加。该组合物特别用于光刻工艺，该光刻工艺用于在衬底，特别...

本发明提供了倍半硅氧烷聚合物、含有所述倍半硅氧烷聚合物的抗蚀剂组合物，其中至少部分倍半硅氧烷聚合物含有氟化残基并且至少部分倍半硅氧烷聚合物含有对于酸催化断裂而言具有低活化能的作为侧基的抑制溶解度的酸不稳定残基，并且使高光学密度的存在最小...

公开了显示高的耐蚀刻性和改进的光学性能的新型垫层组合物。所述垫层组合物包含乙烯基或丙烯酸酯聚合物，如甲基丙烯酸酯聚合物，所述聚合物包含至少一个取代或未取代的萘或萘酚结构部分（包括其混合物）。本发明聚合物的实例包括：通式（Ⅰ）、（Ⅱ）、（...

公开了顶部抗反射涂覆材料（ＴＡＲＣ）和阻挡层，和其在平版印刷工艺中的用途。ＴＡＲＣ／阻挡层可以特别用于使用水作为成像介质的沉浸平版印刷。ＴＡＲＣ／阻挡层包括一种聚合物，该聚合物包括至少一个含硅部分和至少一个含水碱溶性部分。合适的聚合物包...

公开了在光致抗蚀剂材料上涂施的表面涂料。该表面涂料包含至少一种溶剂和在含水碱性显影剂中具有至少３０００＊／秒的溶解速率的聚合物。该聚合物含有六氟醇单体单元，该单元包含下列两种结构之一：（Ⅰ），其中ｎ是整数。该表面涂料可用在光刻法中，其中...

在一个作为一色散元件的透射光栅中，衍射效率提高而制造成本大大降低。一色散元件包括用于形成一衍射光栅的树脂构件，该衍射光栅由多个各自具有一被两条直线围绕的横截面形状例如三角形形状的衍射光栅构件以及作为光屏蔽构件的金属构件构成，每一个金属构...

提供一种阵列板检查方法及其检查设备，其即使在从栅线的两端施加电位时，也能够检测栅线的断开故障。检查设备１０内的写电路１１从阵列板１上的多个信号线中选择出信号线Ｄｃ，并且在写期间，写电路１１向信号线Ｄｃ施加一个写电位ＶＤ。进一步，在写期间...

本发明的目的是改善由于反向倾斜而使之劣化的液晶显示器件所显示的图象质量。位于擦拭方向上游方的显示电极的显示区边缘的隔光层包括形成在显示电极周边用以限定窗孔边缘的薄隔光层和具有位于薄隔光层之上的一个边缘的厚隔光层。

本发明的目的是以最少的制作步骤获得没有光泄漏并具有优异的对比度的液晶显示装置。为了获得阵列板１２上的器件间隙Ｇａ，在黑矩阵３８上形成了第一突出部３８Ａ，并在滤色板１３上形成了其中红滤色器４６Ｒ、绿滤色器４６Ｇ和蓝滤色器４６Ｂ中的一个被设...

本发明为了在ＯＣＢ模式的液晶显示器中防止在右侧和左侧视角下及上侧和下侧视角下屏面的倒转和视觉劣化。通过在对Ｒ、Ｇ和Ｂ每种颜色的较低驱动电压下，得到（在利用相位补偿膜进行校正前的光程差的绝对值｛Ｒ（Ｖ↓［１］）｝）的最佳数值来防止屏面视觉...

彩色液晶显示器，包括一个显示部件，一个用于输出对应于灰度级数据的电压的第一驱动器，一个第二驱动器，以及数据控制装置，该数据控制装置具有从外部输入的灰度级数据并且按预定的时刻向第一驱动器输出灰度级数据，其中所述数据控制装置包括一个通过对与...