本实用新型公开了一种金属有机物化学气相沉积设备喷淋盘清洁装置，清洁毛刷安装板4安装到旋转电机5的旋转轴上，清洁毛刷8固定安装于清洁毛刷安装板4上，清洁毛刷安装板4安装于清扫废物收集盘3内，抽气管路6一端与清扫废物收集盘3连接，另一端与抽...

金属有机物化学气相沉积设备石墨盘转移装置,手套箱底板上设有波纹管，波纹管底端与升降板密封连接，升降板上表面依次与连接套、旋转座、石墨盘支撑和石墨盘连接，压缩或者拉伸波纹管以使石墨盘跟随升降板上升或者下降，手套箱的底板上设有一机械臂滑动导...

一种反应源配送装置，包括：化学原料钢瓶、流量控制器、压力计、压力控制器，其特征在于所述压力控制器的入口端通入载气，插入化学原料钢瓶底部的入口管道与压力控制器的出口端连接，压力计经管道与化学原料钢瓶输出端连接，压力计与压力控制器的控制端经...

一种化学气相沉积设备中用于精确控制反应物流量的气路装置，包括：反应气体入口、管路、流量控制器、反应腔，反应气体以流量分为大流量的载气、小流量载气，其特征在于反应气体入口经管路与流量控制器连接，各流量控制器的出口经管路接入反应腔，接入反应...

一种实时测量温度的方法，其特征在于测量温度包含以下步骤：被测物体所发出的辐射光通过分光机构得到两个或两个以上多波长的辐射光束，由光电探测器接收不同波长的辐射能量，得到辐射能比值，根据黑体辐射理论公式计算相应的温度值，以高温范围内标准黑体...

氢化物气相外延装置，包括一气相外延反应腔，反应腔上部设有进气装置，进气装置下方设有一石英舟，反应腔下部设有载片盘，载片盘下方和上方设有加热装置，载片盘下方的加热装置与反应区由载片盘支撑隔开，反应腔底部设有排气口。本实用新型的优点是可在一...

一种双波纹管结构的化学气相沉积设备，包括反应气体导入部件、反应腔体、上盖部件、闸板阀、固定底板、上下升降板驱动部件、上下波纹管、载片盘、石英罩、加热器，所述气体导入部件经上升降板驱动控制升降运动；加热器经下升降板驱动控制升降运动；载片盘...

金属有机物化学气相沉积设备中实时测量薄膜温度的方法及测量装置，在气相沉积工艺过程中，监测外延片的热辐射通过喷淋孔的辐射光，通过对辐射光进行滤波分离来检测两个或两个以上不同波长的薄膜辐射光能量，本发明的测量装置包括分光机构、光学探测器和数...

快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体，包括：反应腔进气口、反应腔进气管道、上缓冲腔、下缓冲腔、喷淋口、载片台、加热组件、残余气体排放管路、尾气管路、控制阀、缓冲腔压力检测表、真空泵，反应腔进气管道为多路进气管道，载片台的...

集成原子层沉积技术的金属有机物化学气相沉积方法及设备，在金属有机物化学气相沉积过程中，通过脉冲喷射的方式引入化学反应气源，化学反应源气体和载气分别通过交替开关的气动阀，以脉冲方式喷射到衬底生长表面。至少包含一次生长循环，步骤为：1.化学...

一种多重气体耦合金属有机物化学气相沉积设备反应腔体，包括反应气体进气管道，喷淋盘、喷淋口、喷淋冷却腔、载片盘、衬底、反应腔、反应腔冷却腔、石英整流罩、缓冲喷淋腔、支承轴、加热器，所述缓冲喷淋腔与反应腔之间依次设有上、中、下喷淋盘，喷林口...

一种多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，主要包括三路径向反应气体进气管道、喷淋口、喷淋冷却腔、载片盘、反应腔、反应腔冷却腔、加热器、整流罩。其特征为：多路反应气体进气管道从反应腔顶端接入，反应腔上部设有喷淋口与喷淋冷却腔，下方...

一种多反应腔金属有机物化学气相沉积设备，包括：气体输运系统、反应腔、尾气处理系统、加热器、取送片机构，其特征在于设备具有两个或两个以上的反应腔，每个反应腔之间分别由气体输运系统实现相互连接，设备设有一个尾气处理装置，每个反应腔与尾气处理...

改进结构的光纤通信用模块，在壳体１内装有电路板３、芯片２，盖１０封装在壳体１上部，管套１０与壳体１为分体形式，在管套１０中装有光电管７，用螺栓８将管套９固定在壳体１的端部；在壳体１的底面开有槽６，电路板３上的引出脚４从槽６中引出；芯片２...

一种收发一体的单光纤双向传输模块，它包括激光发射二极管、激光接收二极管和分路器，所述激光发射二极管和激光接收二极管均耦合到分路器的分路端上，并经分路器的合路端与一根传输光纤相连，所述激光发射二极管为消阈值激光二极管，本实用新型能将发射光...

消阈值激光二极管组件，包括激光器管芯，激光宝塔、套筒、陶瓷插芯、陶瓷插芯座，陶瓷插芯位于陶瓷插芯座的中心孔内，激光器管芯位于激光宝塔的中心孔内，该激光宝塔位于套筒的中心孔内，并可沿轴向调节激光宝塔与该套筒之间的相对位置，套筒的一端与陶瓷...

一种提高量子效率的大功率发光二极管芯片，主要包括：外延层、衬底，其特征在于所述外延层设置在衬底上，外延层设置为分离的微单元结构的阵列，外延层顶面可设置一导光层，导光层上设有微结构，或直接在外延层顶面设有微结构。本实用新型的优点是采用微单...

提高发光二极管量子效率的方法，主要包括：图形衬底上生长外延层、在发光二极管外延片上淀积一层透明的电流扩展层、分割外延层、制作微单元的表面微结构、沉积金属电极、剥离更换衬底，其特征在于将正装或垂直结构的发光二极管芯片外延层加工成微单元阵列...

提高大功率发光二极管光提取效率的方法，主要包括：发光二极管（ＬＥＤ）芯片、导光层、衬底，其特征在于所述正装或倒装的ＬＥＤ芯片生长过程中或生长完成后加工一个导光层结构，导光层上设有三维微结构阵列。本发明的优点是采用ＬＥＤ芯片引入导光层的结...

本实用新型公开了一种可移动抽油烟机，它包括抽油烟机的壳体，在壳体顶部开有通孔，通孔内固定一排气扇，排气扇上设有独立的电源插头。本实用新型具有结构简单、使用方便的优点。