一种三重气流金属有机物化学气相沉积设备反应腔体，主要包括反应气体进气管道、压气进气管道、喷淋口、冷却腔、载片盘、反应腔、加热器，其特征在于所述反应气体Ａ进气管道从反应腔顶端接入，其下方设有载片盘，载片盘的上部设有喷淋口与冷却腔，压气Ｐ进...

一种金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统，主要包括反应气体进气管道、石墨圆片、石墨舟、基座、石英罩、加热器、冷却介质进排气管道、反应室，所述反应气体进气管道末端设有缓冲腔、喷淋口，喷淋口与基座之间形成一个反应室，基座的内层为石英罩...

一种真空封装方法，其特征在于：在封装空间的外围还包围一个或多个缓冲的过渡空间，以降低真空封装泄漏率。所用的真空封装装置包括管帽和管座，在管帽或管座的中部开有凹槽，该凹槽构成封装空间，将器件密封在其中，其特征在于：在管帽（２）或管座（１）...

一种真空熔焊封装方法及封装装置，其中真空熔焊封装方法包括以下步骤：（１）．将拟焊接的管座（１４）和管帽（１３）放在真空腔（５）内；（２）．将真空腔（５）抽成真空，或同时加热以除气；（３）．以通电熔焊方式，将位于真空腔（５）内的管座（１４...

本实用新型公开了一种多向活动绘图桌，它具有抽屉的座体、支架和图板，所述图板的底部固定有齿轮，支架上设有与所述齿轮相互齿合的调节螺栓。本实用新型具有结构简单、使用方便的优点。