本发明提供一种透镜测定装置，其从光源部（６３）把光入射到积分球（２４）并使之扩散，并将该被扩散后的光入射到图表（２３）而形成光像，将该光像入射到透镜（１），并用摄像机（２６）对通过透镜（１）而成像的光像进行摄像，并基于由摄像机（２６）摄...

提供一种具备被检测体夹持型的旋转保持机构的被检测光学元件旋转保持装置，该被检测体夹持型的旋转保持机构可使被检测光学元件的厚度改变时的轴方向的位置调整在不对偏芯量的测定产生坏影响的状态下易于进行。具有圆盘状旋转体（５１）的旋转保持部（５）...

本发明提供一种光波干涉测定装置及光波干涉测定方法，其中设置：基于来自被检测透镜（１）反射光的第１干涉条纹图像特定被检测透镜（１）的整体中心位置的机构、以被检测透镜（１）和基准球面反射镜（７）的各光轴互相成为平行的方式进行调整的机构、调整...

本发明提供一种将所制造的非球面透镜上产生的面偏移在与面斜倾分离下可高精度地测量的非球面透镜的面偏移测量方法及装置。通过计算机仿真求出被检测透镜（１）的面斜倾和面斜倾分彗差之间的关系、及被检测透镜（１）的面偏移和面偏移分彗差之间的关系。而...

本发明提供一种偏心量测定装置，其中，具备：基台（２０），其可旋转地保持透镜体（５）；测定头（１０），将来自光源（１１）的光照射在透镜面（５２ａ）并在其焦点面上成像分度线影像，并将来自透镜面（５２ａ）的反射光引导在摄像面上并在摄像面成像分...

本发明提供一种具有构成简单且小型的光学系统，并且能够容易进行光学系统调节的波面测定用干涉仪装置及能够进行光束的波面测定和光束点的特性测定的光束测定装置及方法。该光束测定装置（１０Ａ），具备将从光源部（１１）射出的光束分离为２个光束的分光...

本发明提供一种光束测量装置，该光束测量装置（１Ａ）具备波前测量部（１０Ａ）和光斑特性测量部（１０Ｂ），该波前测量部（１０Ａ）成为具有反射型波前整形单元（２０）、光束分离／合成面（１５）、反射板（１７）和光程长调整机构的迈克逊型光学系统配...

一种样品倾斜误差调整的辅助方法，用于在使用一种干涉仪观察一个夹具夹持的作为样品的一个套管的一个前端曲面时辅助进行所述套管的一条轴线的倾斜误差调整，这种方法包括以下步骤： 使所述套管相对于所述夹具转动一个预定的角度而又处于所述套管由...

一种倾斜调节装置，包括两个彼此相对的底座元件，一个支承部件，用于支承上述两个底座元件使上述两个底座元件可相对于彼此倾斜，和一个调节部件，用于用上述支承部件作为支点使上述两个底座元件相对于彼此倾斜； 上述调节部件包括： 一个调...

斐索型干涉仪设备用于低相干性测量和高相干性测量。在利用低相干光通量辐照参考面和样本时，光程匹配通道把低相干光通量分成第一光程和第二光程，而传输通过这两个光程的各自光通量之间光程长差等于参考面与样本之间光程的两倍。在利用高相干光通量辐照参...

本发明是关于一种夹紧装置的倾斜调整方法，可利用基准被检测体，对夹紧装置的倾斜姿势简易且低成本、高精度地进行调整以使其沿目标方向只倾斜目标角度α，此基准被检测体的顶端面的倾斜角度β是形成为小于倾斜夹紧装置时的目标角度α的角度。将保持有基准...

本发明是关于一种路径匹配路径型干涉仪装置，其藉由在路径匹配路径部设置发光强度调整光学系统，可依据被检测面的反射率的不同，简便地从光学上对干涉条纹的对比度进行调整。发光强度调整光学系统藉由将以旋转轴为中心大致在同心圆上配置的，光透过率彼此...

本发明是关于一种具有干涉条纹扫描功能的干涉计装置，可以通过在路径匹配路径部处，设置有使通过两条路径的光束相位差变化并可以实施干涉条纹扫描的相位差可变更单元，形成不易受到外部振动影响的基准板支撑机构，且可以使制造成本低廉。其中的光路长度变...

一种半反射镜４将从低相干性光源１发出的光束分离成两个光束，辅助基准板６与基准板１６被支撑作为一个整体，辅助样本８与样本１７被支撑作为一个整体。通过半反射镜４的分离获得的第一光束在反射镜５上被反射，到达辅助参考面６ａ，在辅助参考面６ａ上被...

本发明是关于一种光源输出的稳定化方法，算出得到的干涉条纹图像的调制值，在该值在阈值以下的情况下，通过每次微小量地变化ＬＤ的注入电流直至该值超过阈值，在由于模式跳跃现象导致干涉条纹对比度低下的情况下也能使对比度迅速恢复到良好的状态，稳定地...

一种平行度测定方法，是一种将具有由沿上下方向排列的复数个光反射面构成的被检测面的被检测体载置于载物台上，并利用干涉仪装置对该复数个被检测面的平行度进行测定的方法，其特征在于其包括以下步骤：　　　　作为干涉仪装置的照明光，采用可将依据前述...

本发明涉及一种假想接面测定用的干涉仪装置，在具有分别位于相互平行的不同假想面上形成的多种小被测面的被测体上，利用低相干性的测定光的同时、调整各小被测面的光检测面上的像的形成状态，而容易且高精密度地测定各小被测面的对于高度方向的同一平面性...

在干涉仪的基准面和被检测面之间配置光量比调节滤光片（１１２）。该光量比调节滤光片（１１２），是在由玻璃构成的透明基板的被测体（１１７）侧的面上，设置包括光反射吸收层（１２ａ）和电介体防止反射层（１２ｂ）的光量比调节膜（１２），而在基准面...

本发明提供一种条纹计测装置的变换系数校正方法和装置以及具备该变换系数校正装置的条纹计测装置。能够将在条纹计测装置中设定的用于从计测空间的坐标系变换至实空间的坐标系的变换系数的值，容易且短时间内进行校正。将具有以相互形成的角度成为基准值的...

本发明公开一种动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法，所述干涉仪装置具备：同步信号生成部（４３），其将瞬间的摄像期间设定为包含于摄像面（３３）的受光容许期间内；ＡＯＭ（１３）和ＡＯＭ驱动器（１４），所述ＡＯＭ用于使从半导体激光...