夹紧装置的倾斜调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术是关于一种夹紧装置的倾斜调整方法，可利用基准被检测体，对夹紧装置的倾斜姿势简易且低成本、高精度地进行调整以使其沿目标方向只倾斜目标角度α，此基准被检测体的顶端面的倾斜角度β是形成为小于倾斜夹紧装置时的目标角度α的角度。将保持有基准金属箍４５０的夹紧装置，设置于使其轴Ａ的垂直面Ｑ与显微干涉仪装置１的基准面Ｐ平行的初期位置，并测定基准金属箍４５０的顶端面４５３对基准面Ｐ的相对倾斜角度γ。接着，倾斜夹紧装置以使基准金属箍４５０的顶端面４５３对基准面Ｐ沿目标方向进行倾斜，并测定顶端面４５３对基准面Ｐ的相对倾斜角度δ。调整夹紧装置的倾斜姿势，以使该被测定的相对倾斜角度δ与目标角度α和倾斜角度γ的角度差ε一致。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是涉及一种倾斜调整方法，特别是涉及一种。本专利技术可以适用于为了使用显微干涉仪装置(也称作“干涉显微镜装置”)对顶端被研磨成斜面的金属箍的顶端面的形状等进行测定解析，而对夹紧装置的倾斜姿势进行调整以使夹紧装置所保持的金属箍的顶端面与显微干涉仪装置的基准面略平行等情况。
技术介绍
近年来，关于光通信中所使用的光纤的研究开发取得了积极的进展。已知这种光纤由例如外径10μm左右的光芯、在其外周设置的例如外径125μm左右的包覆层构成，且为了将光纤彼此连接，在其连接终端配备有金属箍。所谓金属箍，是指在构成用于连接光纤的光接头的一组插头的每一个中，用于将光纤的一端进行保持固定的圆筒状的构件。金属箍是采用藉由在其外径的中心部插入光纤并由粘合剂等进行固定后，将其顶端研磨成镜面状，且使2个金属箍的顶端面对合，从而可将彼此所保持的2个光纤进行连接的构成。作为这种金属箍，已知有顶端面被研磨成与金属箍的轴形成垂直状态的垂直研磨型的金属箍、为了降低顶端面的反射光所带来的不良影响而将顶端面研磨成与金属箍的轴形成倾斜状态的倾斜研磨型的金属箍。而且，还有一种采用藉由将2个金属箍进行对合时的按压力而使顶端面发生弹性变形，提高顶端面彼此的附着性的构成的PC(物理连接)型金属箍。然而，为了降低伴随光纤连接的光损失，对金属箍利用JIS确定有μm级别的高精度的各种规格。例如，在倾斜研磨型的金属箍方面，就确定有关于对顶端面的倾斜角度(倾斜研磨角度)的基准值的角度偏离、对光接头的键方向和顶端面的(研磨)倾斜方向的基准值的角度偏离等的规格。为了检查制作的金属箍是否符合所确定的规格，有时要用到显微干涉仪装置。该显微干涉仪装置是采用藉由对承载有微小的被检测体的表面形状和折射率分布等相位信息的物体光、从一定的基准板所反射的参照光相互干涉所得的干涉条纹进行观察，并对该干涉条纹的形状和变化进行测定解析，从而得到被检测体的相位信息的构成。当利用这种显微干涉仪装置进行金属箍的检查时，已知有一种在显微干涉仪装置的基准板前方的一定位置配置有夹紧装置，并利用该夹紧装置保持作为检查对象的金属箍的方法。该夹紧装置是采用使夹紧装置的轴和金属箍的轴在保持金属箍时大体一致，而且当对倾斜研磨型的金属箍进行保持时，使其顶端面的倾斜方向朝向一定的方向(由光接头的键方向决定)的构成。然而，有时要用1个显微干涉仪装置，对垂直研磨型的金属箍和倾斜研磨型的金属箍进行检查。在显微干涉仪装置上，需要将作为检查对象的金属箍的顶端面对显微干涉仪装置的基准面略平行设置，所以当对垂直研磨型的金属箍进行检查时，要设置夹紧装置以使夹紧装置的轴的垂直面(与轴直交的平面)与显微干涉仪装置的基准面平行。另一方面，当对倾斜研磨型的金属箍进行检查时，需要将夹紧装置进行倾斜，以使倾斜研磨型的金属箍的顶端面与显微干涉仪装置的基准面平行，即上述垂直面对上述基准面沿一定的方向(使顶端面与基准面平行的方向)只相对倾斜一定的角度(相当于倾斜研磨角度的角度)。也有一种用于调整这种夹紧装置的倾斜姿势的倾斜调整机构。这种倾斜调整机构采用由测微器对夹紧装置的倾斜姿势进行调整的构成，但是由于需要高精度的测微器，所以存在成本增大的问题。而且，当重复使用时在调整角度上有可能产生偏差，所以也存在需要定期进行调整角度的校正的问题。另一方面，也有一种利用显微干涉仪装置对夹紧装置的倾斜姿势进行调整的方法。在该方法中，采用使顶端面的倾斜角度及顶端面的倾斜方向等符合规格而形成的高精度的基准金属箍。现在，在倾斜研磨型的金属箍中，使其顶端面的倾斜角度为8度成为标准，所以主要使用顶端面的倾斜角度高精度地形成为8度的基准金属箍。在该方法中，在使基准金属箍保持于夹紧装置中的状态下倾斜夹紧装置，并观察利用基准金属箍的顶端面和显微干涉仪装置的基准面所形成的干涉条纹，且对夹紧装置的倾斜姿势进行调整以使该干涉条纹形成零条纹状态。如果在观察到零条纹的状态下将夹紧装置进行固定，则夹紧装置所保持的基准金属箍的轴的垂直面，对显微干涉仪装置的基准面相对地沿一定方向高精度地只倾斜8度。但是，利用这种程序对显微干涉仪装置的基准面规定了相对的倾斜角度及倾斜方向的，归根结底只是夹紧装置所保持的基准金属箍的轴的垂直面，而不是夹紧装置的轴的垂直面。即，当利用夹紧装置的基准金属箍的保持状态从正规的保持状态偏离时，只由上述程序无法高精度地调整对显微干涉仪装置的基准面的夹紧装置的倾斜姿势。因此，当利用夹紧装置保持基准金属箍时，需要检测保持状态的偏离量并对这些偏离量进行校正。为了校正该偏离量所使用的习知方法如下所述。即，利用例如本专利技术申请人在日本专利申请2002-167219号中所揭示的那种方法，在夹紧装置的轴的垂直面对显微干涉仪装置的基准面达成平行的状态下设置夹紧装置，并在使基准金属箍保持于该状态的夹紧装置上的阶段，对由基准金属箍的顶端面和显微干涉仪装置的基准面所形成的干涉条纹进行观察，且由该干涉条纹的状态测定基准金属箍的顶端面对基准面的相对的倾斜角度及倾斜方向。而且，是根据所测定的相对倾斜角度及倾斜方向，检测利用夹紧装置的基准金属箍的保持状态偏离量并进行校正的。但是，在这种偏离量的检测校正方法中存在以下问题。即，由于在显微干涉仪装置中，是将极其微小的区域进行扩大观察，所以能够扩大观察非常细小的物质，但是当观察面(基准金属箍的顶端面)的倾斜角度变大，且条纹间隔接近至超出拍摄系统的析像力时，对条纹的观察变得困难，无法高精度地测定观察面对基准面的相对的倾斜角度。在金属箍的检查所使用的显微干涉仪装置中，还需要对金属箍顶端面所形成的高低差进行测定，所以有时要使用白色光等可干涉性低的照明光。当利用这种低可干涉性的照明光时，观察面对基准面的相对的倾斜角度的测定，在5度左右即达到极限。因此，在这种情况下，利用上述方法，测定使顶端面的倾斜角度为8度的基准金属箍的顶端面对基准面的相对倾斜角度变得非常困难。为了能够进行超过8度的倾斜角度的测定，要使用可干涉性高的照明光，且关于CCD等拍摄元件也需要使用高析像度的。但是，在需要使用可干涉性低的照明光的显微干涉仪装置中，为了照射可干涉性高的照明光而配备另外的光源，或配备高析像度的拍摄元件，都会使显微干涉仪装置成本增高而不佳。而且，当使用可干涉性高的照明光时，也会产生因观察对象面以外的面和基准面形成干涉条纹，且它们变为噪声的可能性提高等其它问题。由此可见，上述现有的仍存在有缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决现有的的缺陷，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，此显然是相关业者急欲解决的问题。有鉴于上述现有的存在的缺陷，本专利技术人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，积极加以研究创新，以期创设一种新的，能够改进一般现有的，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作及改进后，终于创设出确具实用价值的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服现有的所存在的缺陷，而提供一种新的，所要解决的技术问题是提供一种鉴于上述问题而形成的，将保持金属箍等被检测体的夹紧装置对显微干涉仪装置基准面的倾斜姿势，可简易且低成本、高精度地进行调整的，从而更加适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹紧装置的倾斜调整方法，使将显微干涉仪装置所测定的柱状被检测体，以夹紧装置的轴和前述被检测体的轴略为一致的形态而进行保持的前述夹紧装置的前述轴的垂直面，对前述显微干涉仪装置的基准面，向一定的目标方向只倾斜一定的目标角度α，而对前述夹紧装置的倾斜姿势进行调整，其特征在于其包括以下步骤：　　　　将前述夹紧装置设置在前述垂直面对前述基准面成平行状态的初期位置；　　　　将顶端面倾斜角度β形成为小于前述目标角度α的角度的基准被检测体，以使前述顶端面对前述基准面，形成沿与前述目标方向相反的方向只相对倾斜与前述倾斜角度β大致相等的角度的状态，进行保持在前述初期位置所设置的前述夹紧装置；　　　　在该保持状态下，将前述顶端面对前述基准面的相对倾斜角度γ，利用前述显微干涉仪装置进行测定；　　　　接着，将保持前述基准被检测体的前述夹紧装置，以一面控制该夹紧装置在前述轴周围的旋转，一面使前述顶端面对前述基准面沿前述目标方向相对倾斜的形态而进行倾斜，且在该倾斜状态下，将前述顶端面对前述基准面的相对倾斜角度δ，利用前述显微干涉仪装置进行测定；　　　　对前述夹紧装置的倾斜姿势进行调整，以使该相对倾斜角度δ是和前述目标角度α与前述相对倾斜角度γ的角度差ε一致。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：葛宗涛，小林富美男，
申请(专利权)人：富士能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]