本发明提供一种用于抛光半导体集成电路的阻挡层的抛光液，所述抛光液包含：表面改性粒子，所述表面改性粒子包括具有选自Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒ和Ｓｉ中的至少一种无机原子的有机聚合物粒子，所述至少一种无机原子通过存在于所述有机聚合物粒子的表面上的氧原子...

本发明提供一种清洁剂和使用该清洁剂的清洁方法，所述清洁剂用于在半导体器件制备工艺中的化学机械抛光工艺之后清洁在其表面上具有铜布线的半导体器件，包含由下式（Ⅰ）表示的化合物：其中，在式（Ⅰ）中，Ｘ↑［１］和Ｘ↑［２］各自独立地表示通过从含...

本发明提供一种在半导体集成电路的平坦化过程中用于化学机械抛光的抛光液，所述抛光液至少具有：由式（１）表示的苯并三唑化合物（Ａ）、酸（Ｂ）和水溶性聚合物（Ｃ），在式（１）中，Ｒ↑［０１］至Ｒ↑［０５］的每一个表示独立地表示氢原子或烷基，并...

提供一种高性能压电器件，具有良好的耐湿性，可有效防止水分向压电膜进入。上述压电器件的特征在于包括：基板；第一电极，成膜在上述基板上；压电膜，通过气相生长法成膜在上述第一电极上的至少一部分；第二电极，成膜在上述压电膜上，该第二电极的水蒸气...

本发明提供一种阻隔性能提高的阻隔性层叠体。阻隔性层叠体的特征在于，具有至少１层有机层和至少１层无机层，上述有机层是通过对含有聚合性化合物和在１分子中具有２个以上有聚合引发能力的部位的光聚合引发剂的组合物进行光照射使其固化而形成的。

一种图像检测器，包括有源矩阵衬底和通过绝缘结合构件结合到有源矩阵衬底的保护基板，其中绝缘结合构件（２５）通过无机绝缘膜（１９）结合到有源矩阵衬底（１０），所述无机绝缘膜（１９）设置在围绕半导体层（６）的周边的区域中。

基板冷却部分（３０）设置在粘接部分（２９）的下游，粘接部分（２９）将感光薄片（７）粘接到玻璃基板（３），以便生成粘接基板（２０）。基板冷却部分（３０）包括具有多个基板储存室（７６）的粘接基板储存设备（６８），每个基板储存室（７６）都储存...

一种网状电极材料，依次设置了网状的基材、电极层和功能层，其特征在于，在基材的宽度方向两端和长度方向上分别保留具有一定的规则性的空白，并列设置多个上述电极层；设置上述功能层，以便覆盖各电极层的一部分，分别露出各电极层的剩余部分。此网状电极...

一种激光退火装置，其特征在于，备有由至少一个氮化镓（ＧａＮ）系半导体激光器所产生的多个发出波长３５０～４５０ｎｍ的激光束的发光点所构成的激光光源和用由该激光光源发出的激光束在退火面上扫描的扫描器。

一种制备平板印刷版的方法，包括： 将成像层中含红外吸收染料的光敏平板印刷版原版曝光；和 用碱性显影剂显影曝光的光敏平板印刷版原版，其中碱性显影剂包括含磺酸盐基的阴离子表面活性剂。

一种发光显示器件，包括： 衬底； 在所述衬底表面上构成象素的发光层，所述象素的发光被电控制； 分别界定每个象素的至少一侧的间隔壁， 其中，在所述衬底的表面，对应于每个象素的至少部分区域具有用于光散射的不规则处，所...

涂敷粘合剂的传输薄膜被粘合到形成在玻璃基底上的多个隔板。玻璃基底放置在工作台上，传输薄膜的一端被固定到缠绕辊。剥离引导器设置在传输薄膜之上的位置。缠绕辊在工作台水平移动时，被驱动缠绕传输薄膜。在缠绕传输薄膜时，玻璃基底和传输薄膜之间的角...

本发明涉及一种曝光方法和装置，其在对由保护层等对光具有敏感度的感光层叠层而成的印刷电路板等记录介质进行图形曝光时，维持感光层的结合性的同时，防止感光层无法除去，和感光层易于脱落的问题。其是通过曝光装置（３）在对形成于基板上的保护层上的配...

一种制造固态图像拾取器件的方法，该固态图像拾取器件包括光电转换部分、电荷传输部分和外围电路部分，该方法包括：于半导体表面形成包括第一层硅导电膜的图案，第一层硅导电膜形成了：第一电极；和用于光电转换部分和外围电路部分的第一层互联；于第一电...

本发明提供一种半导体器件的制造方法，该方法包括通过晶片上测试在半导体晶片上检验半导体元件，存储该半导体器件的半导体晶片上的坐标位置数据和晶片上测试的结果，并且对通过切割半导体晶片而分割成的一个个小片状的半导体元件进行封装，在封装后执行最...

本发明提供具有适于连续成膜的高生产率的高气体阻隔性薄膜。其包含基材薄膜和在该基材薄膜上具有的气体阻隔性层叠体，该气体阻隔性层叠体的构成为：具有至少１个由以硅氧氮化物层、硅氧化物层、硅氧氮化物层的顺序相互邻接配置的３层所构成的单元。

本发明的目的是提供图案形成方法，该方法可以形成具有良好细度和高精确性以及具有因抑制在图案形成材料上所形成的图像变形而产生的充足效率的永久图案，比如布线图案。为了实现该目的，提供了包括如下的图案形成方法：调制从激光源辐发射的激光束，补偿调...

本发明的目的是提供图案形成方法，该方法可以适当抑制在图案形成材料上的图像畸变，并且可以有效地形成具有高度精细和精确的图案比如布线图案。为了实现该目的，提供了根据本发明的图案形成方法，包括：调制由激光源所辐射出的激光束、补偿调制的激光束以...

根据本发明的一个方面，提供一种用于抛光在夹层绝缘材料上的阻挡层金属材料的抛光液体，所述抛光液体具有２．０到６．０的ｐＨ值，并且包含含有下式（１）所示化合物的水溶液，以及含有氧化硅并且被分散在所述水溶液中的抛光粒子：Ｒ↑［１］－（ＣＨ↓［...

提供一种水性抛光液，其包括氧化剂，含有至少３个氮原子的五元单环化合物或其中杂环与所述化合物稠合的化合物，和具有咪唑骨架或异噻唑啉－３－酮骨架的化合物。将含有至少３个氮原子的五元单环化合物和／或其中杂环与所述化合物稠合的化合物以小于３００...