用于送入/取出基板的方法及系统和感光层叠体制造设备技术方案

基板冷却部分（３０）设置在粘接部分（２９）的下游，粘接部分（２９）将感光薄片（７）粘接到玻璃基板（３），以便生成粘接基板（２０）。基板冷却部分（３０）包括具有多个基板储存室（７６）的粘接基板储存设备（６８），每个基板储存室（７６）都储存粘接基板（２０）；以及送入／取出机器人（６９），送入／取出机器人（６９）将未冷却的粘接基板（２０）从粘接部分送入粘接基板储存设备（６８），同时将冷却的粘接基板（２０）从粘接基板储存设备（６８）取出并输送到基底剥离部分（３１）。所有的基板储存室（７６）都被分成正常储存区或缓冲区。当基底剥离部分（３１）陷于故障中时，基板加热部分（２８）和粘接部分（２９）处的基板储存在缓冲区中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于利用具有多个基板储存室的基板储存设备送入 和取出基板的方法和系统、以及配备有该基板送入/取出系统的感光层叠 体制造设备。
技术介绍
用于液晶显示面板和等离子显示面板的彩色滤光片由玻璃基板(即， 基材)以及预定图案的感光树脂层组成。感光树脂层首先粘接到玻璃基板， 然后被曝光、显影、并清洗以获得预定的图案。对红色、绿色、蓝色以及 黑色感光树脂中的每个重复此过程，使得红色、绿色、蓝色滤光片以及环 绕这些彩色滤光片的黑矩阵形成于玻璃基板上。玻璃基板和还未形成图案的感光树脂层(在下文中称为感光层叠体)的粘接产品通过例如公开在日本专利公开出版物第2003-062906号中的感 光层叠体制造设备制造。在此制造设备中，包括长基膜以及在其上的感光 树脂层的感光薄片(photosensitive web)粘接到以恒定的时间间隔输送的 玻璃基板，然后，在每个玻璃基板之间切割感光薄片，从而生成玻璃基板 和感光树脂层的粘接基板。然后，只从粘接基板上剥离基膜，获得感光层 叠体。在粘接到一起之前，将玻璃基板和感光薄片加热以软化感光树脂层， 用于更好地粘接。然而，软化的感光树脂层可能会粘附到基膜，并且当剥 离基膜时与玻璃基板分离开。鉴于此问题，在基膜剥离操作之前要冷却粘 接基板。因此，传统地是提供一种冷却机构，所述冷却机构在将冷空气吹 送到制造设备的感光薄片切割部分和基膜剥离部分之间的粘接基板上的 同时输送所述基板。可供选择地，粘接基板储存在基板储存设备(substrate stocker)的基板储存室中直到该基板被冷却为止。例如，这种基板储存设备公开在日本专利公开出版物第2002-154648号、第2001-308158号以及第2003-045935号中。公开出版物第2002-154648号的基板储存设备配备有储存传感器或线传感器，以检测基板的尺寸、方 位和排列。公开出版物第2001-308158号的基板储存设备配备有过滤器、 气体去除装置以及温度控制器。公开出版物第2003-045935号的基板储存 设备构成为竖直地储存玻璃基板。另外，作为在清洁环境下处理基板的技 术的一部分，日本专利公开出版物第2003-282669号公开了一种基板运送 装置，所述基板运送装置的生产线分成几个运送线以提供缓冲功能。然而，吹送冷空气的冷却方法有时导致将灰尘传送到粘接基板上。另 外，在此情况下，粘接基板需要输送相对较长的距离，使得该基板可以冷 却到特定的温度，但因此将损失设备的空间效率。另一方面，使用所述基板储存设备的冷却方法具有对基板储存设备的 容量的限制。因此，如果一个下游装置陷入停止基板的输送的故障，则一 些玻璃基板将被留在上游加热部分中并在该处被长时间加热，从而达到过 高的高温。另外，如果粘接基板停止在层压辊附近，则感光树脂层可能将 由于层压辊的热量被雾笼罩。虽然由基板的这种滞留造成的这些问题通过公开出版物第 2003-282669号的缓冲功能被解决，但此缓冲功能将增加设备的尺寸，造 成成本和空间问题。如果基板储存设备具有公开出版物第2003-045935号 中提及的缓冲功能也很有效，但其没有清晰地公开如何实现此缓冲功能。鉴于上述问题，本专利技术的主要目的是提供一种基板送入/取出方法和 系统，所述方法和系统能够冷却基板而不弄脏基板，并且还能够在下游装 置遇到麻烦时在上游装置处适当地保护玻璃基板和粘接基板。本专利技术的另一 目的是提供一种配备有该基板送入/取出系统的感光层 叠体制造设备。
技术实现思路
为了实现以上目的和其它目的，根据本专利技术的基板送入/取出方法将 基板储存设备的所有基板储存室分成正常储存区或缓冲区。循环地使用基 板储存室来储存从上游装置送入的基板，且在预定的周期后顺序地取出基 板并将基板输送到下游装置。通常，只将基板送入正常储存区中及从正常储存区中取出基板。如果出现故障而使下游装置停止，则延缓基板取出步 骤，且上游装置处的基板储存在缓冲区中。当故障获得解决且下游装置恢 复操作时，将与储存在缓冲区中一样多的基板顺序地取出，并将所述基板 从正常储存区和缓冲区输送到下游装置。然后，将基板从正常储存区和缓 冲区顺序地取出，同时将从上游装置送入的基板储存在正常储存区中。当 已经将缓冲区中的所有基板都取出时，基板仅送入正常储存区并从正常储 存区中取出。在本专利技术的另一个优选实施例中，送入和取出基板使得预定数量的基 板储存室总是保持空闲。如果出现故障而使下游装置停止，则延缓基板取 出步骤，并将上游装置处的基板储存在空闲的基板储存室中。当故障获得 解决且下游装置恢复操作时，将与故障时期期间储存的一样多的基板顺序 地取出并输送到下游装置。然后，送入和取出基板，使得预定数量的基板 储存室总是保持空闲。以从预定的周期花费的时间的下降顺序将基板从基板储存室取出。根据本专利技术的基板送入/取出系统从上游装置顺序地送入基板，并循 环地将基板储存在基板储存设备的多个基板储存室中，然后在预定的周期 后，将基板从基板储存室中顺序地取出并输送到下游装置。该基板送入/ 取出系统包括储存传感器、基板送入/取出装置、储存管理装置以及送入/ 取出管理装置。储存传感器设置在各所述基板储存室中并检测基板的存 在。基板送入/取出装置将基板送入基板储存室中并从基板储存室中取出 基板。储存管理装置根据储存传感器的检测结果产生管理信息。该管理信 息包括每个基板储存室中的基板的存在/不存在、以及自基板送入到基板 储存室中的储存期。送入/取出管理装置根据管理信息控制储存管理装置， 以便将从上游装置送入基板储存到空闲的基板储存室中，同时将基板从基 板储存室顺序地取出并输送到下游装置。送入/取出管理装置将基板储存设备的所有基板储存室分成正常储存 区或缓冲区，且在正常的状态下只使用正常储存区。如果出现故障使下游 装置停止，则延缓基板取出步骤，并将上游装置处的基板储存在缓冲区中。 当故障获得解决且下游装置恢复操作时，将与储存在缓冲区中一样多的基 板顺序地取出并从正常储存区和缓冲区输送到下游装置。然后，将基板从9正常储存区顺序地取出，同时将从上游装置送入的基板储存到正常储存 区。当已将将缓冲区中的所有基板都取出时，来自上游装置的基板只送入 正常储存区中及从正常储存区中取出。在基板送入/取出系统的另一个优选实施例中，送入和取出基板，使 得预定数量的基板储存室总是保持空闲。如果出现故障使下游装置停止， 则延缓基板取出步骤，并将上游装置处的基板储存在空闲的基板储存室 中。当故障获得解决且下游装置开始操作时，将与故障期间储存的一样多 的基板顺序地取出并输送到下游装置。然后，送入和取出基板，使得预定 数量的基板储存室总是保持空闲。储存管理装置将每个基板的储存期与预定周期进行比较，并将超过预 定周期的基板作为可输送的基板记录在管理信息中。根据该管理信息，送 入/取出管理装置驱动基板送入/取出装置，以将可输送的基板以储存期耗 费的时间的下降顺序从基板储存室顺序地取出并输送到下游装置。基板送入/取出装置优选为具有用于保持基板的保持器以及在上游装 置、基板储存设备和下游装置之间移动该保持器的移动机构的机器人。可 供选择地，基板送入/取出装置可以为输送机。根据本专利技术的感光层叠体制造设备包括基板加热部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板送入／取出方法，所述基板送入／取出方法从上游装置顺序地送入基板并将所述基板循环地储存在基板储存设备的多个基板储存室中，然后在预定周期后将所述基板从所述基板储存室顺序地取出并输送到下游装置，所述方法包括步骤：　将所有的所述基板储 存室分成正常储存区或缓冲区；　所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出；　当出现故障使所述下游装置停止时，延缓将所述基板取出到所述下游装置，同时将所述上游装置处的所述基板储存在所述缓冲区中；　当所述故障被解决 且所述下游装置恢复操作时，将与储存在所述缓冲区中一样多的所述基板从所述正常储存区和所述缓冲区取出并输送到所述下游装置；　将所述基板从所述正常储存区和所述缓冲区顺序地取出并输送到所述下游装置，同时从所述上游装置顺序地送入所述基板并将所述 基板储存在所述正常储存区中；以及　当所有所述基板已经被从所述缓冲区取出时，所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-6-13 163248/20061. 一种基板送入/取出方法，所述基板送入/取出方法从上游装置顺序地送入基板并将所述基板循环地储存在基板储存设备的多个基板储存室中，然后在预定周期后将所述基板从所述基板储存室顺序地取出并输送到下游装置，所述方法包括步骤将所有的所述基板储存室分成正常储存区或缓冲区；所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出；当出现故障使所述下游装置停止时，延缓将所述基板取出到所述下游装置，同时将所述上游装置处的所述基板储存在所述缓冲区中；当所述故障被解决且所述下游装置恢复操作时，将与储存在所述缓冲区中一样多的所述基板从所述正常储存区和所述缓冲区取出并输送到所述下游装置；将所述基板从所述正常储存区和所述缓冲区顺序地取出并输送到所述下游装置，同时从所述上游装置顺序地送入所述基板并将所述基板储存在所述正常储存区中；以及当所有所述基板已经被从所述缓冲区取出时，所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出。2, —种基板送入/取出方法，所述基板送入/取出方法从上游装置顺序 地送入基板并将所述基板循环地储存在基板储存设备的多个基板储存室 中，然后在预定周期后将所述基板从所述基板储存室顺序地取出并输送到 下游装置，所述方法包括步骤送入和取出所述基板，使得预定数量的所述基板储存室总是保持空闲；当出现故障使所述下游装置停止时，延缓取出所述基板到所述下游装 置，同时将所述上游装置处的所述基板储存在所述空闲基板储存室中；当所述故障被解决且所述下游装置恢复操作时，取出与所述故障期间 储存的一样多的所述基板，并将所述基板输送到所述下游装置；以及当所述故障期间储存的所有所述基板已经取出时，送入和取出所述基 板，使得预定数量的所述基板储存室总是保持空闲。3. 根据权利要求l所述的基板送入/取出方法，其中，以从所述预定周 期耗费的时间的下降顺序，将所述基板从所述基板储存室取出并输送到所 述下游装4. 根据权利要求2所述的基板送入/取出方法，其中，以从所述预定周 期耗费的时间的下降顺序，将所述基板从所述基板储存室取出并输送到所 述下游装置。5. —种基板送入/取出系统，所述基板送入/取出系统从上游装置顺序 地送入基板并将所述基板循环地储存在基板储存设备的多个基板储存室 中，然后在预定周期后将所述基板从所述基板储存室顺序地取出并输送到下游装置，所述系统包括储存传感器，所述储存传感器设置在每个所述基板储存室中，用于检 测所述基板的存在；基板送入/取出装置，所述基板送入/取出装置将所述基板送入所述基 板储存室并从所述基板储存室中取出；储存管理装置，所述储存管理装置用于根据所述储存传感器的检测结 果产生管理信息，所述管理信息包括每一个所述基板储存室中的所述基板 的存在/不存在、以及起自所述基板送入所述基板储存室的储存期；以及用于根据所述管理信息控制所述基板送入/取出装置的送入/取出管理 装置。6. 根据权利要求5所述的基板送入/取出系统，其中，所述送入/取出 管理装置驱动所述基板送入/取出装置以执行步骤将所有的所述基板储存室分成正常储存区或缓冲区； 所述基板仅被送入所述正常储存区及从所述正常储存区中取出； 当出现故障使所述下游装置停止时，延缓将所述基板取出到所述下游装置，同时将所述上游装置处的所述基板储存在所述缓冲区中；当所述故障被解决且所述下游装置恢复操作时，将与储存在所述缓冲区中一样多的所述基板从所述正常储存区和所述缓冲区取出并输送到所述下游装置；将所述基板顺序地从所述正常储存区和所述缓冲区取出并输送到所 述下游装置，同时从所述上游装置顺序地送入所述基板并将所述基板储存 在所述正常储存区中；以及当所有所述基板已经被从所述缓冲区取出时，所述基板仅被送入所述 正常储存区及从所述正常储存区中取出。7. 根据权利要求5所述的基板送入/取出系统，其中，所述送入/取出 管理装置驱动所述基板送入/取出装置以执行步骤送入和取出所述基板，使得预定数量的所述基板储存室总是保持空闲；当出现故障使所述下游装置停止时，延缓取出所述基板到所述下游装 置，同时将所述上游装置处的所述基板储存在所述空闲基板储存室中；当所述故障被解决且所述下游装置恢复操...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉原了一，森亮，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]