本发明公开了一种薄膜太阳能电池的制造方法，包括提供沉积反应室；在所述反应室中的电极板表面放置基板；向所述反应室内通入包括四氟化锗、硅烷和氢气的反应气体；利用射频辉光放电将所述反应气体激发为等离子体沉积非晶硅锗薄膜。本发明的薄膜太阳能电池...

本发明提供一种薄膜太阳能电池组件封装方式，切除薄膜太阳能电池片所有边缘上的膜层，用粘结剂（２）将薄膜太阳能电池组件（１）与下底面（３）迭合粘结成组件，在组件边缘涂抹一层适当厚度的耐户外老化防水胶（４）。该结构的迭层结构，既能使薄膜太阳能...

提供了一种薄膜太阳能电池组件的封装方法和薄膜太阳能电池组件。所述封装方法包括以下步骤：利用激光刻蚀来切除太阳能电池片边缘处的全部电池膜层；以及利用粘结剂将太阳能电池片与下底面层压结合在一起。采用本发明的封装结构的薄膜太阳电池组件的薄膜太...

本发明公开了一种薄膜形成方法和薄膜太阳能电池的制造方法，包括：提供基底；在所述基底表面沉积引晶层；在所述引晶层表面沉积非晶硅层；在高压氢气气氛中进行热退火处理，将所述非晶硅层转变为微晶硅层。本发明的薄膜形成方法能够以一种更为简单可靠的方...

本发明公开了一种膜层、膜层的沉积方法和具有该膜层的薄膜光伏器件，所述膜层为透明导电前电极，分多个化学气相沉积步骤沉积。本发明的膜层沉积方法能够使所沉积膜层同时具有所需的多个特性，使透明导电前电极的综合性能得以优化。本发明的薄膜光伏器件能...

本发明公开了一种薄膜沉积方法，包括：在反应室中平行放置作为阳极的第一电极板和作为阴极的第二电极板，所述第二电极板面向所述第一电极板的表面具有牺牲层；在所述第一电极板面向所述牺牲层的表面放置基板；通入刻蚀气体；将所述第一电极板接地，向第二...

本发明公开了一种大面积柔性光电器件的制造方法，包括下列步骤：提供硬性载板；在所述硬性载板表面形成剥离层；在所述剥离层表面形成光电器件各层系；在所述光电器件各层系表面形成柔性承载层；将所述柔性承载层和器件层系整体与所述硬性载板分离。本发明...

本发明公开了一种叠层太阳能电池及其制造方法，由非晶硅（ａ－Ｓｉ：Ｈ）作为顶层电池，吸收波长较短的蓝、绿光；由化合物半导体铜铟硒化物作为底层电池，吸收波长较长的黄光、红光和红外光（波长达１１５０ｎｍ）。底层的铜铟硒化物薄膜电池由半导体纳米...

本发明公开了一种沉积薄膜的方法，包括步骤：提供反应室，所述反应室中间隔交替放置的电极板表面放置基板；向所述反应室中通入反应气体；采用脉冲输出射频功率的方式将所述反应气体激发为等离子体，在所述基板表面沉积薄膜。本发明的方法能够显著提高大型...

本发明公开了一种柔性薄膜太阳能电池及其制造方法，包括：提供硬性载板；在所述硬性载板表面形成剥离层；在所述剥离层表面形成薄膜太阳能电池层系；在所述薄膜太阳能电池层系表面形成柔性承载层；将所述柔性承载层和薄膜太阳能电池层系整体与所述硬性载板...

本实用新型公开了一种薄膜沉积设备的布气装置，包括进气口和输气管道，所述输气管道上设置有复数个出气孔，沿距所述进气口由近至远的方向，所述出气孔的孔径逐渐增大，和／或沿距所述进气口由近至远的方向，所述出气孔的密度逐渐增加。本实用新型的薄膜沉...

本实用新型公开了一种叠层薄膜结构和包含该结构的薄膜光伏器件，包括玻璃基板、透明导电前电极、背电极和保护背板，在所述透明导电前电极和背电极之间具有叠层结构ｐ层、光吸收活跃层ｉ层和ｎ层，所述叠层结构ｐ层包括第一膜层和第二膜层，所述第一膜层与...

本实用新型公开了一种薄膜光伏器件，包括玻璃基板、透明前电极和背电极，以及位于所述前电极和背电极之间的ｐ－ｉ－ｎ型光电转换单元，在所述透明背电极表面具有超白反射层。本实用新型的薄膜光伏器件能够进一步提高基于氢化硅的薄膜光伏器件的光电转换效率。

本实用新型公开了一种薄膜光伏器件，包括玻璃基板、透明导电前电极、背电极和保护背板，在所述透明导电前电极和背电极之间依次包括硼掺杂的非晶硅ｐ层、本征ｉ层和磷掺杂的非晶硅ｎ层，所述本征ｉ层具有起伏变化的表面结构。本实用新型的薄膜光伏器件能够...

本实用新型公开了一种等离子体激发部件及包括该部件的等离子体处理装置，所述等离子体激发部件包括激励源、第一阻抗适配器、电极板和第二阻抗适配器，所述激励源的输出端经所述第一阻抗适配器连接至所述电极板的一端，所述电极板的另一端经所述第二阻抗适...

本实用新型公开了一种光伏玻璃窗，包括光伏模板、玻璃板和位于光伏模板和玻璃板两端的密封物，所述光伏模板和玻璃板之间具有由所述密封物密封的封闭空间，所述封闭空间为真空，且其间具有稀疏分布的玻璃支撑物。本实用新型的光伏玻璃窗具有很好的隔热性能...

公开了一种薄膜沉积装置，所述装置包括箱体、反应室和射频激励源，所述反应室置于所述箱体内部，所述箱体具有气体进入口和气体排出口，所述反应室包括金属上横梁、下横梁和与所述上横梁、下横梁连接的金属侧壁，所述上横梁和下横梁之间具有第一电极板和第...

本发明公开了一种膜层、膜层的形成方法和具有该膜层的薄膜太阳能电池，所述膜层在具有氩气的反应气体等离子体辉光放电过程中形成，所形成的膜层具有很高的电子缺陷密度和较好的导电率，能够充分复合多结薄膜太阳能电池的结与结之间交界面处的电子和空穴。

本发明公开了一种薄膜太阳能电池，包括基板、前电极和背电极，所述前电极和背电极之间包括至少一个ｐ－ｉ－ｎ叠层结构，在所述ｐ－ｉ－ｎ叠层结构中的ｐ层面向ｉ层的表面具有氧化层。本发明还提供了一种薄膜太阳能电池的制造方法，包括：在具有透明前电极...

本发明的提供了一种增加氢化非晶硅薄膜能带隙的方法，将氟元素加入到非晶硅材料中。本发明的薄膜具有更宽的能带隙，具有这种薄膜的太阳能电池能够显著提高光电转换效率和稳定性。