根据本发明的一个实施例的高精度激光触发系统包括：载物台，安装有对象体；触发发生装置，根据基于时间的模式及基于位置的模式产生触发信号；激光，当输入所述触发信号时，照射激光束；运动控制器，控制所述载物台和所述触发发生装置；以及控制装置，在所...