【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高精度激光触发系统及使用该系统的高精度激光触发方法。
技术介绍
1、激光加工技术从钢铁、汽车等传统制造领域扩大到要求超高速、超精密加工技术的半导体，显示器，医疗器械领域等。
2、为了更精确地进行激光加工，激光触发系统的主要课题是具备用于触发激光的触发发生装置，准确地匹配激光系统所需的周期，同时在准确的照射位置产生触发信号并将其输入到激光中。
3、特别是，对于激光，在抽运激光器(pumped laser)的情况下，为了对晶圆等对象体照射具有规定能量的激光束，除了执行加工的区间以外，也需要持续产生/输入触发信号。
4、此时，当从不执行加工的区间进入执行加工的区间时可能会发生误差，或者因在产生/输入触发信号过程中产生的通信延迟而可能导致触发周期或位置发生误差。
5、因此，实际情况是，需要能够准确地根据激光系统所需的周期和位置来执行激光加工的方案。
技术实现思路
1、技术问题
2、本专利技术的目的在于提供更精密准确地执行激光...
【技术保护点】
1.一种高精度激光触发系统，其中，包括：
2.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，在所述运动控制器中，利用所述目标速度和通信延迟时间来计算因通信延迟而引起的位置误差，并校正所述坐标。
3.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，所述控制装置基于所述触发信号的周期和所述激光的照射间隔来识别所述载物台的目标速度。
4.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，所述运动控制器基于从所述载物台接收的编码器信号来识别所述载物台的位置。
5.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，在所述控制装置中，加速所述...
【技术特征摘要】
1.一种高精度激光触发系统，其中，包括：
2.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，在所述运动控制器中，利用所述目标速度和通信延迟时间来计算因通信延迟而引起的位置误差，并校正所述坐标。
3.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，所述控制装置基于所述触发信号的周期和所述激光的照射间隔来识别所述载物台的目标速度。
4.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，所述运动控制器基于从所述载物台接收的编码器信号来识别所述载物台的位置。
5.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，在所述控制装置中，加速所述载物台的加速时间及减速所述载物台的减速时间设置为所述触发信号的周期的倍数。
6.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，所述运动控制器在减速所述载物台后，控制所述载物台移动到下一个起始坐标。
7.根据权利要求1所述的高精度激光触发系统，其中，所述运动控制器在所述载物台移动到所述起始坐标期间，控制以所述基于位置的模式执行同步。
8.一种激光触发方法，由高精度激光触发系统执行，其中，所述方法包括：
9.根据权利要求8所述的激光触发方法，其中，在控制...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。