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高精度激光触发系统及使用该系统的高精度激光触发方法技术方案
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文档序号:44009021
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根据本发明的一个实施例的高精度激光触发系统包括:载物台,安装有对象体;触发发生装置,根据基于时间的模式及基于位置的模式产生触发信号;激光,当输入所述触发信号时,照射激光束;运动控制器,控制所述载物台和所述触发发生装置;以及控制装置,在所述基...
该专利属于DIT株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过DIT株式会社授权不得商用。
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