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丑修建专利技术
丑修建共有1项专利
复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器及其制备方法技术
本发明公开了一种复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器及其制备方法,该点火器自下而上依次包括SiO2底层、腔层、防漏SiO2层、二次辐射层、绝缘SiO2层、下电极Au层、CuO层、Al层和上电极Au层。SiO2底层、腔层、防漏S...
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