本技术公开了一种高密封手动破壁装置，其特征在于：包括机座、密封圈A、密封圈B、密封圈C、密封圈D、破壁把手、行程法兰、丝杆、破壁法兰、焊接波纹管，所述机座上螺栓连接有密封法兰、观察窗和压盖法兰，密封法兰上螺纹连接有旋转把手，压盖法兰上螺...

本技术公开了一种分子泵机组抽气口调节装置，包括支撑板，支撑板四角处设置有线性轴承，线性轴承贯通设置有导向轴，导向轴顶部设置有导向轴固定板，导向轴底部设置有导向轴固定座，支撑板前后端均横向设置有导轨，导轨上安装有滑块，滑块上端安装有分子泵...

本技术提供了一种油液过滤装置及旋片式真空泵，包括滤盒和设置于滤盒内部的过滤组件。过滤组件包括滤网及磁块。滤盒设置有进液口和出液口。滤网和磁块设置于进液口和出液口之间。沿液体流动方向，磁块设置于滤网后方且磁块的磁力逐渐增大。本技术的油液过...

本发明公开了一种楔形真空阀，包括阀芯、耐磨垫块、密封法兰组件、波纹管组件、支撑壳体和气缸组件，所述阀芯的顶部通过与气缸组件进行连接，气缸组件通过底座安装在支撑壳体上方，密封法兰组件安装在支撑壳体下方，波纹管组件套设在气缸组件输出端拉杆的...

本发明公开了一种真空镀膜机自动翻转镀膜的工件夹具，包括工件架、工件盘、翻转机构和驱动气缸组成，所述工件架上安装多个工件盘和多个翻转机构，工件盘的一端与工件架进行连接，工件盘的另一端与翻转机构进行连接，驱动气缸与翻转机构的驱动组件进行抵接...

本发明公开了一种低振动密闭矩形阀，包括动力源，动力源垂直轴向上固定设置有推动轴，推动轴外侧包围设置有阀体，推动轴底端固定连接有驱动架，驱动架两侧对称安装有支撑轮，驱动架两端下方还对称设置有铰链，两个铰链中间处设置有阀板，阀体底部设置有矩...

本发明提供了一种油液过滤的旋片式真空泵及过滤装置监测方法，包括真空泵和过滤装置。过滤装置连接于真空泵，以使真空泵内的油液经过滤装置过滤后回到真空泵内部。过滤装置包括串联连接的滤盒和过滤泵。以使真空泵内的油液经滤盒和过滤泵流回。本发明设的...

本发明公开了一种用于高真空半导体的金属介质镀膜机及操作方法，包括镀膜机、升降机构和旋转机构，升降机构由滚珠丝杠和升降驱动电机组成，旋转机构由旋转电机和旋转轴组成，镀膜机由工件盘和蒸发室组成，工件盘设置在蒸发室的内部，蒸发室的顶部设有支撑...

本发明公开了一种大型光学镀膜机的工件装卸小车，包括车架，车架底部外侧安装有驱动轮、承载轮与导向轮，车架底部内侧中心处安装有装卸小车驱动装置，车架顶部设置有液压油缸，液压油缸上端设置有工件升降及旋转装置，升降装置用于将工件上升或下降到需要...

本发明公开了一种单室多温区真空退火炉及退火方法，包括炉体（1）

本发明公开了一种管道真空度自动调节装置及调节方法，包括机架

本发明公开了一种电子元器件专用重氟油检漏设备及方法，该设备包括：触摸屏显示系统，用于显示和控制整个设备的工作状态；

本发明公开了一种常闭式真空阀门，包括阀芯（1）、壳体（2）、法兰A（3）和法兰B（4），所述法兰A（3）和法兰B（4）安装在壳体（2）中，所述阀芯（1）活动安装在法兰A（3）上并位于法兰A（3）和法兰B（4）之间，所述阀芯（1）的上部通...

本发明公开了一种自锁式单阀板真空阀，包括阀体、摇杆结构、阀板、连接板，其特征在于，所述摇杆结构与阀板活动连接，摇杆结构驱动阀板在阀体内做线性运动，以及推动连接板绕阀板作旋转运动；所述连接板通过定位轴设置在阀板远离摇杆结构的一面；所述阀板...

本发明公开了一种大口径矩形插板阀，主要包括阀体、阀板、驱动架、铰接件，其特征在于，所述阀板通过拉伸弹簧与驱动架进行连接，驱动架受驱动件的作用在阀体平面内做线性运动，阀板与驱动架的中间位置安装有多个铰接件，多个所述铰接件内设置有一个铰链和...

本发明公开了一种用于导体组件氦捡漏的控制系统，包括PLC控制模块、人机交互控制模块、传感器模块和执行器件；PLC控制模块用于处理输入和输出信号，执行控制程序；人机交互控制模块设置在工作站，通过高速现场总线与PLC控制模块通讯连接，运行人...

本发明公开了一种用于光学真空镀膜机的控制系统，包括PLC控制模块、人机交互控制模块、操作面板、传感器模块和执行器件；PLC控制模块用于处理输入和输出信号，执行控制程序；人机交互控制模块设置在工作站，通过高速现场总线与PLC控制模块通讯连...

本发明公开了一种磁控卷绕镀膜机控制系统及方法，该系统包括控制执行层、数据监控层和管理层，所述控制执行层用以实现设备运行数据采集、设备驱动和控制以及连锁保护；所述数据监控层用以实时获取设备运行数据，并上传至管理层，同时将管理层下发的工艺流...

本发明公开了用于旋片式真空泵的检测装置及其检测方法，涉及旋片式真空泵检测领域，装置包括检测柜、储气罐、控制组件、噪音传感器、真空规管、中央处理器和显示模块，检测柜中设置有限位区，控制组件用于控制储气罐的出气口与不同的待检测旋片式真空泵的...

本发明涉及分子泵技术领域，提供了一种测量涡轮转子表面温度的装置及方法，该装置包括：红外线接收器，用于实时采集涡轮转子表面的红外线辐射强度信息；成像仪，与红外线接收器信号连接，用于接收红外线辐射强度信息并将其转化为温度信息；示温涂层，适于...