一种管真空度自动调节装置及调节方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种管道真空度自动调节装置及调节方法，包括机架

【技术实现步骤摘要】
一种管真空度自动调节装置及调节方法


[0001]本专利技术涉及气体工艺处理领域，具体涉及一种管真空度自动调节装置及调节方法
。

技术介绍

[0002]现代气体处理工艺对管道真空度的要求较高，如何根据不同的气体工艺实现管道真空的快速变化决定工艺处理的效率，该系统实现了对管道真空的快速改变
。 对于一般的管道真空而言，真空度的数值取决于真空泵的极限，一般等于真空泵的极限真空度，无法实现对管道真空度的改变
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种管真空度自动调节装置及调节方法，以解决现有技术中的无法根据需求对管道真空度进行改变的技术问题
。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了一种管真空度自动调节装置，包括机架
、
阀门安装板
、
压力传感器
、
电磁阀
、
真空泵
、
第一薄膜规和第二薄膜规，所述机架上竖直安装阀门安装板
、
电磁阀和真空泵，阀门安装板通过阀门安装架安装压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种管真空度自动调节装置，其特征在于，包括机架（1）
、
阀门安装板（2）
、
压力传感器（3）
、
电磁阀（
10
）
、
真空泵（
11
）
、
第一薄膜规（
13
）和第二薄膜规（
14
），所述机架（1）上竖直安装阀门安装板（2）
、
电磁阀（
10
）和真空泵（
11
），阀门安装板（2）通过阀门安装架（4）安装压力传感器（3）
、
第一薄膜规（
13
）和第二薄膜规（
14
）；压力传感器（3）上安装手动波纹阀（5）和多个气动波纹管阀（7），第一薄膜规（
13
）和第二薄膜规（
14
）上多个安装气动阀（7）；多个所述气动波纹管阀（7）都通过气管（8）与电磁阀（
10
）进行连接，真空泵（
11
）通过抽气波纹管（
12
）与第一薄膜规（
13
）进行连接
。2.
根据权利要求1所述的一种管真空度自动调节装置，其特征在于，所述机架（1）上设置电控组件（
15
），电控组件（
15
）与电磁阀（
10
）进行电连接，电控组件（
15
）通过控制电池阀（
10
）的通断实现对气动波纹管阀（7）的开关控制，电控组件（
15
）与控制面板（9）进行电连接
。3.
根据权利要求1所述的一种管真空度自动调节装置，其特征在于，所述压力传感器（3）
、
第一薄膜规（
13
）和第二薄膜规（
14
）之间采用四通接头（6）进行连接，第二薄膜规（
14
）设置在第一薄膜规（
13
）和压力传感器（3）之间，四通接头（6）分为第一四通接头
、
第二四通接头和第三四通接头，第一薄膜规（
13
）连接第一四通接头，第二薄膜规（
14
）连接第二四通接头，压力传感器（3）连接第三四通接头
。4.
根据权利要求3所述的一种管真空度自动调节装置，其特征在于，所述四通接头（6）的四个端口上分别设置手动波纹阀（5）或气动波纹管阀（7），第三四通接头上设置一个手动波纹阀（5）和三个气动波纹阀（7），第一四通接头和第二四通接头的四个端口上都设置四个气动波纹阀（7），气动波纹阀（7）分为第一气动阀（
701
）
、
第二气动阀（
702
）
、
第三气动阀（
703
）
、
第四气动阀（
704
）
、
第五气动阀（
705
）
、
第六气动阀（
706
）
、
第七气动阀（
707
）
、
第八气动阀（
708
）和第九气动阀（
709
）
。5.
根据权利要求4所述的一种管真空度自动调节装置，其特征在于，所述第一四通接头通过第六气动阀（
706
）与真空泵（
11
）进行连接，第三四通接头与压力传感器（3）之间设置第一气动阀（
701
），第二四通接头与第二薄膜规（
14
）之间设置第二气动阀（
702
），第一四通接头与第一薄膜规（
13
）之间设置第三气动阀（
703
...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈行，何吉刚，蒙志林，俞腾龙，王鹏，
申请(专利权)人：成都中科唯实仪器有限责任公司，
类型：发明
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