本发明公开了一种旨在提高系统智能化和定制灵活性的适于运维系统的模糊规则处理方法，包括步骤：a.脆性规则引擎接收待判数据集；b.脆性规则引擎对待判数据集进行推算处理，如果发现该数据集涉及模糊规则的处理，则脆性规则引擎将初始化一个对模糊引擎...

本发明为一种高效虚拟化场馆的监采部署终端，由控制单元（12）组接各功能单元构成，其特征在于：该高效虚拟化场馆的监采部署终端包含有实时方案支持策略存储单元（13）、短程无线数据收发单元（18）、数据传输单元（11），实时方案支持策略存储单...

本发明涉及晶圆处理技术领域，具体涉及一种半导体自动化生产用晶圆处理设备。该设备首先根据距离度量值，对所有历史清洗过程进行聚类，获取各个颗粒清洗类别。根据待处理清洗过程的晶圆图像与颗粒清洗类别中待清洗的晶圆图像的颗粒物之间的数量差异，颗粒...