本发明属于晶圆测试装置技术领域，公开了一种升降机构及晶圆测试载物装置，升降机构包括基座、驱动组件、主动楔形块、从动抵接部及支撑台，驱动组件设置于基座；主动楔形块连接于驱动组件的输出端，主动楔形块包括第一倾斜面；从动抵接部活动抵接于第一倾...

本发明涉及晶圆测试技术领域，本发明实施例提供了一种用于晶圆测试的工作台结构、夹持控制方法和测试方法，该工作台结构包括：工作台组件，包括：工作台、转动件、驱动件、第一运动组件和第二运动组件。工作台的顶部具有k个沿着径向延伸的第一限位通道，...

本申请涉及半导体设备技术领域，本申请提供一种卡盘，包括：本体、吸附面、多个加热电阻丝和一条低温流管。多个加热电阻丝，均设置于所述本体内且分别受控；低温流管，是与所述本体一体成型的通道，且呈饼状盘桓于所述本体内，配置为利用输入其中的冷却物...

本公开涉及机床加工技术领域，本公开提供了一种机床的控制系统。所述系统包括：主轴机构、升降机构、工作机构、移位机构、进给机构和控制机构；控制机构，配置为：使所述机床对进给的工件进行加工的过程中，控制所述气体和所述冷却液对所述主轴机构进行保...

本申请涉及半导体技术领域，提供了一种用于TAIKO晶圆传输的信息标定方法。本申请利用料盘上放置的标准晶圆标定托架的对准坐标和多个传送轴各自的定位坐标，然后利用第一TAIKO晶圆替换料盘上放置的标准晶圆，将标定托架的对准坐标和所述多个传送...

本申请提供了一种激光调阻方法和装置。本申请在无人工干预的情况下，利用多次切工艺不仅能够对一块待加工基板中的待调电阻进行调阻，而且能够对同一批生产的所有待加工基板中的待调电阻进行流水式的调阻，从而实现流水化作业。解决了单次切工艺对一些特殊...

本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种探针位置的获得方法以及探针台。本申请首先利用校准针卡上的单根探针与探针相机进行对针，获得单根探针在所述预设水平面上的单针投影坐标。避免了对针错位，以及限制视场范围的情况。由于安装后的单根探针在针...

本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种探针台定位补偿的标定方法和探针台。本申请首先获得预设参照点的补偿偏移量和预设的各个第一关键焊点的第一关键位置，进而通过补偿偏移量和各个第一关键焊点的第一关键位置确定各个第一关键焊点的第一校正位置...

本公开涉及半导体设备技术领域，本公开提供了一种半导体测试设备，包括：载置板，用于安装探针板卡；框架板，与载置板连接，且与载置板垂直设置；间歇运动组件，与载置板和框架板连接，使得载置板可间歇翻转，以可翻转到多个指定位置；翻转动力装置，与间...

本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种光刻刀型的实现方法。本申请在对贴片电阻进行阻值修调过程中，利用激光对贴片电阻中电阻导体的第一边缘和/或第二边缘分别进行至少一次切边，每次切边在第一边缘和/或第二边缘产生出内凹的缺口，避免在电阻导...

本公开涉及半导体设备技术领域，本公开提供了一种清洁装置及激光加工设备，所述清洁装置包括：第一清洁组件，密闭接合于所述探针板卡的贯通孔，且与所述探针板卡的贯通孔形成导出路径，所述第一清洁组件包括：主体部，包括可通过激光束的开口；至少一个侧...

本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种探针温度的控制方法。本申请在探针和卡盘均能够正常工作的情况下，响应于接收到无损报警信号，控制所述卡盘接近测试用的探针卡，以便所述卡盘通过热传递使所述探针卡上的探针保持在测试温度上。避免了长时间等...

本公开提供了一种探卡组件及探针台设备。所述探卡组件包括：探卡架；探针板卡，安装于所述探针架；第一姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与待测电阻件在竖直方向上的相对位置，所述第一姿态调整组件包括：第一转轴，其安装于所述一对侧壁中一者的外侧；...

本发明提供了一种芯片上焊点的注册方法和装置。本发明首先将芯片中各种外观类型的焊点进行少量注册，进而以预注册焊点的焊点信息和与所述焊点相关联的针痕的针痕信息从芯片中自动找出所有审查合格的焊点，并将合格焊点的焊点信息和合格针痕的针痕信息进行...

本申请提供了一种清针高度差值的标定方法和探针台。本申请在探针台中探针相机在更换后，一些原有恒定的高度差值和/或高度值会发生变化，但是，一旦探针相机安装好后，这些发生变化的高度差值和/或高度值便会恒定下来，直到下一次更换探针相机。本申请正...

本发明提供一种薄晶圆吸附盘及吸附系统，薄晶圆吸附盘包括：吸附盘本体，包括吸附面和环绕所述吸附面的侧面，所述吸附盘本体用于吸附不同尺寸的薄晶圆；多层吸附通路，包括设置于所述侧面的多层通路入口，所述吸附通路从所述通路入口平行于所述吸附面延伸...

本发明提供一种激光划片机的机上检测系统及其检测方法，其中的机上检测系统包括运动控制模块、三维载物台、照明采集模块和识别模块，测量基板通过真空吸附的方式吸附在三维载物台上，运动控制模块用于控制三维载物台运动到测量基板的测量位置；照明采集模...

本实用新型提供一种晶圆自动对针装置，包括：由镜头表面有十字丝标志的相机组成的图像采集组件、通过光栅尺进行定值运动的运动组件、数据处理组件、用于承载待对针晶圆的晶圆托盘、与待对针晶圆进行对针的探针卡；图像采集组件用于采集晶圆托盘、探针卡和...

本实用新型提供激光加工设备上料系统，包括：检测组件、运动组件、计算组件；运动组件用于移动待加工基板至检测组件检测区域、调整工作台的位置；检测组件用于检测待加工基板位置信息，并将检测结果传递至计算组件；计算组件用于对检测结果进行数据处理，...

本发明涉及半导体技术领域。具体提供一种探针检测方法，通过在探针检测中增加分组测试程序，使晶圆上均匀分布多组待测区域，并以组为间隔进行同一晶圆待测区域内多路芯片同时测试；并构建可进行标准测试模式和分组测试模式的探针检测程序。本发明提供的探...