倍科有限公司专利技术

倍科有限公司共有30项专利

  • 本发明提供一种能够以高精度进行粘贴的粘贴装置。本发明的粘贴装置100,包括:转印辊140,将粘贴膜片13转印至圆周面,并将粘贴膜片13粘贴至被粘贴构件20上;移动手段150,使转印辊140移动;以及粘贴膜片调整手段160,在与转印区域A...
  • 本发明的曝光装置1将曝光对象区域14分割为第一曝光对象区域14A和第二曝光对象区域14B,利用与第一曝光对象区域14A对应的第一光掩模11A和与第二曝光对象区域14B对应的第二光掩模11B将掩模图案17A、17B转印到基板10上。曝光装...
  • 【课题】提供即使是在大面积冲压的情况下也能够在冲压面产生充分的按压力的冲压装置、冲压方法以及冲压产品的制造方法。【解决手段】冲压装置1包括:冲压头100,其包含冲压板110、腔室基体120以及弹性衬垫130;以及预按压单元200,其包含...
  • 提供一种可将粘贴构件粘贴到被配置多个粘贴位置的基板上,可缩短节拍时间并且显著提高生产率的粘贴装置。本发明的粘贴装置(20)包括:用于加热基板(3)的加热工作台(22);以及配置在基板(3)上方侧的机头单元(23)。机头单元(23)具有:...
  • 本发明提供一种粘接装置,其具有粘接工序所需的时间短且生产效率高的特点。本发明的粘接装置包括:基板保持台11,用于支撑基板Wb;传送装置20,被配置在基板保持台11的上侧,用于将在透明膜200的下端面上临时粘接有粘接构件Ws的临时粘接膜W...
  • 本发明提供一种薄膜粘贴装置,能够在维持高定位精度的状态下,高效地将薄膜粘贴在被粘贴构件上。本发明的薄膜粘贴装置1,包括:层积膜供给部(100),将层积有粘贴膜(10)和离型膜(20)的层积膜(30)沿规定的层积膜供给路(110)进行供给...
  • 本发明的薄膜构件粘贴装置(1)包括:用于放置被粘贴构件工作台100;薄膜构件供应机构部200;以及具有薄膜构件提示控制功能以及粘贴控制功能的控制装置300,其中,薄膜构件供应机构部200具有用于使被剥离部210折返的离型膜40行进的离型...
  • 本发明提供一种层压基板制造装置,其相较以往,能够更加高效地进行工件的供料去料,并且还能够一边抑制质量偏差一边对工件进行层压。本发明的层压基板制造装置具备托盘输送单元100,用于间歇性地输送放置有工件W的托盘P,并且配置有加热头320的层...
  • 本发明涉及薄膜构件粘贴装置1,其将薄膜构件粘贴在被粘贴构件上,并且包括:用于将离型膜40从薄膜构件30上剥离的剥离装置170、将剥离了离型膜40的薄膜构件30粘贴在被粘贴构件10上的粘贴装置180、以及被配置剥离装置170与粘贴装置18...
  • 本发明的目的在于提供一种离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置,其能够在使覆盖层薄膜不产生翘曲、损伤的情况下,将离型膜从单片的叠层薄膜处剥离且去除。本发明的离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置10,将叠层薄膜1的离型膜4侧吸附于叠层薄膜吸附台14...
  • 本发明的薄膜构件粘贴装置(1)包括:工作台(20),用于放置被粘贴构件(10);以及薄膜构件供应机构部(100),将薄膜构件(30)的前端部(30a)供应被粘贴构件(10)的粘贴起始端(10a)处,其中,薄膜构件供应机构部(100)具有...
  • 为了提供一种生产效率高的加强板贴附装置。本发明的加强板贴附装置包括:贴附头20,设置有加强板捕捉手段22,通过上下移动来将进行加强板的提取以及压接,并且通过在θ方向上转动来改变加强板的姿势;转动体30,配置有按一周三等分分割后的等角度间...
  • 提供一种冲压装置,能够在不损伤产品表面的情况下,连续地形成无变形的期望形状的产品。本发明的冲压装置1,从单片工件W上依次进行产品冲压,其特征在于,包括:模组12、12A,具有下模48、以及可相对于下模48升降的上模50;冲压单元11,在...
  • 双面光刻装置以及双面光刻装置中掩膜与工件的对准方法
    【课题】能够在不移动和不转动工件的情况下,将第一掩膜与第二掩膜、第一掩膜以及第二掩膜与工件进行对准。【解决手段】具有使第一掩膜M1可沿xy平面移动的同时沿xy平面转动的第一掩膜台100;以及使第二掩膜M2可沿xy平面移动的同时沿xy平面...
  • 平板状部件吸附装置
    本发明提供一种不使得平板状部件吸附装置整体的结构变得庞大,便能通过简单的操作来形成与平板状部件的尺寸相对应的吸附区域的平板状部件吸附装置。本发明的平板状部件吸附装置具有与基底板210层叠,且可被设在基准位置和滑动位置上的部件对面板220...
  • 薄膜的剥离装置以及薄膜的剥离方法
    关于本发明的薄膜剥离装置,具有在将薄膜WC从基材Wm上剥离时实行用于使剥离简单化的预剥离的预剥离机构部700,该预剥离机构部700在使预剥离辊710与薄膜Wc表面的一方侧端部相接触的状态下,使薄膜Wc或者预剥离辊710中的至少一方运行使...
  • 本发明的穿孔装置100是一种对以卷对卷方式输送的片状被加工物W进行穿孔的穿孔装置,包括:片状被加工物输送机构110,输送片状被加工物W;第一穿孔机构130,具有复数个的冲头138以预定样式排列的第一穿孔模具131,在使得所述第一穿孔模具...
  • 本发明提供一种构件粘贴装置,能够通过以短时间使粘接剂层可以熔化或软化而可使粘贴动作高速化,同时能够尽可能避免对作为应该加热的范围的局部范围以外进行加热。具体而言,其为负压吸引粘贴构件20,并通过加热粘接剂层21将该负压吸引的粘贴构件20...
  • 本发明提供一种卷对卷方式的曝光装置,可以自动进行掩模板的图案面的除尘,并且,不对曝光动作造成影响便能进行掩模板的图案面的除尘。其具体为,具备:曝光载物台(240),具有保持基板(W)的曝光工作台(241),可沿z轴与基板(W)一起升降;...
  • 本发明提供一种曝光装置,其具备:基板保持载物台(110),可保持基板(W)并往复移动及升降;曝光载物台(320),保持掩模板(310),使图案面(M2)与基板(W)的感光面(M1)相面对;掩模除尘部(120),与基板保持载物台(110)...