本发明公开一种高温静电吸盘，包括：加热线圈组件、电极吸附组件、测温组件以及由上至下依次重叠的陶瓷基体、隔热板和水冷基座，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基体处于真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；陶瓷基体顶部设有介质层，介质层与承载...

本发明公开了一种离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机，监测系统包括红外测温单元和一个以上的红外窗口，所述红外窗口位于离子注入机靶盘所在的真空腔室壁上，且与靶盘的测温位置相对应；所述红外测温单元位于真空腔室外侧且正对于红外...

本发明公开了一种浪涌电流泄放装置、离子注入机注入系统及其应用方法，装置包括固定座、绝缘管、绝缘板和高压电阻单元；所述绝缘管的一端固定于所述固定座上，所述绝缘管的中部设有腔体且两端开口，所述绝缘板安装于绝缘管的内部且一端紧固在固定座上；所...

本发明公开了一种半导体晶圆光线加热控制方法、介质及系统，方法包括步骤：预先获取晶圆在不同加热功率下的标准加热曲线，并根据不同加热功率下的标准加热曲线，得到对应加热功率下的线性加热段的标准温升速率；其中通过使用光加热的非接触热源对晶圆进行...

本发明公开一种利用电极供电吸附的高温静电吸盘，包括：电极吸附单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；所述电极吸附单元包括电极组件和引出组件，所述电极组...

本发明公开一种具有测温功能的高温静电吸盘，包括：加热线圈、测温单元以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基板，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基板处于标准大气压环境；加热线圈烧结在陶瓷基板内，且加热线圈与加热电源连...

本发明公开一种利用线圈加热的高温静电吸盘，包括：加热线圈单元，以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基座，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；加热线圈单元包括线圈组件和引出组件，线圈组件烧结在陶...

本发明公开一种用于高温离子注入的晶圆预加热装置，包括真空腔室，真空腔室上部设有光纤传感器组件，真空腔室内部设有支撑块、石英手爪和升降组件，石英手爪与升降组件的输出端连接，真空腔室下部设有加热组件，支撑块位于加热组件上方；当光纤传感器组件...

本发明公开了一种离子注入机用离子源坩埚结构，包括坩埚和用于加热坩埚的加热部件，所述坩埚连接有进气管和出气管，所述出气管延伸至离子源的弧室。一种离子注入机用离子源，包括高温区和弧室，还包括上述的离子注入机用离子源坩埚结构。本发明可以通过进...

本发明公开了一种基于静电扫描系统的全电扫描式注入方法，所述静电扫描系统包括电极板组件、剂量法拉第和靶台；所述剂量法拉第上设有束流通道；所述电极板组件位于剂量法拉第的一侧，用于实现束流水平和垂直方向的扫开；所述靶台位于剂量法拉第的另一侧，...

本发明公开了一种随引出电极联动的束流屏蔽装置及离子注入机，装置包括：与引出抑制电极和束流屏蔽组件连接的电极连接轴，电极连接轴通过滚珠丝杆与第二带轮组连接，在驱动电机的驱动下，引出抑制电极沿轴向伸缩；凸轮通过偏转组件与电极连接轴连接，第二...

本实用新型公开了一种电连接器，包括可伐合金外壳、导针和玻璃填充层，外壳的内部设有两端贯穿的通孔，导针通过玻璃填充层固定于外壳的通孔内且伸出通孔的两端；外壳的外壁上设置有第一密封组件。本实用新型还公开了一种束流检测装置，包括真空法兰、空心...

本发明公开一种加速模式与减速模式切换装置及包含其的离子注入机，装置包括：加速机构和减速机构，加速机构包括加速电极、通道和加速电源，加速电极均布在通道外，加速电极与加速电源连接，以实现通道内的束流加速；减速机构包括减速组件、转动副和减速电...

本发明公开了一种用于圆筒形样品的安装夹具及其使用方法，夹具包括内孔夹具和外圆夹具，内孔夹具包括底座和支撑夹持组件，支撑夹持组件设置在底座上，用于夹持样品的内周；外圆夹具包括安装座，安装座上设有移动限位组件和多个支座，支座用于辅助移动限位...

本发明公开了一种控制半导体晶圆加热温度的方法，包括以下步骤：步骤S1、使用非接触热源，对真空加热腔室内的晶圆进行初次加热，到达第一预定时间t1后，晶圆升温至第一预定温度T1；步骤S2、在真空环境中，将晶圆从初次加热的加热腔室传输至二次加...

本实用新型公开了一种带电粒子束流测量装置，包括盒体，所述盒体的一个端面为石墨挡板，所述盒体的另一个端面为背板；所述盒体内依次设置有一个以上的反射电极计量杯、连接板及一个终端检测计量杯，所述反射电极计量杯靠近石墨挡板，所述终端检测计量杯靠...

本发明公开了一种全电扫离子注入机束流与剂量测控系统，包括多通道多量程束流采集模块、从CPU单元、SPI接口模块、模拟波形发生电路、数字波形发生电路、IO接口模块、电压频率转换模块和主CPU单元；多通道多量程束流采集模块的输出端经电压频率...

本发明公开了一种离子注入机的离子注入方法，包括步骤：1)在离子注入前，采用初始扫描电场控制束流在水平和垂直两个方向上进行扫描，并检测两个方向上的束流数据；2)根据两个方向上的束流数据得到对应方向上束斑位置与扫描电场值之间的关系和束斑宽度...

本发明公开了一种离子注入机用束流监测及响应系统，其包括：电源使能模块，用来控制电源是否激活使用；电压设定及反馈模块，用来对电源电压设值，接收电源电压的反馈值；电流反馈模块，用来接收电源电流反馈值；电流幅值超限判定模块，用来对比电源电流反...

本发明公开了一种机械式卡盘装置，其包括承载盘、水冷基座及承载于水冷基座上的卡爪、水冷基座、曲柄