本发明公开了一种控制半导体晶圆加热温度的方法，包括以下步骤：步骤S1、使用非接触热源，对真空加热腔室内的晶圆进行初次加热，到达第一预定时间t1后，晶圆升温至第一预定温度T1；步骤S2、在真空环境中，将晶圆从初次加热的加热腔室传输至二次加...

本实用新型公开了一种带电粒子束流测量装置，包括盒体，所述盒体的一个端面为石墨挡板，所述盒体的另一个端面为背板；所述盒体内依次设置有一个以上的反射电极计量杯、连接板及一个终端检测计量杯，所述反射电极计量杯靠近石墨挡板，所述终端检测计量杯靠...

本发明公开了一种全电扫离子注入机束流与剂量测控系统，包括多通道多量程束流采集模块、从CPU单元、SPI接口模块、模拟波形发生电路、数字波形发生电路、IO接口模块、电压频率转换模块和主CPU单元；多通道多量程束流采集模块的输出端经电压频率...

本发明公开了一种离子注入机的离子注入方法，包括步骤：1)在离子注入前，采用初始扫描电场控制束流在水平和垂直两个方向上进行扫描，并检测两个方向上的束流数据；2)根据两个方向上的束流数据得到对应方向上束斑位置与扫描电场值之间的关系和束斑宽度...

本发明公开了一种离子注入机用束流监测及响应系统，其包括：电源使能模块，用来控制电源是否激活使用；电压设定及反馈模块，用来对电源电压设值，接收电源电压的反馈值；电流反馈模块，用来接收电源电流反馈值；电流幅值超限判定模块，用来对比电源电流反...

本发明公开了一种机械式卡盘装置，其包括承载盘、水冷基座及承载于水冷基座上的卡爪、水冷基座、曲柄

本发明公开了一种高能离子注入机的聚束谐振装置，包括聚束谐振器主体，所述聚束谐振器主体包括桶体及安装于桶体上的聚束电极头和电感调节装置、安装于桶体内的感应线圈；所述桶体安装至电极法兰和顶板上，所述电极法兰中设有一组以上的孔和盲板；所述孔上...

本发明公开了一种离子淋浴系统，包括：离子淋浴枪，固定连接于腔体上；供电装置，与离子淋浴枪连接并为离子淋浴枪供电；所述供电装置包括电连接插针、电连接插孔、公水冷接头、母水冷接头；外接电源的正、负极分别连接至电连接插针、电连接插孔，所述电连...

本实用新型公开了一种晶圆加热的控制系统，包括加热电源和加热盘，所述加热电源包括温控器和固态继电器，所述加热电源中的温控器用来控制固态继电器的输出电压，所述固态继电器的输出电压送至加热盘并令加热盘产生相应的热量，所述加热盘用来将通电产生的...

本发明公开了一种带电粒子束流测量装置，包括盒体，所述盒体的一个端面为石墨挡板，所述盒体的另一个端面为背板；所述盒体内依次设置有一个以上的反射电极计量杯、连接板及一个终端检测计量杯，所述反射电极计量杯靠近石墨挡板，所述终端检测计量杯靠近背...

本发明提供一种间热式固体金属离子源。所述间热式固体金属离子源包括离子源壳体、灯丝屏蔽组件、灯丝和阴极帽固定组件和弧室，所述弧室设于离子源壳体的顶部；所述灯丝和阴极帽固定组件包括灯丝夹杆、灯丝杆固定块、灯丝、卡块、阴极帽、及连接于所述卡块...

本发明提供一种SiC注入用高温加热靶盘。所述SiC注入用高温加热靶盘包括加热底盘、隔热圈、加热绝缘盘、加热丝、炉丝盖板、石墨盘和引出线；所述隔热圈安装在所述加热底盘上并与所述加热底盘形成安装腔，在所述安装腔内由下往上依次叠设加热绝缘盘、...

本发明公开的一种离子质量分析器及离子注入装置，离子质量分析器包括磁轭、设于磁轭内且呈上下对称分布的第一磁极和第二磁极、位于第一磁极与第二磁极之间且供混合离子束以一定路线通过的束线腔、缠绕在第一磁极上的第一线圈以及缠绕在第二磁极上的第二线...

本发明提供一种晶片夹持装置。所述晶片夹持装置包括基板、固定单元和解锁机构，所述固定单元在所述基板的外周布设至少三个，支撑晶片与所述基板之间保持一定距离h，所述基板的一侧设有所述解锁机构，另一侧设有用于放置晶片的安装空间；所述解锁机构相对...

本发明提供一种由气动控制的高低能切换装置。所述切换装置包括安装座、固定座、连接杆、第一导电柱、第二导电柱、第一铜杆、第二铜杆、伸缩驱动件、公头和母头；所述连接杆与伸缩驱动件的伸缩杆相连，所述第一铜杆和第二铜杆分别设置在所述连接杆的两端；...

本发明提供一种适合现场的电位切换装置。所述适合现场的电位切换装置包括第一接线端、第二接线端、顶柱、上缸盖、缸筒、下缸盖、插线板、活塞、活塞拉杆、磁环、滑轮和钢丝绳；所述第一接线端设于所述插线板内，所述第二接线端的一端与第一接线端连接，另...

本实用新型公开了一种用于定向的运动密封结构，在旋转运动和升降运动的过程中保证真空度不受影响，包括波纹管、磁流体装置、盖板、润滑轴承、轴承座和安装法兰等零部件，其中盖板安装在定向装置的安装法兰上，轴承嵌入轴承座固定于盖板的上方，盖板下方与...

本发明公开了一种高压产生电路，属于半导体制造领域。高压产生电路包括：线性电源模块(1)、PWM波产生电路(2)、推挽式逆变电路(3)、倍压整流电路(4)。该高压产生电路需外接120VAC工作电压，线性电源模块(1)分别为PWM波产生电路...

本发明公开了一种离子注入机电扫描的扫描装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：四个扫描电极板(1)、(2)、(3)、(4)，束流(5)，电极高压接线头(6)，晶圆(7)，束流在晶圆上的注入形状(8)，上位机画图程序(...

本发明公开了一种消除电极电荷积累的方法，用恒流电源不断提供的电荷来中和电极积累的异性电荷，保证电极的电位稳定。本方法涉及离子注入机，属于半导体器件制造领域。高压电源A(1)输出直流正电压，提供给电极A(2)正电位，用于离子束的加速并使其...