一种离子淋浴系统技术方案

本发明专利技术公开了一种离子淋浴系统，包括：离子淋浴枪，固定连接于腔体上；供电装置，与离子淋浴枪连接并为离子淋浴枪供电；所述供电装置包括电连接插针、电连接插孔、公水冷接头、母水冷接头；外接电源的正、负极分别连接至电连接插针、电连接插孔，所述电连接插针接入母水冷接头，所述电连接插孔接入公水冷接头；所述公水冷接头、母水冷接头分别与两个导线条连接。本发明专利技术具有结构简单、制作简便、稳定性和可靠性好等优点。性好等优点。性好等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种离子淋浴系统


[0001]本专利技术主要涉及到半导体工艺装备制造
，特指一种离子淋浴系统，尤其适用于高能离子注入机。

技术介绍

[0002]随着科技的飞速发展，离子注入技术的应用范围越来越广，离子注入的工艺要求也不断提高。由于在晶圆的离子注入过程中会不断积累电荷，这将直接影响最终的晶圆质量，因此在离子注入前需要对离子束进行离子中和。
[0003]为此，现有的高能离子注入机在离子注入的过程中需要离子淋浴器向束线区域提供等离子体，对通过束线区域的高能离子束进行淋浴，对离子束进行电中和。离子淋浴器作为低能电子发射器，被广泛用于离子束的电中和过程。离子淋浴器是高能离子注入机中不可缺少的一部分。
[0004]目前，传统的高能离子注入机均没有与其适配的离子淋浴枪成套结构，即现有离子淋浴枪的结构与高能离子注入机的结构不匹配。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种结构简单、制作简便、稳定性和可靠性好的离子淋浴系统。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]一种离子淋浴系统，包括：
[0008]离子淋浴枪，固定连接于腔体上；
[0009]供电装置，与离子淋浴枪连接并为离子淋浴枪供电；所述供电装置包括电连接插针、电连接插孔、公水冷接头、母水冷接头；外接电源的正、负极分别连接至电连接插针、电连接插孔，所述电连接插针接入母水冷接头，所述电连接插孔接入公水冷接头；所述公水冷接头、母水冷接头分别与两个导线条连接。
[0010]作为本专利技术系统的进一步改进：所述公水冷接头和母水冷接头的一端为插针和插孔、用来与电连接插针、电连接插孔分别配合；
[0011]作为本专利技术系统的进一步改进：所述公水冷接头和母水冷接头的另一端为螺柱，螺柱中间开槽，用来与导线条配合，螺柱末端使用螺母和垫片固定。
[0012]作为本专利技术系统的进一步改进：所述离子淋浴枪通过安装法兰固定连接于高能离子注入机的腔体上。
[0013]作为本专利技术系统的进一步改进：所述离子淋浴枪与安装法兰之间设置法兰绝缘板，用来保证离子淋浴枪与腔体之间的绝缘。
[0014]作为本专利技术系统的进一步改进：还包括用来对离子淋浴枪进行冷却的冷却装置；所述冷却装置包括水冷支架和水管，所述水冷支架用来支承离子淋浴枪，所述水冷支架内开设有水冷腔，所述水管插入所述水冷腔完成冷却水的导入。
[0015]作为本专利技术系统的进一步改进：所述冷却装置还包括水路快插接头和直角接头，外界冷却水与水路快插接头相连，由直角接头接入公水冷接头，再经由直角接头通过软管由直通接头将接入水管。
[0016]作为本专利技术系统的进一步改进：所述水冷支架与离子淋浴枪为一体化设计。
[0017]作为本专利技术系统的进一步改进：所述冷却腔的开孔直径要大于水管的外径，以保证水管与水冷支架的冷却腔留有空隙，使冷却水能够循环。
[0018]作为本专利技术系统的进一步改进：冷却水由所述冷却腔端部侧面的开孔通过水路快插接头经由软管和直角接头与母水冷接头相连，经过水路快插接头流出离子淋浴系统。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的优点就在于：
[0020]本专利技术的离子淋浴系统，结构简单、制作简便、稳定性和可靠性好，能够起到承载和冷却对离子束进行电中和的离子淋浴器的作用，形成针对高能离子注入机的、能与高能离子注入机良好适配的离子淋浴系统。整个结构中，由安装法兰、、和离子淋浴器组成。供电装置为离子淋浴器提供电源，冷却装置为离子淋浴器降低温度，其中安装法兰能够将整个系统与高能离子注入机连成一体。
附图说明
[0021]图1是本专利技术系统的结构原理示意图。
[0022]图2是本专利技术在具体应用实例中供电装置装配后的结构原理示意图。
[0023]图3是本专利技术在具体应用实例中供电装置的分解结构原理示意图。
[0024]图4是本专利技术在具体应用实例中冷却装置安装后的局部示意图。
[0025]图5是图4中A
‑
A处的局部剖视示意图。
[0026]图6是本专利技术在具体应用实例中快插接头与直角接头及水冷接头装配后的结构原理示意图，。
[0027]图7是本专利技术在具体应用实例中快插接头与直角接头及水冷接头装配时的分解结构原理示意图。
[0028]图8是本专利技术在具体应用实例中快插接头与直角接头及水冷接头装配后的局部剖视示意图。
[0029]图例说明：
[0030]1、安装法兰；2、法兰绝缘板；3、电连接插针；4、电连接插孔；5、水路快插接头；6、直角接头；7、直通接头；8、公水冷接头；9、母水冷接头；10、软管；11、水冷支架；12、水管；13、导线条；14、离子淋浴枪。
具体实施方式
[0031]以下将结合说明书附图和具体实施例对本专利技术做进一步详细说明。
[0032]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0033]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“装配”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0034]如图1所示，本专利技术的一种离子淋浴系统，适用于高能离子注入机，并能与高能离子注入机形成成套设备；其包括：
[0035]离子淋浴枪14，通过安装法兰1固定连接于高能离子注入机的腔体上；
[0036]供电装置，包括电连接插针3、电连接插孔4、公水冷接头8、母水冷接头9及导线条13；如图2和图3所示，在具体应用实例中，公水冷接头8和母水冷接头9的一端为插针和插孔、用来与电连接插针3、电连接插孔4分别配合；公水冷接头8和母水冷接头9的另一端为螺柱，螺柱中间开槽，用来与导线条13配合，螺柱末端使用螺母和垫片固定。外接电源的正、负极分别连接至电连接插针3、电连接插孔4，电连接插针3接入母水冷接头9，电连接插孔4接入公水冷接头8；公水冷接头8、母水冷接头9再分别与两个导线条13连接，最后与离子淋浴枪14连接构成完整的供电系统，为整个离子淋浴系统供电。
[0037]在具体应用实例中，本专利技术进一步在离子淋浴枪14与安装法兰1之间设置法兰绝缘板2，用来保证离子淋浴枪14与腔体之间的绝缘。
[0038]由于在长期工作状态下，所述离子淋浴枪14的温度会逐渐升高，将会本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子淋浴系统，其特征在于，包括：离子淋浴枪(14)，固定连接于腔体上；供电装置，与离子淋浴枪(14)连接并为离子淋浴枪(14)供电；所述供电装置包括电连接插针(3)、电连接插孔(4)、公水冷接头(8)、母水冷接头(9)；外接电源的正、负极分别连接至电连接插针(3)、电连接插孔(4)，所述电连接插针(3)接入母水冷接头(9)，所述电连接插孔(4)接入公水冷接头(8)；所述公水冷接头(8)、母水冷接头(9)分别与两个导线条(13)连接。2.根据权利要求1所述的离子淋浴系统，其特征在于，所述公水冷接头(8)和母水冷接头(9)的一端为插针和插孔、用来与电连接插针(3)、电连接插孔(4)分别配合。3.根据权利要求2所述的离子淋浴系统，其特征在于，所述公水冷接头(8)和母水冷接头(9)的另一端为螺柱，螺柱中间开槽，用来与导线条(13)配合，螺柱末端使用螺母和垫片固定。4.根据权利要求1
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3中任意一项所述的离子淋浴系统，其特征在于，所述离子淋浴枪(14)通过安装法兰(1)固定连接于高能离子注入机的腔体上。5.根据权利要求4所述的离子淋浴系统，其特征在于，所述离子淋浴枪(14)与安装法兰(1)之间设置法兰绝缘板(2)，用来保证离子淋浴枪(14...

【专利技术属性】
技术研发人员：王朋飞，高静，黄海龙，李进，李士会，
申请(专利权)人：北京烁科中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：