【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体器件制造，具体涉及一种利用线圈加热的高温静电吸盘。
技术介绍
1、半导体元器件制造技术复杂且根据不同的需求频繁多变，所涉工艺制程中，在进行离子注入、溅射、cvd、蚀刻等的等离子处理单元时，基本都使用静电吸盘来吸附并保持半导体晶片或玻璃基板等对象。因此，在半导体高级制程工艺中，常温静电吸盘已不能完全满足高级制程工艺需求，高温静电吸盘应运而生，可有效满足更高级别的工艺制程需求。高温静电吸盘与常温静电吸盘相比，其工况环境比较复杂，在运动状态下其自身温度高达500℃，因此，高温静电吸盘加热的稳定性尤为重要。为了得到更稳定、更可靠的加热功能，且保持高温静电吸盘的高真空工作环境，传统的线缆连接方式已不能满足高温静电吸盘的工作需求。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是针对现有线缆连接方式不能满足高温静电吸盘的工作需求的问题，提供一种结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、加热均匀性高的利用线圈加热的高温静电吸盘。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种利用线圈加热的高温静电吸盘，包括：加热线圈单元，以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基座，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；所述加热线圈单元包括线圈组件和引出组件，所述线圈组件烧结在陶瓷基板内，所述引出组件贯穿在隔热板和水冷基座中，且引出组件的上端与线圈组件连接，引出组件的下端与标准大气压环境内的加热电源连接，以实现对线圈组件供电，进
4、作为本专利技术的进一步改进，所述线圈组件包括：加热线圈、导电带和引出触点，所述加热线圈和导电带烧结在陶瓷基板内，引出触点烧结在陶瓷基板的下表面，导电带的上端与加热线圈连接，导电带的下端与引出触点连接，引出触点与引出组件连接。
5、作为本专利技术的进一步改进，所述引出组件包括引出针、pin针、连接器外壳和绝缘套；所述连接器外壳通过紧固螺钉与水冷基座固定连接；所述引出针通过绝缘套穿插在连接器外壳和水冷基座内，引出针的上端用于接触引出触点，引出针的下端用于接触pin针；所述pin针的上端固定在连接器外壳内部，pin针的下端用于连接标准大气压环境内的加热电源，以实现加热电源对加热线圈供电，且pin针与连接器外壳之间设有绝缘套。
6、作为本专利技术的进一步改进，所述绝缘套包括第一绝缘套和第二绝缘套，所述第一绝缘套的上端固定在引出针的上端外侧，第一绝缘套的下端通过波纹弹簧与连接器外壳连接，在波纹弹簧的带动下，引出针往复升降以接触pin针；所述第二绝缘套的下端与pin针和连接器外壳进行烧结固定，第二绝缘套的上端延伸至引出针的外侧，所述波纹弹簧位于第二绝缘套与连接器外壳之间。
7、作为本专利技术的进一步改进，所述连接器外壳与水冷基座之间使用密封圈进行密封。
8、作为本专利技术的进一步改进，所述pin针的上端设有插孔，所述插孔内设有鼓型冠簧，所述引出针的下端插入到pin针上端的插孔内。
9、作为本专利技术的进一步改进，所述引出针的上端表面为弧形面，在波纹弹簧的作用下，引出针的下端在pin针的插孔内上下滑动，引出针的上端同时接触引出触点。
10、作为本专利技术的进一步改进，所述引出针、导电带、引出触点、pin针和连接器外壳的金属成分包括银(ag)、钯(pd)、铂(pt)、钼(mo)、铜(cu)或钨(w)中的至少一种。
11、作为本专利技术的进一步改进，所述第一绝缘套和第二绝缘套的成分包括氧化锆、玻璃釉、氧化钇、氧化铝、碳化硅、氮化硅或氮化铝中的至少一种。
12、作为本专利技术的进一步改进，所述第二绝缘套耐1000℃以上的高温；所述pin针耐500℃以上的高温；所述连接器外壳耐800℃以上的高温。
13、与现有技术相比，本专利技术的优点在于：
14、本专利技术的利用线圈加热的高温静电吸盘，通过将陶瓷基板、隔热板和水冷基座依次进行重叠设置，组成了高温静电吸盘的主体结构，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于高真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；与此同时，还在高温静电吸盘中设置了由线圈组件和引出组件组成的加热线圈单元，将线圈组件烧结在陶瓷基板内，引出组件则贯穿在隔热板和水冷基座中，且引出组件的上端与线圈组件连接，引出组件的下端与标准大气压环境内的加热电源连接，实现了利用加热电源对线圈组件进行供电，进而实现了高温静电吸盘升温加热，有效解决了高温静电吸盘加热线圈连接触点的稳定可靠性问题，同时还有效解决了加热线缆及触点接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题，满足了高温静电吸盘在高温、高真空工作环境下，运动速度高且运动姿态多变的使用需求，避免了出现拉弧现象而导致高温静电吸盘局部升温，进而造成陶瓷基板的盘体局部温差过高而引起盘体破裂，提高了高温静电吸盘的使用安全性。
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1.一种利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，包括：加热线圈单元，以及依次重叠的陶瓷基板(1)、隔热板(2)和水冷基座(3)，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板(1)处于真空环境，水冷基座(3)处于标准大气压环境；所述加热线圈单元包括线圈组件和引出组件，所述线圈组件烧结在陶瓷基板(1)内，所述引出组件贯穿在隔热板(2)和水冷基座(3)中，且引出组件的上端与线圈组件连接，引出组件的下端与标准大气压环境内的加热电源连接，以实现对线圈组件供电，进而实现高温静电吸盘升温加热。
2.根据权利要求1所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述线圈组件包括：加热线圈(5)、导电带(6)和引出触点(7)，所述加热线圈(5)和导电带(6)烧结在陶瓷基板(1)内，引出触点(7)烧结在陶瓷基板(1)的下表面，导电带(6)的上端与加热线圈(5)连接，导电带(6)的下端与引出触点(7)连接，引出触点(7)与引出组件连接。
3.根据权利要求2所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述引出组件包括引出针(4)、pin针(10)、连接器外壳(12)和绝缘套；所述连接器
4.根据权利要求3所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述绝缘套包括第一绝缘套(8)和第二绝缘套(9)，所述第一绝缘套(8)的上端固定在引出针(4)的上端外侧，第一绝缘套(8)的下端通过波纹弹簧(13)与连接器外壳(12)连接，在波纹弹簧(13)的带动下，引出针(4)往复升降以接触pin针(10)；所述第二绝缘套(9)的下端与pin针(10)和连接器外壳(12)进行烧结固定，第二绝缘套(9)的上端延伸至引出针(4)的外侧，所述波纹弹簧(13)位于第二绝缘套(9)与连接器外壳(12)之间。
5.根据权利要求4所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述连接器外壳(12)与水冷基座(3)之间使用密封圈(11)进行密封。
6.根据权利要求4所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述pin针(10)的上端设有插孔，所述插孔内设有鼓型冠簧，所述引出针(4)的下端插入到pin针(10)上端的插孔内。
7.根据权利要求6所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述引出针(4)的上端表面为弧形面，在波纹弹簧(13)的作用下，引出针(4)的下端在pin针(10)的插孔内上下滑动，且引出针(4)的上端同时接触引出触点(7)。
8.根据权利要求3至7中任意一项所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述引出针(4)、导电带(6)、引出触点(7)、pin针(10)和连接器外壳(12)的金属成分包括银(Ag)、钯(Pd)、铂(Pt)、钼(Mo)、铜(Cu)或钨(W)中的至少一种。
9.根据权利要求4至7中任意一项所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述第一绝缘套(8)和第二绝缘套(9)的成分包括氧化锆、玻璃釉、氧化钇、氧化铝、碳化硅、氮化硅或氮化铝中的至少一种。
10.根据权利要求4至7中任意一项所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述第二绝缘套(9)耐1000℃以上的高温；所述pin针(10)耐500℃以上的高温；所述连接器外壳(12)耐800℃以上的高温。
...【技术特征摘要】
1.一种利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，包括：加热线圈单元，以及依次重叠的陶瓷基板(1)、隔热板(2)和水冷基座(3)，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板(1)处于真空环境，水冷基座(3)处于标准大气压环境；所述加热线圈单元包括线圈组件和引出组件，所述线圈组件烧结在陶瓷基板(1)内，所述引出组件贯穿在隔热板(2)和水冷基座(3)中，且引出组件的上端与线圈组件连接，引出组件的下端与标准大气压环境内的加热电源连接，以实现对线圈组件供电，进而实现高温静电吸盘升温加热。
2.根据权利要求1所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述线圈组件包括：加热线圈(5)、导电带(6)和引出触点(7)，所述加热线圈(5)和导电带(6)烧结在陶瓷基板(1)内，引出触点(7)烧结在陶瓷基板(1)的下表面，导电带(6)的上端与加热线圈(5)连接，导电带(6)的下端与引出触点(7)连接，引出触点(7)与引出组件连接。
3.根据权利要求2所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述引出组件包括引出针(4)、pin针(10)、连接器外壳(12)和绝缘套；所述连接器外壳(12)通过紧固螺钉(14)与水冷基座(3)固定连接；所述引出针(4)通过绝缘套穿插在连接器外壳(12)和水冷基座(3)内，引出针(4)的上端用于接触引出触点(7)，引出针(4)的下端用于接触pin针(10)；所述pin针(10)的上端固定在连接器外壳(12)内部，pin针(10)的下端用于连接标准大气压环境内的加热电源，以实现加热电源对加热线圈(5)供电，且pin针(10)与连接器外壳(12)之间设有绝缘套。
4.根据权利要求3所述的利用线圈加热的高温静电吸盘，其特征在于，所述绝缘套包括第一绝缘套(8)和第二绝缘套(9)，所述第一绝缘套(8)的上端固定在引出针(4)的上端外侧，第一绝缘套(...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑞强，赵官源，喻晓，李亚明，苏永飞，李进，李士会，
申请(专利权)人：北京烁科中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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