一种应用纳米压印和反应离子刻蚀技术制备纳米悬臂结构的方法，其特征在于它包括以下三个步骤：（１）应用刻蚀技术制备纳米压印模板；（２）应用纳米压印技术复制悬臂图形；（３）应用各向同性反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构。本发明的优越性在于：１．通过...

本发明公开了一种加工周期性纳米结构器件的方法。本发明所提供的加工周期性纳米结构器件的方法，包括如下步骤：１）准备并清洗所选用的衬底，在衬底上图形化出结构层；２）选择与所述结构层材料不同的另一种材料，在所述结构层的侧面进行侧墙沉积，各向异...

本发明公开了一种规模化制备超精细纳米结构的方法与应用。该方法包括：１）将待加工物放入加速电压大于２００ｋＶ的场发射透射电镜中，将该场发射透射电镜的放大倍数调至１００ＫＸ，将透射电镜电子束会聚成１－１０ｎｍ的束斑；２）将束斑移动至待加工物...

本发明公开了一种水成膜泡沫灭火剂。本发明的水成膜泡沫灭火剂包括碳氟表面活性剂，碳氢表面活性剂和水；所述碳氟表面活性剂为具有下述分子式的化合物中的至少一种：（１）［ＣＦ↓［３］－（ＣＦ↓［２］）↓［ｎ－１］－ＳＯ↓［３］］ＮＨ（Ｃ↓［ｍ］...

一种传染病抢救隔离治疗床，包括主床板，及床腿，其特征在于主床板上固接有机玻璃密封罩；密封罩一端设密封门；密封罩上开若干操作孔，密封连接操作手套；开若干器械进出孔，密封连接操作胶套，操纵胶套中部设单向气孔，两端可密封和解封；密封罩上还开设...

一种便携式血栓血压糖尿宁属于具有医疗和保健功能的装饰物。尤其是与手表或手腕装饰物配合使用治疗脑血栓、高血压、糖尿病及冠心病的便携式医疗保健装饰物。它通过安置在紧贴手腕处的磁化药物作用于人体手腕处的经络、穴位和血液上，达到其治疗高血压、心...

本发明是一种新型的医疗仪器。具有半导体发光管制作的多个光针和一个发光管列阵组成的光淋浴器。光针与光淋浴器发射与人体细胞共振的组合频率的光脉冲和热量刺激穴位及大面积的病灶。具有止痛作用快，消炎、消肿、消瘀效果好以及改善人体全身功能等作用。...

一种微型原子气室封装设备及工艺技术方法，包括：样品室、压力杆、样片、样品台、加热丝与测温探头、真空泵连接口、充气进口、直流高压电源、电压表、电阻和其它测控装置，包括步骤１材料的选取，步骤２材料的加工，步骤３样片的清洗，步骤４第一面键合，...

本发明涉及微加工技术，特别地，涉及生物微机电系统。本发明提供了一种分体式微机电系统及其制备方法。所述分体式微机电系统包括结构上彼此独立的聚合物微流控芯片和功能基底。其中，功能基底是由高精度硅基微机电系统加工技术实现，结构稳定，性能可靠，...

本发明公开了一种衬底上基片的微细加工方法，该方法包括：使用聚合物作为中间黏附层，通过压力键合的方法，将衬底与基片键合在一起，形成衬底上基片；对基片减薄，并深刻蚀形成通孔；对通孔进行回填，再次对基片进行深刻蚀形成电镀孔；在电镀孔内电镀金属...

本发明公开了一种钛可动器件的制作方法，利用等离子体刻蚀技术在钛基片上形成刻蚀深槽并进行填充，然后将其与另一衬底基片相键合，再从钛基片背面进行化学腐蚀和化学机械抛光减薄直至露出刻蚀深槽，去除刻蚀深槽中的填充材料，释放可动结构，从而加工出具...

本发明涉及一种预测微结构力学特性的方法，其包括以下步骤：（１）制作出一系列版图尺寸不同的检测结构；（２）根据实验得到的这些检测结构的力学特性；（３）由检测结构的版图尺寸和力学特性，反算出修正参数；（４）根据所设计的ＭＥＭＳ结构的版图尺寸...

本发明涉及一种微电子机械系统的圆片级真空封装及倒装焊方法，它包括如下步骤：对盖帽玻璃片进行打孔，但不打通；在盖帽玻璃片未打引线孔的一侧溅射钨（或铬）和金，并进行光刻和腐蚀，形成掩膜；用氢氟酸腐蚀玻璃腔体，同时将未穿通的引线孔腐蚀通；在玻...

本发明提供了一种可广泛应用的ＭＥＭＳ器件的气密性封装方法，该方法是一种基于中间层的键合技术，配合涂敷金属等气密性材料来实现气密性封装。所用的中间层材料是光刻胶等具有黏附性的有机物质，在低温低压的情况下就能实现较大的键合强度，并且产生的内...

本发明公开了一种制备碳纳米管悬壁梁阵列的方法，该方法包括：制备一对或一对以上电极，电极的阴极和阳极交错分布；将含有碳纳米管的有机溶液覆盖在上述电极之上；在电极上施加交流电或直流电后，碳纳米管垂直于上述电极边沿平行排布；待有机溶液蒸发后，...

本发明提供了一种利用低温共烧陶瓷基板对ＭＥＭＳ器件进行真空封装的方法：首先利用低温共烧陶瓷的多层电路结构、三维布线把电路中应用的各种无源元器件和传输线等完全掩埋在基板介质中；然后把ＭＥＭＳ器件粘接或焊接在基板上，并完成电气连接；最后将带...

本发明公开了一种ＭＥＭＳ密封封装方法，该方法包括：在玻璃片或者硅片上腐蚀出与ＭＥＭＳ器件相匹配的底部开口的微封盖结构，在该微封盖墙体的底端腐蚀出一凹槽；ＭＥＭＳ器件及其电极制备在一衬底上，在上述ＭＥＭＳ器件周围衬底的键合密封区域制备一隔...

本发明涉及一种高深宽比氧化硅刻蚀工艺，其采用电感耦合等离子刻蚀系统，且反应气体包括Ｃ↓［４］Ｆ↓［８］、Ｈ↓［２］及Ｈｅ，并采用以下工艺参数：离子源功率为１０００－１８００Ｗ；承片台功率为３００－４００Ｗ；反应室压力为４－１２ｍＴ；Ｃ↓...

本发明提供一种ＭＥＭＳ力学微探针及其制备方法，属于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）加工技术领域。该探针包括探针体、衬底和若干个固定锚点，探针体包括：Ｔ型探针头、弹性梁、两个梳齿电容及标尺结构，Ｔ型探针头通过与固定锚点连接的弹性梁悬浮于衬底之上...

本发明涉及一种模块化机器鱼，其特征在于：它包括单独密封且模块化设置的鱼头模块，左、右胸鳍模块，至少两个驱动模块和尾鳍；所述鱼头模块内设置有控制装置和带动所述左、右胸鳍模块做沉浮运动的主电机，所述左、右胸鳍模块的主轴通过动密封机构连接所述...