北京北方华创真空技术有限公司专利技术

北京北方华创真空技术有限公司共有258项专利

  • 本申请涉及陶瓷材料脱脂烧结的技术领域,公开了一种多区域脱脂烧结一体炉,包括炉体、安装于炉体内的加热部、保温层以及料箱,所述料箱位于保温层内,所述料箱底部连接有排气装置;所述炉体相对的两端上均安装有炉门,两所炉门各设置有进气管,所述炉体周...
  • 本申请涉及单晶硅棒生产设备的领域,尤其是涉及一种硅单晶生长连续加料装置以及采用该装置的单晶炉。一方面本申请涉及一种硅单晶生长连续加料装置,包括加料筒、设置在加料筒上的提拉机构、夹持机构和密封机构;加料筒与单晶炉连接并与单晶炉内连通。另一...
  • 本申请涉及单晶硅棒生产设备的技术领域,尤其是涉及一种晶棒稳定装置以及使用该装置的单晶炉。一方面本申请涉及一种晶棒稳定装置,包括抵持机构和驱动机构;抵持机构包括支撑座以及与支撑座铰接的摆臂;所述摆臂设置有多个,多个摆臂之间留有供晶棒穿过的...
  • 本发明申请涉及一种新型送丝蒸发系统,包括:安装座,所述安装座上可升降设置有蒸发机构;送丝机构包括送丝座、送丝轮、压紧轮和送丝管,所述送丝座的尾端可转动设置在所述安装座上,送丝轮可转动设置所述送丝座上,所述送丝管可转动设置在所述送丝座上;...
  • 本申请涉及镀膜领域,提供一种磁控溅射镀膜设备换靶工具,包括第一安装组件、升降平移组件、第二安装组件和第一调节组件,升降平移组件与第一安装组件连接;第二安装组件至少包括基座、转动板和夹持组件,夹持组件用于夹持靶材,夹持组件滑动设于转动板,...
  • 本申请涉及真空蒸发镀膜领域,提供一种蒸发方法及蒸发舟,蒸发方法包括将蒸发容器预热至温度t1,温度t1大于蒸发原料的熔点温度,小于蒸发原料的沸点温度;将蒸发原料加热融化,使融化后的蒸发原料滴落在蒸发容器内;在融化后的蒸发原料完全铺满整个蒸...
  • 本申请涉及加热设备的领域,尤其是一种化学沉积炉用封闭式炉底加热装置,包括与炉底法兰座连接的法兰盘、绝缘罩、加热器和导电装置,所述绝缘罩连接在法兰盘表面,所述绝缘罩内腔与法兰盘表面之间留有供加热器安装的密封腔,所述导电装置连接在加热器和法...
  • 本申请涉及真空电阻炉领域,尤其是涉及一种真空电阻炉用炉门隔热屏自动进退机构,其包括驱动件、安装座、连接轴、转接座和导向组件,安装座焊接在真空电阻炉炉门内外封头上,驱动件固定在安装座上,转接座通过连接轴与驱动件连接,驱动件带动炉门隔热屏向...
  • 本发明涉及真空卷绕镀膜技术领域,尤其是涉及一种弧型辊真空套装柔性管工艺装置,该工艺装置由真空腔室、可调弧型运动机构、平移机构和滑移机构等组成,弧型辊套装柔性套,如套特氟龙套的工艺过程在真空环境中完成,从根本上解决了套装过程中特氟龙套和胶...
  • 本发明公开了一种蒸镀装置,涉及蒸镀装置冷却的技术领域,包括:真空容器,开设有第一通孔;法兰盘,固定连接在所述真空容器的外侧壁,所述法兰盘开设有第二通孔,所述第二通孔与所述第一通孔相互连通;电子枪,与所述法兰盘固定连接,所述电子枪的输出端...
  • 本申请涉及镀膜鼓清理的技术领域,尤其是涉及一种镀膜鼓清理单元,包括翻转组件、刮刀组件及收集组件。其中,翻转组件设置在箱体内;刮刀组件设置在所述翻转组件上并靠近主鼓设置;收集组件转动连接在所述箱体内并与所述翻转组件连接,所述刮刀组件靠近所...
  • 本申请涉及一种晶棒状态的动态检测方法、装置、设备及存储介质,该方法包括实时监测并收集单晶炉中晶棒在不同工艺阶段产生的压降模拟量数据;对压降模拟量数据进行分析与处理,并根据分析结果构建动态模型,识别晶棒在不同工艺阶段的晶棒状态信息;获取设...
  • 本申请涉及单晶硅制造的技术领域,提供一种单晶炉加料器用的自动取挂装置,包括吊挂结构和接取结构,吊挂结构包括吊杆、第一挂块和第二挂块,第一挂块设置于吊杆一端,第二挂块位于第一挂块下方,且与吊杆滑动连接;接取结构包括重锤、连接于重锤一端的锥...
  • 本申请涉及渗硅炉的领域,尤其是一种连续高温渗硅炉,其包括进料置换室、烧结室、出料置换室、冷却室、出料室、传输组件和换气组件,传输组件用于传输工件,工件经由传输组件依次进入进料置换室、烧结室、出料置换室、冷却室和出料室,进料置换室、烧结室...
  • 本申请涉及一种防石墨压头断裂的真空热压炉吊装系统,属于真空热压炉的吊装设备技术领域。其包括卡接件、套筒件和连接件,安装槽的顶端设有斜面,斜面使安装槽靠近石墨压头轴线的槽底面积小于安装槽远离石墨压头轴线的槽口面积,斜面与石墨压头的断裂面平...
  • 本申请涉及卷绕真空镀膜机的技术领域,改善了现有技术材料飞溅颗粒粘附于膜材上的问题,公开了一种带刮刀装置的真空镀膜设备,其包括空镀膜设备主体和刮刀装置;真空镀膜设备主体包括真空室、卷绕装置;卷绕装置包括收卷辊、放卷辊、镀膜鼓和若干转向辊;...
  • 本申请公开了一种真空炉的闸阀,真空炉的闸阀包括闸阀本体和阀芯组件。闸阀本体设有连通烧结室的第一连通口和设有连通过渡室的第二连通口;阀芯组件设于闸阀本体内,阀芯组件包括驱动板、第一封堵板和第二封堵板,第一封堵板适于与第一连通口相对,第二封...
  • 本申请涉及籽晶生长的技术领域,公开了多籽晶转动机构,包括上板和下板,所述上板开设有中间孔,转动机构还包括安装于所述上板和所述下板之间的输入轴、主动齿轮、以及三组从动齿轮组,输入轴穿过中间孔和主动齿轮同轴固定连接,每组从动齿轮组的从动齿轮...
  • 本申请涉及化学气相沉积的技术领域,一种化学气相沉积炉包括沉积炉本体、马弗罐和放置机构,沉积炉本体设有工作腔,马弗罐嵌于工作腔内,放置机构包括下层料盘、中层料盘、上层料盘和中气柱,中气柱同轴嵌于马弗罐内,下层料盘、中层料盘和上层料盘同轴连...
  • 本申请涉及钟罩炉的技术领域,防止工作人员在操作物料时,炉体骤坠击中工作人员,公开了一种钟罩炉的安全装置,其包括安装架、防坠板和转动驱动件;防坠板一端转动连接安装架,另一端倾斜向炉体所在方向延伸;转动驱动件设置于安装架上,转动驱动件输出端...
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