北京北方华创真空技术有限公司专利技术

北京北方华创真空技术有限公司共有258项专利

  • 申请涉及一种保温塔,涉及保温技术领域,一种保温塔包括夹头和中心立柱,夹头与中心立柱可拆卸连接,中心立柱与夹头的另一端固定连接有阻热件,本申请中的阻热件能够降低气体的通过面积,减小气体将炉体内的热量散出程度,降低热辐射的损失程度。降低热辐...
  • 本申请涉及一种单晶炉中的炉盖结构,涉及单晶生产设备技术领域。该炉盖结构包括炉盖本体和能够与加料法兰环相连接的隔离阀,隔离阀设于炉盖本体上并与炉盖本体内部相连通,炉盖结构还包括设置在炉盖本体一侧的加料法兰环放置装置和设置在隔离阀处的加料法...
  • 本申请涉及一种单晶炉配件,尤其是涉及一种配重块承托机构,其技术方案要点是:配重块承托机构包括多个首尾相连的承载杆,相邻两个承载杆相铰接;位于端部的承载杆上设置有用于承托配重块的承托组件;达到了在配重块于水平方向能够达到的最远距离一定的情...
  • 本申请涉及一种单晶炉热场系统,涉及单晶制造设备技术领域,一种单晶炉热场系统包括上炉盖、下炉体和潜望CCD,上炉盖的顶端开设有供晶棒提升的出料孔,潜望CCD倾斜设置在上炉盖上且朝向上炉盖与下炉体组成的内部空腔,潜望CCD位于上炉盖的顶端中...
  • 本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种真空镀膜设备观察窗辅助机构,一种真空镀膜设备观察窗辅助机构,包括离化装置和吸附装置,离化装置包括高压正极和高压负极,高压正极和高压负极相对设置;吸附装置用于吸附离化出来的离子和电子。本申请具有减...
  • 本申请涉及化学气相沉积的领域,尤其是涉及一种化学气相沉积设备,包括底托、安装在所述底托上的反应区罩、安装在所述底托上且罩设在所述反应区罩外侧的反射罩、设置在所述反应区罩与所述反射罩之间的加热灯、位于所述反应区罩内且连通外界的反应气管,以...
  • 本申请涉及有机物化学气相沉积的领域,尤其是涉及一种模块化设计的MOCVD用石墨盘,包括石墨盘本体,所述石墨盘本体包括基座、多个片槽基底,以及安装在所述基座上的多个石墨盘模块;多个所述石墨盘模块与所述基座均为可拆卸连接,且多个所述石墨盘模...
  • 本申请涉及有机物化学气相沉积的领域,尤其是涉及一种模块化设计的MOCVD用石墨盘,包括石墨盘本体,所述石墨盘本体包括基座、多个片槽基底,以及安装在所述基座上的多个石墨盘模块;多个所述石墨盘模块与所述基座均为可拆卸连接,且多个所述石墨盘模...
  • 本申请涉及化学气相沉积的领域,尤其是涉及一种化学气相沉积设备,包括底托、安装在所述底托上的反应区罩、安装在所述底托上且罩设在所述反应区罩外侧的反射罩、设置在所述反应区罩与所述反射罩之间的加热灯、位于所述反应区罩内且连通外界的反应气管,以...
  • 本申请涉及挤压设备的技术领域,尤其是涉及一种烧结炉中的多压头固定密封结构,其包括安装架和炉体,炉体设置在安装架内,安装架包括底座、顶板及若干根支柱,若干根支柱上滑动设置有滑块,顶板上设置有能够驱动滑块沿支柱往复移动的驱动件,滑块下侧设置...
  • 本申请公开了一种通过门卡环锁定的罐体,涉及炉门启闭的技术领域,包括:开设有罐口的罐体;用于盖合罐口的封盖,封盖侧表面设置有第一锁紧块;转动臂以及紧固机构,紧固机构包括连接盘及门卡环,连接盘为环形,门卡环包括圆周侧壁以及连接于圆周侧壁两端...
  • 本申请涉及真空管道清灰的领域,尤其是涉及一种单晶炉真空管道用气动清灰装置及单晶炉,包括摆动气缸、与所述摆动气缸的驱动轴连接的摆动杆,以及安装在摆动杆远离所述摆动气缸一端的侧壁上的拨片,摆动气缸通过摆动杆带动拨片往复摆动。本申请具有防止单...
  • 本申请涉及加热炉设备的技术领域,尤其涉及一种连续炉,包括炉体,炉体内部设置有用于放置待加工工件并且能够沿着炉体的长度方向移动的推车。本申请具有减小移动待加工工件产生的摩擦,提高推车和导轨的使用寿命,降低制造成本的效果。造成本的效果。造成...
  • 本申请涉及一种单晶炉旋转臂支架,其包括承重立柱的一侧设置有升降座,升降座上设置有轴套管,轴套管远离升降座的一端设置有导向座,升降座、轴套管和导向座同轴线设置,轴套管能够在升降座和导向座之间进行周向转动,承重立柱靠近升降座的一侧设置有滑轨...
  • 本申请涉及一种单晶炉用控制箱组件,其包括炉体,所述炉体外壁设置有立柱,所述立柱顶部设置有升降臂,所述立柱设置有使所述升降臂升降和旋转的旋转组件,所述旋转组件包括固定连接于所述立柱端部的第一旋转弯头,所述第一旋转弯头顶部转动连接有第一旋转...
  • 本申请涉及管式炉领域,尤其是涉及一种翻盖长管式真空炉,包括下加热器及与所述下加热器转动连接的上加热器,所述下加热器与所述上加热器朝向彼此的表面分别开设有凹部,两个相对的所述凹部共同形成工件容纳空间。所述上加热器包括多个第一盖体与第二盖体...
  • 本申请涉及长管式炉领域,尤其是涉及一种长管式热处理炉设备,包括机架、温度调节区以及防烫机构。当需要对长度较长的工件进行热处理时,由于工件加热需要很高的温度,工件受热膨胀伸长的同时,炉体也会进行伸长,伸长的炉体的伸长范围在防烫机构的范围之...
  • 本申请涉及热处理炉领域,尤其是涉及一种用于热处理炉的快冷风道机构,包括炉体以及内循环气冷系统。将待加工的工件置于热区,工作人员操作热处理炉对热区进行升温,升温后的热区温度升至一定程度后,工作人员将内循环气冷系统打开,内循环气冷系统迅速将...
  • 本申请涉及热处理炉领域,尤其是涉及一种用于长管式热处理炉的进出料装置,包括运料平台和拖料平台。当需要对较长的工件进行热处理炉加工时,由于工件的长度较长,加工后出料的过程中发生弯折的可能性较大,工作人员通过将工件放置在运料平台上,同时使用...
  • 本申请涉及长管式炉的技术领域,尤其是涉及一种长管式炉炉管支撑结构,包括若干支撑装置,支撑装置用于对炉管进行支撑。支撑装置包括支撑件、滑动件,支撑件放置在地面上,滑动件固定在支撑件上,炉管搭接在滑动件上,通过炉管与滑动件的滑动连接,减小了...