固体浸没透镜单元具备：固体浸没透镜，其具有抵接于检查对象物的抵接面、及与物镜相对的球面；保持器，其保持固体浸没透镜；磁铁，其设置于保持器；及球体，其在与球面相对的位置上通过磁铁的磁力而可旋转地被保持。保持器在球面接触于球体的状态下，可摇...

一个实施方式所涉及的检查方法，是对具有基板(SiE)及形成于基板(SiE)上的金属层(ME)的半导体器件(D)进行激光标记的检查方法，包含：通过检查半导体器件(D)，特定半导体器件(D)中的故障部位(fp)的步骤；基于故障部位(fp)，...

本发明的光检测器包括：基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电...

本发明的光检测器包括基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿着线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接；与基板的...

本实施方式涉及一种光子检测器，其具备前置放大器，该前置放大器具有可防止放大器饱和的构造。前置放大器具有放大器，并且还具有分别配置于将该放大器的输入端侧与输出端侧电连接的多条配线的电容元件、n型MOSFET、及p型MOSFET。n型MOS...

本发明的X射线检测装置(30)包括：将低能范围的X射线转换为闪烁光的低能用闪烁器(31)；检测闪烁光并输出图像数据的低能用线传感器(32)；将高能范围的X射线转换为闪烁光的高能用闪烁器(33)；和检测闪烁光并输出图像数据的高能用线传感器...

分光测量装置对被测量物照射光并对与该照射相应地从被测量物输出的测量光进行测量，该分光测量装置包括：第1框体，其收纳射出光的光源，形成有由光源射出的光通过的第1开口，具有遮光性；第2框体，其形成有测量光通过的第2开口，收纳接收通过了第2开...

光检测装置具备：具有二维排列的多个像素的半导体光检测元件、具有对来自对应的像素的输出信号进行处理的多个信号处理部的搭载基板。半导体光检测元件在每个像素具有：多个雪崩光电二极管，其以盖革模式动作；多个灭弧电阻，其串联地电连接于对应的雪崩光...

光检测装置包括：具有彼此相对的第一主面和第二主面的半导体基板；和在厚度方向上贯通半导体基板的多个贯通电极。半导体基板具有以盖革模式工作的多个雪崩光电二极管。多个贯通电极与对应的雪崩光电二极管电连接。半导体基板包括：至少在第一方向上排列有...

分光测量装置对被测量物照射光并对与该照射相应地从被测量物输出的测量光进行测量，分光测量装置包括：第1框体，其收纳射出光的光源，形成有由光源射出的光通过的第1开口，具有遮光性；第2框体，其形成有测量光通过的第2开口，收纳接收通过了第2开口...

分光测量装置对被测量物照射光并对与该照射相应地从被测量物输出的测量光进行测量，分光测量装置包括：第1框体，其收纳射出光的光源，形成有由光源射出的光通过的第1开口，具有遮光性；第2框体，其形成有测量光通过的第2开口，收纳接收通过了第2开口...

光检测装置具备一维排列有多个像素的半导体基板。光检测装置在每个像素具有以盖革模式动作的多个雪崩光电二极管、串联地电连接于对应的雪崩光电二极管的多个灭弧电阻、对来自多个雪崩光电二极管的输出信号进行处理的信号处理部。多个雪崩光电二极管的受光...

本发明的电子束照射装置，是具备有电子枪和框体以及电子束射出窗的电子束照射装置。框体的杆部，具备有第1筒状构件、第2筒状构件、冷却气体流通空间以及壁构件。第1筒状构件，在前端侧的端部被设置有电子束射出窗，并使电子束通过其内部。第2筒状构件...

本发明的半导体器件检查装置是基于相应于对于作为被检查体的半导体器件的测试图形信号的输入而输出的结果信号而检查该半导体器件的装置，其包含：超声波振子，其与半导体器件相对地配置，且产生超声波；载台，其使半导体器件与超声波振子的相对位置移动；...

本发明的超声波检查装置(1)是以经封装化的半导体器件(D)为检查对象的装置，具备：超声波振子(2)，其对半导体器件(D)输出超声波(W)；接收机(反射检测部)(13)，其检测由半导体器件(D)反射的超声波(W)的反射波；载置台(3)，其...

一种激光照射装置，具备：将自激光光源所输出的激光对应于相位图案进行调制并出射的空间光调制器；将自上述空间光调制器所出射的上述激光朝对象物聚光的物镜；配置于上述激光的光路上的上述空间光调制器与上述物镜之间，将上述激光聚焦的聚焦透镜；配置于...

超声波检查装置(1)是以被封装化的半导体设备(D)为检查对象的装置，具备：超声波振动器(2)，其与半导体设备(D)相对配置；介质保持部(12)，其设置于超声波振动器(2)中与半导体设备(D)相对的端部(2b)，并保持传播超声波(W)的介...

试样观察装置(1)具备：照射光学系统(3)，其对试样(S)照射面状光(L2)；扫描部(4)，其相对于面状光(L2)的照射面(R)扫描试样(S)；成像光学系统(5)，其具有相对于照射面(R)倾斜的观察轴(P2)，将通过面状光(L2)的照射...

一种激光加工装置，具备：输出激光的激光光源；将自上述激光光源输出的上述激光对应于相位图案进行调制并出射的空间光调制器；将自上述空间光调制器所出射的上述激光聚光于对象物的物镜；控制显示于上述空间光调制器的相位图案的控制部；及进行上述空间光...

本发明的放射线图像读取装置包括：对于记录了放射线图像的记录介质的表面沿扫描线扫描激励光的光扫描部；在包含扫描线且与记录介质的表面交叉的检测面内，检测通过激励光的扫描从记录介质的表面放出的信号光的光检测部；和配置在记录介质的表面与光检测部...