光检测装置包括：配线基板；配置在配线基板的安装面的第1支承部；法布里‑珀罗干涉滤光片，具有相互的距离为可变的第1反射镜部和第2反射镜部，外缘部配置在第1支承部的第1支承区域；光检测器，在第1支承部的一侧以与第1反射镜部和第2反射镜部相对...

本发明的光半导体元件具备：基板、第1终端单元以及单元。在第1终端单元的顶面上配置有第1电极。第1终端单元和单元通过以从第1终端单元的顶面上到单元的方式延伸的配线层而连接。第1电极经由形成于绝缘层的开口露出于外部。配线层，在第1终端单元的...

用于UV光源的等离子体腔室包括规定等离子体限制区域的等离子体产生区域。端口被定位成与等离子体产生区域的一侧相邻，且允许产生的光传出腔室。高电压区域耦合到等离子体产生区域。接地区域耦合到高电压区域，并且规定被配置为耦合到地线且被确定尺寸以...

被检测体分析方法包括：将被检测体、金属离子的溶液和还原剂混合而制作混合液的混合步骤S11；对混合液照射光，利用混合液中的还原剂的还原作用使混合液中的金属离子还原而在支承体上生成金属微小结构，并且使被检测体或源自被检测体的物质附着于金属微...

光外差干涉测量装置(1)包括光束生成部(10)、分束器(21)、镜(31)、第1光检测器(41)、线性偏振片(42)、第2光检测器(51)、线性偏振片(52)、AD转换部(60)和计算机(70)。光束生成部(10)生成偏振光相互正交的第...

光半导体元件(1)具备：基板(2)；以及多个单元(3)，其为形成于基板(2)上的多个单元(3)，并且包括电连接的第1单元(3A)、第2单元(3B)和第3单元(3D)。在第1单元(3A)的顶面上，配置有与第1单元(3A)的第1半导体层电连...

代谢测定装置具备：光源，其输出输入到生物体的测定光；光检测器，其检测在生物体的内部传播的测定光，并且生成与测定光的强度对应的检测信号；以及运算部。运算部基于检测信号求取第1参数和第2参数。第1参数是依赖于血液中的O<subgt;2...

显微镜装置具备激励光输出部、光学系统和谐波检测部。激励光输出部输出激励光。激励光的光强度的时间波形包含正弦波的一次函数的n次方根(n为2以上的整数)。激励光的光强度的最大值超过观察对象物的饱和激励强度。光学系统将从激励光输出部输出的激励...

光照射装置具备：光输出部，其输出相干光；以及光学系统，其将从光输出部输出的光照射于对象物。光学系统具有：物镜，其使从光输出部输出的光在对象物聚光；以及偏振光变换部、相位变换部、及环形屏蔽，其设置于光输出部与对象物之间的光路上。偏振光变换...

本发明提供了一种电子束监视装置。电子束监视装置在包括将电子束经由出射窗照射于被照射物的电子束照射装置的电子束照射系统中，监视该电子束。电子束监视装置具备：第一X射线检测部，其具有朝向出射窗与被照射物之间的检测面，并且检测X射线；以及第二...

本发明的分光测定装置(1)具备光学系统(10)、光检测器(20)及解析部(30)。光学系统(10)将来自对象物(S)的被测定光朝光检测器(20)的受光面引导，且在光检测器(20)的受光面上形成被测定光的分光像。光检测器(20)具有在多行...

一实施方式的自动对焦辅助方法为对于具有基板及形成于基板的一主面侧的器件图案的半导体器件D辅助自动对焦。该方法具备以下步骤：取得焦点对准于基板的第1图像；通过傅立叶变换，自第1图像取得空间频率图像，基于空间频率图像而产生遮蔽基板上的同一方...

检查装置包括：支承晶片的载置台，其中，晶片在半导体衬底的内部形成有多排改性区域；光源，其输出对于半导体衬底具有透射性的光；和物镜，其使在半导体衬底中传播后的光通过；光检测部，其检测通过了物镜后的光；和检查部，其检查在多排改性区域中的最靠...

本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)包括：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有配置于第一表面(11a)的第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有在相对于第一反射镜部(31)而在与基板(11)相反的一...

本发明的分光测定装置(1)具备光学系统(10)、光检测器(20)及解析部(30)。光学系统(10)将来自对象物(S)的被测定光朝光检测器(20)的受光面引导，且在光检测器(20)的受光面上形成被测定光的分光像。光检测器(20)具有在多行...

本发明的分光测定装置(1)具备光学系统(10)、光检测器(20)及解析部(30)。光学系统(10)将来自对象物(S)的被测定光朝光检测器(20)的受光面引导，且在光检测器(20)的受光面上形成被测定光的分光像。光检测器(20)具有在多行...

本发明的分光测定装置(1)具备光学系统(10)、光检测器(20)及解析部(30)。光学系统(10)将来自对象物(S)的被测定光朝光检测器(20)的受光面引导，且在光检测器(20)的受光面上形成被测定光的分光像。光检测器(20)具有在多行...

光检测系统具备：法布里‑珀罗干涉滤波器，其具有彼此的距离可变的第1镜和第2镜；光检测部，其构成为能够检测λ1以上且λ2以下的波长范围的光；和控制部，其对法布里‑珀罗干涉滤波器施加电压以使得上述距离在d1以上且d2以下的距离范围内变化。关...

放射线检测器(RD1)具备：闪烁器(1)，其具有在第一方向(D1)上相互相对的一对端面、以及连结该端面的一个侧面；半导体光检测元件(10)，其具有半导体基板(11)；以及配线构件(30)，其与半导体光检测元件(10)电连接。在第一方向(...

具备：激光光源，其使激光振荡；传输用光纤，其传输从上述激光光源振荡的上述激光；激光照射部，其将通过上述传输用光纤而被传输的上述激光朝向对象物照射；电源，其接受交流电压的输入，生成用于将上述激光光源设为能够激光振荡的状态的驱动电压并施加于...