浜松光子学株式会社专利技术

浜松光子学株式会社共有2219项专利

  • 本发明涉及一种光控制单元及其形成方法。该方法是这样一种方法,即以规定间隔将光纤(7)的端面(7a)与光纤(8)的端面(8a)相对配置于基座(21)的V槽(23)。将含有作为光子结晶材料的微颗粒的溶液(27)滴注至端面(7a)、端面(8a...
  • 一种光学透镜的制造方法,包括:拉拔处理用光学透镜母材制作工序,其对具有在一方的侧面形成非球面并起到光学作用部功能的第1曲面部、及形成在与第1曲面部相反侧的侧面并具有曲率比第1曲面部小的第2曲面部的拉拔处理用光学透镜母材进行制作;对拉拔处...
  • 本发明涉及一种能够透射具有包括在紫外区域内的波长的光线的紫外带通滤波器以及相关装置。该带通滤波器是一个包括一个薄银膜的光学滤波器;而薄银膜包括一个入射面和一个与入射面相向的出射面,用来发出已经到达入射面的光线中的具有包括在波长范围从25...
  • 本发明涉及一种可设置棒状透镜等来有效地进行光照射,同时具有可容易更换该棒状透镜等的结构的光照射装置。所述光照射装置具备具有LED的LED支持单元和具有棒状透镜的透镜单元,并在LED驱动部上设置的LED驱动电路,使其经过在电缆部设置的柔性...
  • 聚光装置具有多个光源(10、20)和合光元件(30)。这些光源(10、20)分别具有半导体激光器阵列叠层体(12、22)、准直透镜(16、26)和光束变换器(18、28)。因为合光元件(30)合成来自叠层体(12)的光束和来自叠层体(2...
  • 本发明的光模块是由具备有:在光元件设置面(16)上具有4个光电二极管(12)及2个导槽(10)的次基座(1);在光纤固定面(26)上具有4个V槽(21)、4个凹面镜(22)、及2条导轨(20)的光纤固定构件(2);及固定在光纤固定构件(...
  • 在本发明的分光装置中,依次配置透过波段不同的多个干涉滤光片(31、32……)使得由特定的干涉滤光片(31)反射后的光向次级的干涉滤光片(32)入射,并将光检测元件(41、42……)设置在透过各自的干涉滤光片后的光入射的位置上。其中,在该...
  • 相对于作为观察对象的试样的半导体装置(S)而设置有进行半导体装置(S)的观察用的图像取得部(1)和含有物镜(20)的光学系统(2)。此外,扩大半导体装置(S)的图像用的固体浸没透镜SIL(3)被设置成能够在插入位置和偏离光轴的待机位置之...
  • 一种固浸透镜(1),具备有球状部(2)和底面部(3)。底面部(3)被安装成贴紧在成为观察对象物的半导体装置的基板(10)。该固浸透镜(1)的底面部(3)形成圆筒形状。由此,观察后可以很容易从观察对象物分离,并且观察时可以使高NA的光束通...
  • 使用由折射率n↓[L]的材质形成的具有曲率半径R↓[L]的球面状的透镜面10的固浸透镜(SIL)1,观察试料2的像。在该试料观察中,使用规定的光学系评价由SIL1所产生的几何学像差特性。然后,将系数k(0<k<1)设定成满足使其平均像面...
  • 本发明涉及硅基板,硅基板1的结构是,在结晶质硅基板的至少一个主面2一侧形成有硅结晶的凹部,具有以被埋入该凹部的氧化硅该为主要成分的玻璃质区域3。另外,关于玻璃质区域3,其玻璃化转变温度Tg比纯粹的二氧化硅玻璃的玻璃化转变温度低、为900...
  • 本发明的光学透镜制造方法的特征在于,包含以下工序:即制造具有相互平行地形成的多个曲面部(43)、以及在多个曲面部(43)两侧形成的一对凸缘部(48)的光学透镜用母材(40)的光学透镜用母材制作工序,对光学透镜用母材(40)进行线材拉伸处...
  • 本发明的目的在于提供一种制造光学透镜的方法,对具有相对的一对侧面的柱状光学透镜用母材拉拔制造光学透镜,所述光学透镜用母材具有:设置在所述一对侧面的至少一侧上、与柱轴方向平行的多个曲面;设置在设有多个曲面的侧面上在与该侧面交叉方向比该多个...
  • 本发明提供一种固态浸没透镜移动装置,包括:与支撑固态浸没透镜(3)的固态浸没透镜保持器(5)连接的第一臂部件(71);使该第一臂部件(71)在相对观察对象物成为大致平行的X-Y平面内转动的第一臂部件转动源(72);保持该第一臂部件转动源...
  • 在成为检查对像的试样的半导体器件上滴下含有两亲分子的光学密着液(S104),并在其上面设置固体浸没透镜(S105)。接着,调整固体浸没透镜的插入位置(S106),之后,使光学密着液干燥(S108),使固体浸没透镜与半导体器件光学性地密着...
  • 本发明,形成具备在使固体浸没透镜3的底面通过开口9b向下方突出的状态下在自重方向上支撑该固体浸没透镜3的保持器9的构成。由此,固体浸没透镜3被载置于观察对象物时,形成固体浸没透镜3被该观察对象物抬起的状态,形成相对于保持器9自由的状态。...
  • 本发明提供一种光器件。光器件1具备:光检测元件6和光波导基板2,光波导基板2具有包括在与层厚方向交叉的方向上延伸的芯部4a~4c以及覆盖芯部4a~4c的包层部4h的光波导层4,并且在侧面2a上具有与光检测元件6光学耦合的芯部4c的端面4...
  • 本发明的显微镜和试料观察方法,对于检查对象的半导体器件S,设置:图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且,以两...
  • 本发明,是提供一种能容易地对发光元件或光检测元件与光学波导管间进行定位的光配线基板。光配线基板(1)具有基板(10)。在基板(10)上形成有多个凹部(12),在上述凹部(12)之间形成有光学波导管(13)。在凹部(12)上配置有受发光部...
  • 本发明是提供一种光传输/接收模块,其不必在基板上设置用于设置光电二极管的副固定件,可减小空间上的限制。光传输/接收模块1具备光透过性基板10。在光透过性基板10的表面形成有滤光器用槽13,在滤光器用槽13上载置有电介质多层膜滤光器23。...