本发明公开了清洗机旋转机构利用传感器制成防呆装置，包括机架座和旋转组件，所述旋转组件安装在所述机架座的内侧，所述旋转组件包括旋转臂、夹具载架和旋转轴，一端的所述旋转臂上设置有弹簧插销，所述旋转臂与夹具载架之间通过弹簧插销限位，还包括安装...

本实用新型公开了一种用于晶圆自动装载机的晶圆片状况检测机，涉及半导体晶圆制作技术领域，解决传感器在长时间使用后，需要对传感器进行拆卸检修操作，由于不能很快速的对其进行拆卸安装，可能会耽误整体的检测进度的技术问题，通过拆卸机构来对光纤传感...

本实用新型公开了一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，涉及半导体晶圆制作技术领域，包括背板，所述滑动台上固定安装有开关门气缸，所述开关门气缸的驱动端上固定安装有活动门，所述活动门外活动安装有摆动架，所述活动门上设置有固定机构，...

本实用新型公开了一种清洗机视窗自清洁装置，清洗机的侧板中安装有视窗，侧板的外壁位于视窗的上方处固定有清洁度观察摄像头，该自清洁装置包括固定在侧板内壁的升降电机、第一支撑座和第二支撑座，第一支撑座和第二支撑座之间转动支撑有驱动丝杆，驱动丝...

本实用新型涉及半导体晶圆清洗技术领域，具体涉及一种用于提高晶圆清洗效果的旋转结构；本实用新型提供了一种用于提高晶圆清洗效果的旋转结构，在清洗槽内设置了支架，支架顶部设有定位座，方便卡接cassette；cassette上下贯通，方便ca...

本实用新型公开了一种具有倾斜功能的石英舟清洗载具，该清洗载具包括导向轨座、活动式龙门架、水平位移导向机构、水平位移驱动机构、竖向位移驱动机构和吊具组件，导向轨座共有两个且平行固定于清洗箱的顶部，活动式龙门架的底侧两端部分别与对应的导向轨...

本实用新型公开了钟罩清洗技术领域的一种专用清洗圆筒钟罩的设备，包括清洗机，清洗机内部上侧设有顶部喷淋和照明灯，中部设有台面，台面下方设有中心喷淋头、浸泡槽、浸泡喷淋管、储液槽、排水管和气动隔膜泵，上述零件通过管道连接，管道上设有若干气动...

本实用新型涉及硅芯清洗技术领域，具体涉及一种用于长条形硅芯清洗的工装，包括箱体，箱体的顶部设置有箱盖，且箱体与箱盖皆开有多组通孔，箱体内部设置有相配合的多组第一固定架与第二固定架，且第一固定架与第二固定架相贴合的一面皆开有半弧形槽，箱体...

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种用于方形硅片清洗的工装，包括托盘，托盘的顶部固定设置有多组固定块，且多组固定块皆开有不同尺寸的通槽，固定块顶部固的设置有多组固定销，且多组固定销与通槽相对应，固定销与通槽之间活动卡接有不同尺寸...

本实用新型公开了3061钟罩清洗技术领域的一种专用清洗3061钟罩的设备，包括清洗机和钟罩，清洗机的前侧上部设有箱门，右侧壁上设有控制箱，清洗机的顶面上连通有调节风阀，清洗机内部设有固定组件和喷淋组件，钟罩，本实用新型通过设置喷淋组件和...

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构；本实用新型提供了一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，在安装盘均匀周向了多个滑轨，滑轨上设置了可定位的顶块，配合定位销，实现对长方形...

本发明涉及半导体晶圆生产技术领域，具体涉及一种用于N2Purge的PrePurge Senser，包括Senser及安装支板，Senser设置在安装支板上，安装支板用于与LoadPort连接，Senser上的滑动轴沿着安装支板的弧形通槽...

本实用新型公开了一种用于清洗机的花篮检测装置，包括机械手、花篮和检测组件，机械手的吊杆底端设有轴线方向与水平方向平行的定位柱，花篮的上端设有吊钩，且吊钩的下部设有与定位柱配合的定位卡槽，上端设有平面检测部，检测组件包括导向座、检测座、检...

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统；采用电机丝杠实现活动门的上下升降、开关门气缸实现活动门的前后移动，使活动门通过门吸盘将FOUP门吸连，并通过门闩实现FOUP门与FOUP外壳的配合，从而...

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的万向可调密封装置；基于螺纹作用，通过转动调节套，使进出气底座上下移动，调节相对于FOUP的进出气口上下距离，并通过万向头保证与FOUP的接触；...

本发明公开了搬运控制系统技术领域的一种用于搬运的控制系统，包括主控制器系统和AIV控制系统，主控制器系统和AIV控制系统之间通过无线网络进行数据交互，主控制器系统包括无线路由器、交换机、主PLC和AC+AP，主PLC通过网线与交换机交互...

本发明涉及半导体晶圆生产技术领域，具体涉及一种多功能自动吹扫装置；本发明提供了一种多功能自动吹扫装置，通过可编程控制器自动控制吹扫过程，实时监控进出气的温湿度值，通过对比进出气的温湿度值可控制吹扫的效果，配合真空发生器，可快速将吹扫后的...

本发明公开了三轴联动电气系统技术领域的一种用于搬运的三轴联动电气系统，包括L轴电机、R轴电机、RO轴电机、L轴、R轴和RO轴，其特征在于：L轴为丝杠，L轴的底端连接有L轴电机，L轴上安装有R轴，R轴上连接有RO轴，R轴电机的输出轴与L轴...

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种用于晶圆槽内清洗双导向往复振动装置；本实用新型在振动臂上采用双轴导向结构，约束并引导振动臂进行往复规则运动；本双轴导向结构还方便调整轴向位置、及垂直轴向方向位置，并具备调整倾斜度的功能，...

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种8寸晶圆片匣传输系统；实现了对8寸晶圆匣的自由取放；采用升降箱电机驱动二号丝杠转动，使升降箱带着POD外壳同步上升，实现POD外壳与晶圆匣的分离并将晶圆匣露出；采用机械臂座升降电机驱动一...