本发明公开了一种减少炉管中残留液体的倾斜机，包括炉管主体，所述炉管主体的外部固定设置有炉管花篮，所述炉管花篮的外部设置有倾斜机构；本发明通过设计的倾斜结构，在使用中可以将清洗完毕的炉管主体上的炉管花篮放置在放置板上并夹紧，然后通过两组升...

本发明公开了一种晶圆盒清洗提示系统以及方法，涉及清洗提示技术领域，本发明包括晶圆盒信息采集模块、晶圆盒信息分析模块、预清洗分析模块、复清洗方法分析模块、复清洗信息分析模块、报废信息分析模块，通过采集晶圆盒污染信息，提示员工对晶圆盒进行预...

本发明公开了一种晶圆自动化生产控制系统及方法，涉及晶圆生产技术领域，通过保存影响因子获取模块和性能参数获取模块，系统可以智能地收集和分析晶圆生产设备中光刻胶的保存参数和性能参数，实现对生产过程的智能化管理，实从而提高了生产效率、优化了产...

本技术公开了一种用于提高清洗槽槽盖开合效率的自动槽盖结构，包括槽盖，所述槽盖的背面固定连接有槽盖转轴，所述槽盖转轴的一端设置有驱动机构，所述驱动机构包括电缸，所述电缸输出轴的一端固定连接有电缸接头，所述电缸接头的顶部固定连接有Y型接头，...

本技术公开了一种用于提高液体输送效率的旋转配液结构，涉及液体输送技术领域，包括旋转平台，所述旋转平台上设置有多根进液管，多根所述进液管的一端均与三通连接，所述三通上还连通有液体输送管，所述液体输送管的一端延伸至支座内且与支座转动连接，所...

本发明公开了一种基于LoadPort的晶圆片状况检测装置，设置在晶圆FOUP一侧的对射传感器，设置在LoadPort的开门处摆动构件，对射传感器安装在摆动构件上，所述对射传感器远离摆动构件的移动转动连接在晶圆FOUP的一侧，本发明涉及晶...

本技术公开了一种用于提高清洗石英管空间的防护旋转门结构，本技术涉及石英管清洗技术领域。该用于提高清洗石英管空间的防护旋转门结构，通过旋转机构的设置，通过推动旋转门推板，弧形旋转门能够受力带动旋转门焊接座运行，使得旋转门焊接座带动旋转座转...

本发明公开了基于N2Purge的新型LoadPort控制方法，涉及半导体制造控制技术领域，该方法通过在LoadPort中设置N2Purge台面，且将N2Purge系统分别与FOUP中的进气口与出气口进行连接，形成N2Purge气路，在设...

本技术涉及石英管清洗技术领域，且公开了一种用于提高石英管清洗效果的顶部旋转喷淋结构，包括安装台，所述安装台的顶部固定连接有清洗箱，所述清洗箱内固定连接有喷淋机构，所述喷淋机构包括与清洗箱固定连接的轴承安装座，该一种用于提高石英管清洗效果...

本发明公开了基于清洗机的清洗循环控制系统，包括清洗数据采集模块、残留物含量监测模块、圈数调整分析模块和调整信息输出模块，本发明涉及清洗机循环控制技术领域，解决了不能根据客户需求和实际情况自由选取清洗循环次数的技术问题，本发明通过根据清洗...

本技术涉及清洗机防漏水结构技术领域，且公开了一种预防设备内部漏水后产生安全隐患的结构，包括安装板，所述安装板的一侧转动连接有两个螺纹杆，所述螺纹杆的外表面传动连接有传动机构，该一种预防设备内部漏水后产生安全隐患的结构，通过接水板将水枪发...

本技术公开了一种具有倾斜结构的吊钩，包括吊钩本体以及连接架，所述连接架内壁正面和背面的底部之间固定连接有固定柱，且固定柱的表面设置有倾斜机构；倾斜机构包括固定连接于连接架顶部的电动推杆，连接架内壁的正面和背面之间滑动连接有滑动板，且滑动...

本发明公开了多

本实用新型公开了一种自动安全隔离门，包括门体组件，所述门体组件包括主框体、电动平移箱、固定门和移动门，还包括清洁组件和拆装组件，所述清洁组件安装在所述移动门的两侧表面，且所述拆装组件设置在清洁组件上，所述清洁组件包括刮板和刮除电机，所述...

本实用新型公开了一种便捷弧形门，包括清洗机，所述清洗机包括壳体和弧门，所述弧门的外部设置有开合机构，所述开合机构包括门道和环套，所述环套设置在弧门外部的两侧，所述环套的外部设置有定位组件，所述环套的内圈与壳体的外表面活动连接，所述环套的...

本实用新型公开了一种检测药液取样口，涉及药液检测技术领域，包括酸洗槽，所述酸洗槽上设置有取样机构，所述取样机构和酸洗槽之间设置有安装机构，所述取样机构包括安装架，所述安装架固定安装在安装机构上，所述安装架上滑动安装有取样壳，所述取样壳内...

本实用新型公开了一种水压控制全方位旋喷，包括安装盘、固定管、连接管与转动头，所述固定管的底部与连接管的顶部固定连接，所述转动头的侧壁固定连接有输送管，所述输送管的另一端固定安装有喷头，所述固定管的顶部设置有连接组件，且通过连接组件将固定...

本发明公开了高效率兼容型清洗机，包括机体以及固定连接于机体背面的储水箱，所述机体内壁的两侧均固定连接有电动滑轨，且两个所述电动滑轨相对的一侧之间滑动连接有放置框，所述机体的顶部设置有表面冲洗机构，所述放置框的内部设置有狭缝清刷机构；所述...

本实用新型公开了一种气缸自动门装置，包括门框和自动门，门框的顶部固定连接有横梁，横梁的内部固定连接有两个气缸，两个所述气缸的输出端均设置有润滑机构，润滑机构包括与自动门固定连接的固定板，所述固定板的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的表面...

本发明公开了提高大型槽体安装拆卸的安全性结构，包括清洗设备本体，所述清洗设备本体的内腔中部固定连接有分隔板，所述分隔板的表面开设置有清洗槽，所述分隔板的下方两侧设置有槽体，所述分隔板的上方两侧设置有槽盖，且槽盖与槽体相互适配，所述槽盖与...