嵌入式反应腔制造技术

本实用新型专利技术公开了一种嵌入式反应腔，包括反应腔腔体内设有电极盒，所述电极盒包括匀气板和基板，所述匀气板、基板为上下横向设置，所述匀气板和基板之间为电极盒内腔，所述电极盒顶部设有进气口，气体自外接输入管路进入进气口，匀气板上设有小孔阵列，气体从进气口通过小孔阵列，在电极盒内腔进行反应，所述基板上设有排气孔阵列，气体通过排气孔阵列后进入腔体，所述腔体顶部设抽真空管路，进入腔体后的气体通过抽真空管路被排出。本实用新型专利技术通过对嵌入式反应腔的气路设计，使工艺气体的输入和输出完全分开，工艺残余气体不会参与二次反应。在真空低流量高利用率的反应性气体和高浓度气体副产品的工作环境下，取得由上至下均匀非晶硅膜厚和膜特性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子设备和太阳能电池技术，尤其涉及一种用于真空镀膜的嵌入式反应腔。
技术介绍
非晶硅薄膜太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右，是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的1/200-1/300，与单晶硅太阳能电池相比，制备这种薄膜所用硅原料很少，薄膜生长时间较短，设备制造简单，容易大批量连续生产，根据国际上有关专家的估计，非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。薄膜化学气相沉积设备是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备，随着产能扩大，薄膜化学气相沉积设备也朝着高产能大容积的趋势发展。其中，真空镀膜机中的反应腔有了新的设计，该反应腔的腔体内设嵌入式电极盒，电极盒包括勻气板， 电极板，和基板，所述勻气板和基板都是横向且平行设置，电极板垂直设于勻气板和基板之间。工艺镀膜在电极盒内，即在电极板上进行，气体通过勻气板进入电极盒内腔，并进行化学反应，反应后的气体从基板排出。现有技术中，气体的利用并不是很充分，通常气体进入反应腔腔体内就进行反应， 这样导致反应前后的气体混合在一起，不仅气体利用率不高，成本增加，而且对工艺镀膜的结果也造成了影响。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种嵌入式反应腔，可用于高产能大容积强化等离子气相沉积设备，该反应腔在真空下的气体利用率得到提高，同时可获得由上至下均勻的非晶硅膜厚和膜特性。本技术采用以下技术方案—种嵌入式反应腔，包括反应腔腔体内设有电极盒，所述电极盒包括勻气板和基板，所述勻气板、基板为上下横向设置，所述勻气板和基板之间为电极盒内腔，所述电极盒顶部设有进气口，气体自外接输入管路进入进气口，勻气板上设有小孔阵列，气体从进气口通过小孔阵列，在电极盒内腔进行反应，所述基板上设有排气孔阵列，气体通过排气孔阵列后进入腔体，所述腔体顶部设抽真空管路，进入腔体后的气体通过抽真空管路被排出。进一步地，所述抽真空管路中设调压阀。进一步地，所述反应腔腔体形状为圆柱形，所述电极盒设于腔体的中央，所述勻气板和基板之间设垂直电极板，通过小孔阵列进入电极盒内腔的气体自上而下沿电极板到达基板，从电极盒出来进入腔体的气体沿腔体内壁自下而上，最后进入抽真空管路。进一步地，所述外接输入管路为高压软管。进一步地，所述反应腔腔体内设多个电极盒，所述外接输入管路分多个支路，各支路与对应的电极盒的进气口连接。本技术通过对嵌入式反应腔的气路设计，使工艺气体的输入和输出完全分开，工艺残余气体不会参与二次反应。在真空低流量高利用率的反应性气体和高浓度气体副产品的工作环境下，取得由上至下均勻非晶硅膜厚和膜特性。附图说明图1为本技术涉及的嵌入式反应腔及气体流向示意图，图中箭头为气体路径。具体实施方式参见图1，为本技术涉及的嵌入式反应腔及气体流向示意图。所述反应腔腔体3内设有电极盒4，腔体3处于真空状态下，电极盒4为嵌入式，所述电极盒4包括勻气板41、电极板42和基板43，所述勻气板41、基板43为上下横向设置，所述电极板42垂直设于勻气板41和基板43之间。电极盒4内可有多块电极板42，以并联方式排布在电极盒内腔44中。所述电极盒4顶部设有进气口 2，气体自外接输入管路1进入进气口 2，勻气板 41上设有小孔阵列，气体从进气口 2通过小孔阵列，进入电极盒内腔44，在电极盒4内进行反应。由于小孔阵列既保证了进气口 2与电极盒内腔44的连通，同时很好地分配了气体进入各电极的流量，保证在电极板42上形成均勻厚度的镀膜。所述基板43上设有排气孔阵列，反应后的气体通过排气孔阵列后进入腔体3，所述腔体3顶部设抽真空管路5，进入腔体 3后的气体通过抽真空管路5被排出。在所述抽真空管路5中设真空泵。优选地，在所述抽真空管路5中还设调压阀6，可调节合适的真空抽气速度，在低气体流量时依然能获得高的气体利用率。所述反应腔腔体3形状为圆柱形，所述电极盒4设于腔体3的中央，通过小孔阵列进入电极盒4内的气体自上而下到达基板43，从电极盒4出来进入腔体3的气体(经反应后的残余气体)沿腔体3内壁自下而上，最后进入抽真空管路5。所述外接输入管路1为高压软管。所述高压软管包括纤维增强聚氨酯软管、纤维增强尼龙软管、钢丝增强聚氨酯软管、钢丝增强尼龙软管、钢丝缠绕树脂软管等。所述反应腔腔体3内设多个电极盒4，多个电极盒4可并联设置，所述外接输入管路1上可设多个支路，各支路与对应的电极盒4的进气口 2连接。本技术通过对嵌入式反应腔的气路设计，使工艺气体的输入和输出完全分开，工艺残余气体不会参与二次反应。在真空低流量高利用率的反应性气体和高浓度气体副产品的工作环境下，取得由上至下均勻非晶硅膜厚和膜特性。权利要求1.一种嵌入式反应腔，包括反应腔腔体(3)内设有电极盒G)，所述电极盒(4)包括勻气板Gl)和基板(43)，所述勻气板(41)、基板为上下横向设置，所述勻气板Gl)和基板^幻之间为电极盒内腔(44)，其特征是所述电极盒(4)顶部设有进气口 0)，气体自外接输入管路(1)进入进气口 0)，勻气板Gl)上设有小孔阵列，气体从进气口( 通过小孔阵列，在电极盒内腔G4)进行反应，所述基板上设有排气孔阵列，气体通过排气孔阵列后进入腔体(3)，所述腔体C3)顶部设抽真空管路(5)，进入腔体C3)后的气体通过抽真空管路(5)被排出。2.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是所述抽真空管路(5)中设调压阀(6)。3.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是所述反应腔腔体(3)形状为圆柱形，所述电极盒⑷设于腔体⑶的中央，所述勻气板Gl)和基板G3)之间设垂直电极板 (42)，通过小孔阵列进入电极盒内腔04)的气体自上而下沿电极板0 到达基板(43)，从电极盒出来进入腔体(3)的气体沿腔体(3)内壁自下而上，最后进入抽真空管路(5)。4.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是所述外接输入管路(1)为高压软管。5.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是所述反应腔腔体(3)内设多个电极盒G)，所述外接输入管路(1)分多个支路，各支路与对应的电极盒(4)的进气口(2)连接。专利摘要本技术公开了一种嵌入式反应腔，包括反应腔腔体内设有电极盒，所述电极盒包括匀气板和基板，所述匀气板、基板为上下横向设置，所述匀气板和基板之间为电极盒内腔，所述电极盒顶部设有进气口，气体自外接输入管路进入进气口，匀气板上设有小孔阵列，气体从进气口通过小孔阵列，在电极盒内腔进行反应，所述基板上设有排气孔阵列，气体通过排气孔阵列后进入腔体，所述腔体顶部设抽真空管路，进入腔体后的气体通过抽真空管路被排出。本技术通过对嵌入式反应腔的气路设计，使工艺气体的输入和输出完全分开，工艺残余气体不会参与二次反应。在真空低流量高利用率的反应性气体和高浓度气体副产品的工作环境下，取得由上至下均匀非晶硅膜厚和膜特性。文档编号C23C16/455GK202201972SQ20112027059公开日2012年4月25日 申请日期2011年7月28日 优先权日2011年7月28日专利技术者郭锋 申请人:上海曙海太阳能有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭锋，
申请(专利权)人：上海曙海太阳能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：