【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及,具体地涉及压力传感器衬底以及用于提供压力传感器衬底的方法。
技术介绍
压力传感器典型地用于测量液体或气体的压力并提供随介质压力变化的输出信号。传统的压力传感器包括用MEMS技术(微机电结构)制作的耦合到ASIC的独立压力传感器膜片(membrane)。那些膜片典型地水平创建于晶片的表面上,这意味着复杂的制作方法,原因在于需要多个过程步骤以便在半导体衬底的顶部创建自由膜片。一般而言,创建穿过膜片的通气体积是一项复杂的工作。
技术实现思路
根据这里描述的一些方面,创建在衬底内部竖直延伸的两个空腔。两个空腔也在衬底的主表面下面水平延伸,其中两个空腔至少部分地在预定方向上彼此平行地延伸。然而,仅仅第一空腔创建成使得其水平延伸进入衬底的通气区域。第一空腔然后向衬底的通气区域中的环境开口。因此,第一空腔的体积可以耦合到外部压力,而第二空腔提供参考压力。根据进一步方面,提供一种压力传感器衬底,其包括第一和第二空腔,该两个空腔都在衬底内部竖直延伸。这两个空腔在衬底的主表面下也部分地在水平预定方向上平行地延伸,其中仅仅第一空腔水平延伸进入衬底的通气区域。第一空腔向通气区域中的环境开附图说明在这里结合以下附图描述各种说明性实施例,其中相同的附图标记指代对应的或类似的部件,并且其中图1示出了用于提供压力传感器衬底的说明性实施例;图2示出了用于提供压力传感器衬底的进一步说明性实施例;图3示出了压力传感器衬底的说明性实施例;图4示出了用于制作压力传感器衬底的进一步说明性实施例;图5示出了压力传感器衬底的进一步说明性实施例;以及图6示出了用于制作压力传感器衬底的实施例的 ...
【技术保护点】
1.一种用于提供压力传感器衬底的方法,包括:创建第一空腔,所述第一空腔在衬底内部在与衬底的主表面垂直的第一方向上延伸并且在衬底内部在与所述第一方向垂直的第二方向上延伸进入衬底的第一通气区域;创建第二空腔,所述第二空腔在衬底内部在所述第一方向上延伸,在所述第二方向上平行于所述第一空腔延伸,并且不延伸进入所述第一通气区域;以及将所述第一空腔开口于所述第一通气区域中。
【技术特征摘要】
2010.01.04 US 12/6516231.一种用于提供压力传感器衬底的方法,包括创建第一空腔,所述第一空腔在衬底内部在与衬底的主表面垂直的第一方向上延伸并且在衬底内部在与所述第一方向垂直的第二方向上延伸进入衬底的第一通气区域;创建第二空腔,所述第二空腔在衬底内部在所述第一方向上延伸,在所述第二方向上平行于所述第一空腔延伸,并且不延伸进入所述第一通气区域;以及将所述第一空腔开口于所述第一通气区域中。2.根据权利要求1的方法,其中创建第一和第二空腔包括 创建在所述第一方向上延伸进入所述衬底的第一沟槽; 创建在所述第一方向上延伸进入所述衬底的第二沟槽;以及封闭所述第一沟槽和所述第二沟槽。3.根据权利要求2的方法,其中封闭包括在衬底上沉积电介质。4.根据权利要求1的方法,其中创建所述第一空腔使得所述第一空腔在所述第二方向上延伸超过分割边界,所述分割边界是第一通气区域的边界,以及其中所述第二空腔在第二方向上不延伸超过所述分割边界。5.根据权利要求4的方法,进一步包括在所述分割边界处执行衬底的分割。6.根据权利要求5的方法,其中执行分割包括下列中的至少一个在所述分割边界处的锯割、切割、磨边和隐形切割。7.根据权利要求1的方法,其中第一和第二空腔创建为在所述第二方向上具有相同的宽度。8.根据权利要求1的方法,其中第一和第二空腔创建为使得它们在所述第一方向上以相同的深度延伸。9.根据权利要求1的方法,其中第一和第二空腔的平行部分创建为相对于彼此具有在 5纳米到10微米的范围内的距离,5纳米和10微米也包括在内。10.根据权利要求1的方法,其中第一和第二空腔创建为具有在5纳米到10微米的范围内的宽度,5纳米和10微米也包括在内。11.根据权利要求1的方法,其中所述压力传感器衬底配置为使得平行于第一空腔延伸的第二空腔的部分的两个平行侧壁之间的电容响应于在第一和第二空腔之间且在衬底内部的偏转而变化。12.根据权利要求1的方法,其中所述第二空腔创建为使得其而且延伸进入第二通气区域,其中所述第一空腔创建为使得其不延伸进入所述第二通气区域,所述方法进一步方括将第二空腔开口于所述第二通气区域中。13.根据权利要求12的方法,进一步包括在第二分割边界处执行衬底的分割,所述第二分割边界是第二通气区域的边界。14.一种压力传感器衬底,包括 衬底的第一通气区域;第一空腔,在衬底内部在与衬底的主表面垂直的第一方向上延伸,所述第一空腔也在衬底内部在与所述第一方向垂直的第二方向上延伸进入所述衬底的第一通气区域;以及第二空腔,在衬底内部在第一方向上延伸,所述第二空腔也在第二方向上平行于第一空腔延伸,所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员:T·考奇,M·米勒,D·梅因霍尔德,B·罗萨姆,K·埃利安,S·科尔布,
申请(专利权)人:英飞凌科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:DE
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