【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种具有相互电绝缘的多个导电区域的结构，所述结构包括在所述导电区域的上面之上可动地支撑的可动件， 所述可动件具有与所述导电区域相对的电极， 所述结构被构建为能够通过所述导电区域的下面来发射和接收电信号， 所述多个导电区域通过相继连接的氧化区域被绝缘，所述氧化区域由具有通孔或沟槽的材料的氧化物形成。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：香取笃史，高木诚，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。