下载具有多个导电区域的结构及其制造工艺的技术资料

文档序号:4970853

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一种具有相互电绝缘的多个导电区域的结构包括在导电区域的上面之上可动地支撑的可动件,所述可动件具有与所述导电区域相对的电极,所述结构被构建为能够通过所述导电区域的下面来发射和接收电信号,所述多个导电区域通过相继连接的氧化区域被绝缘,所述氧化区...
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