本申请提供一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备及检测方法，涉及晶圆缺陷检测技术领域。一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备包含设备平台和控制端，所述支撑架上设置有检测机构；所述上料组件固接于所述支撑架，所述第四位移件固接于所述支撑架，所述第一光学影像测量仪固接于所述第四位移件的移动端，所述第五位移件固接于所述支撑架，所述第六位移件固接于所述第五位移件的移动端，所述第二光学影像测量仪固接于所述第六位移件的移动端，该种设计对硅晶圆片实现正反两面的表面缺陷检测，以及对检测结果合格与不合格的硅晶圆片进行分类存放，避免了人工操作出错，提升了检测的准确率以及效率。确率以及效率。确率以及效率。
【技术实现步骤摘要】
一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备及检测方法
[0001]本申请涉及晶圆缺陷检测
，具体而言，涉及一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备及检测方法。
技术介绍
[0002]一般来说晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，将许多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”，硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是晶圆。
[0003]晶圆在生产过程中，受工艺条件，制造出的少量晶圆其表面会出现污点、气泡、凹洞、厚度不均匀、缺边等等缺陷，故需要对其进行表面缺陷检测，以剔除不良产品，相关技术中，对晶圆进行表面缺陷检测的时候，多为人工进行上下料，且由人工通过晶圆显微镜进行检查，而鉴于晶圆本体较小，人工操作极易出现差池，导致检测结果出现错误，且影响晶圆表面缺陷检测的效率。
技术实现思路
[0004]本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备及检测方法，所述一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备及检测方法，由控制端控制上料组件将需要进行检测的硅晶圆片吸取而后放置到工作台上，而后控制端控制工作台转动，使待检硅晶圆片位移到第一光学影像测量仪下方，而后对该硅晶圆片进行表面缺陷检测，同时将检测结果反馈向控制端，同时控制上料组件将下一个需要进行检测的硅晶圆片吸取而后放置到工作台上，待上一个待检硅晶圆片检测结束，控制端控制工作台继续转动，使待检硅晶圆片位移到下一工位，而后重复上述步骤利用第一光学影像测量仪对下一个待检硅晶圆片进行检测，待上一个待检硅晶圆片位移到第二光学影像测量仪处后，校准第二光学影像测量仪的具体位置并从底部对该硅晶圆片的另一面进行检测，同样的，将检测结果反馈向控制端，而后继续控制工作台转动，使得第一个需要检测的硅晶圆片位移到下料组件处，根据控制端内置操控系统对第一光学影像测量仪和第二光学影像测量仪反馈的数据进行分析的结果，控制下料组件将检测完的硅晶圆片分类放置，完成对硅晶圆片的表面缺陷的检测工作，而后继续重复上述动作，以持续对硅晶圆片进行表面缺陷检测工作。
[0005]本申请提出了一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备，包含设备平台和控制端，所述设备平台包含支撑架和工作台，所述工作台设置于所述支撑架上，所述控制端设置于所述支撑架上，所述控制端内置操控系统，所述控制端通过该操控系统对该视觉检测设备的运转进行控制，还包括：
[0006]所述支撑架上设置有检测机构；
[0007]所述检测机构包含上料组件、检测组件和下料组件，所述上料组件、所述检测组件和所述下料组件分别设置于所述工作台周侧并互相配合，所述上料组件固接于所述支撑架，所述检测组件包含第四位移件、第一光学影像测量仪、第五位移件、第六位移件和第二光学影像测量仪，所述第四位移件固接于所述支撑架，所述第一光学影像测量仪固接于所述第四位移件的移动端，所述第五位移件贯穿所述支撑架，所述第五位移件固接于所述支撑架，所述第六位移件固接于所述第五位移件的移动端，所述第二光学影像测量仪固接于所述第六位移件的移动端，所述第二光学影像测量仪和所述第一光学影像测量仪分别位于所述工作台的两侧，所述下料组件的结构大小和所述上料组件的结构大小完全相同。
[0008]根据本申请实施例的一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备，有益效果是：对硅晶圆片进行表面缺陷检测的时候，由控制端控制上料组件将需要进行检测的硅晶圆片吸取而后放置到工作台上，而后控制端控制工作台转动，使待检硅晶圆片位移到第一光学影像测量仪下方，并停止工作台的转动，操控第一光学影像测量仪在第四位移件上进行位移，校准第一光学影像测量仪的位置，而后对该硅晶圆片进行表面缺陷检测，同时将检测结果反馈向控制端，在此过程中，控制端同时控制上料组件将下一个需要进行检测的硅晶圆片吸取而后放置到工作台上，待上一个待检硅晶圆片检测结束，控制端控制工作台继续转动，使待检硅晶圆片位移到下一工位，而后重复上述步骤利用第一光学影像测量仪对下一个待检硅晶圆片进行检测，待上一个待检硅晶圆片位移到第二光学影像测量仪处后，校准第二光学影像测量仪的具体位置并从底部对该硅晶圆片的另一面进行检测，同样的，将检测结果反馈向控制端，而后继续控制工作台转动，使得第一个需要检测的硅晶圆片位移到下料组件处，根据控制端内置操控系统对第一光学影像测量仪和第二光学影像测量仪反馈的数据进行分析的结果，控制下料组件将检测完的硅晶圆片分类放置，完成对硅晶圆片的表面缺陷的检测工作，而后继续重复上述动作，以持续对硅晶圆片进行表面缺陷检测工作，该种设计对硅晶圆片实现正反两面的表面缺陷检测，以及对检测结果合格与不合格的硅晶圆片进行分类存放，避免了人工操作出错，提升了检测的准确率以及效率。
[0009]另外，根据本申请实施例的一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备还具有如下附加的技术特征：
[0010]在本申请的一些具体实施例中，所述工作台包含台面、通孔、晶圆支撑座、载片、安装箱和驱动电机，所述通孔圆周设置，所述通孔均匀设置于所述台面，所述晶圆支撑座固接于所述台面，所述载片固接于所述晶圆支撑座远离所述台面的一侧，所述安装箱固定贯穿所述支撑架，所述驱动电机固接于所述安装箱，所述驱动电机的输出端传动连接于所述台面。
[0011]在本申请的一些具体实施例中，所述晶圆支撑座上设置有和所述通孔相连通的通槽，所述载片覆盖该通槽。
[0012]在本申请的一些具体实施例中，所述载片采用超薄高透光材质。
[0013]在本申请的一些具体实施例中，所述上料组件包含第一位移件、第二位移件、托盘、晶圆承载盘、第三位移件和真空吸盘，所述第一位移件固接于所述支撑架，所述第二位移件的固定端固接于所述第一位移件的移动端，所述托盘固接于所述第二位移件移动端，所述晶圆承载盘对称设置于所述托盘上，所述第三位移件固接于所述支撑架，所述真空吸盘设置于所述第三位移件的移动端。
[0014]在本申请的一些实施例中，所述第一位移件和所述第二位移件的移动方向呈垂直设计，所述第二位移件和所述第三位移件的移动方向呈平行设计，且所述第三位移件的位移轨迹横跨所述第一位移件的移动轨迹。
[0015]在本申请的一些实施例中，所述晶圆承载盘上均匀设置有多个盛放硅晶圆片用的孔洞。
[0016]在本申请的一些实施例中，所述真空吸盘通过直线气缸固于接所述第三位移件的移动端。
[0017]在本申请的一些实施例中，所述真空吸盘和所述硅晶圆片相适配。
[0018]在本申请的一些实施例中，所述支撑架上设置有辅助机构，所述辅助机构位于所述第一光学影像测量仪和所述第二光学影像测量仪之间，所述辅助机构与所述第一光学影像测量仪和所述第二光学影像测量仪之间的间距相同，所述辅助机构包含位移组件、侧面检测组件和第二竖向位移件，所述位移组件包含第一辅助位移件、第二辅本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备，包含设备平台(100)和控制端(200)，所述设备平台(100)包含支撑架(110)和工作台(120)，所述工作台(120)设置于所述支撑架(110)上，所述控制端(200)设置于所述支撑架(110)上，所述控制端(200)内置操控系统，所述控制端(200)通过该操控系统对该视觉检测设备的运转进行控制，其特征在于：所述支撑架(110)上设置有检测机构(300)；所述检测机构(300)包含上料组件(310)、检测组件(320)和下料组件(330)，所述上料组件(310)、所述检测组件(320)和所述下料组件(330)分别设置于所述工作台(120)周侧并互相配合，所述上料组件(310)固接于所述支撑架(110)，所述检测组件(320)包含第四位移件(321)、第一光学影像测量仪(322)、第五位移件(323)、第六位移件(324)和第二光学影像测量仪(325)，所述第四位移件(321)固接于所述支撑架(110)，所述第一光学影像测量仪(322)固接于所述第四位移件(321)的移动端，所述第五位移件(323)贯穿所述支撑架(110)，所述第五位移件(323)固接于所述支撑架(110)，所述第六位移件(324)固接于所述第五位移件(323)的移动端，所述第二光学影像测量仪(325)固接于所述第六位移件(324)的移动端，所述第二光学影像测量仪(325)和所述第一光学影像测量仪(322)分别位于所述工作台(120)的两侧，所述下料组件(330)的结构大小和所述上料组件(310)的结构大小完全相同。2.如权利要求1所述的一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备，其特征在于：所述工作台(120)包含台面(121)、通孔(122)、晶圆支撑座(123)、载片(124)、安装箱(125)和驱动电机(126)，所述通孔(122)圆周设置，所述通孔(122)均匀设置于所述台面(121)，所述晶圆支撑座(123)固接于所述台面(121)，所述载片(124)固接于所述晶圆支撑座(123)远离所述台面(121)的一侧，所述安装箱(125)固定贯穿所述支撑架(110)，所述驱动电机(126)固接于所述安装箱(125)，所述驱动电机(126)的输出端传动连接于所述台面(121)。3.如权利要求2所述的一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备，其特征在于：所述晶圆支撑座(123)上设置有和所述通孔(122)相连通的通槽，所述载片(124)覆盖该通槽。4.如权利要求2所述的一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备，其特征在于：所述载片(124)采用超薄高透光材质。5.如权利要求2所述的一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备，其特征在于：所述上料组件(310)包含第一位移件(311)、第二位移件(312)、托盘(313)、晶圆承载盘(314)、第三位移件(315)和真空吸盘(316)，所述第一位移件(311)固接于所述支撑架(110)，所述第二位移件(312)的固定端固接于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏成，宋隽杰，宋华，沈震，
申请(专利权)人：无锡联发易创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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