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本申请提供一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备及检测方法，涉及晶圆缺陷检测技术领域。一种硅晶圆片表面缺陷的视觉检测设备包含设备平台和控制端，所述支撑架上设置有检测机构；所述上料组件固接于所述支撑架，所述第四位移件固接于所述支撑架，所述第一光学...
该专利属于无锡联发易创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡联发易创科技有限公司授权不得商用。

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