本发明专利技术的实施例公开了一种边缘三面检测装置，包括：光学系统及保持机构，所述光学系统用于对待测产品的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，所述光学系统包括：第一光路、第二光路及第三光路，其中，三条光路的光程相等。根据本发明专利技术，其仅使用一套检测装置，即可在保证成像清晰度的情况下完成对产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测。表面同步进行表面缺陷检测。表面同步进行表面缺陷检测。
【技术实现步骤摘要】
边缘三面检测装置
[0001]本专利技术涉及表面缺陷检测领域，特别涉及一种边缘三面检测装置。
技术介绍
[0002]形如液晶面板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域需要进行检测以保证其整体质量，其中这些产品的边缘区域包括边缘面以及与边缘面连接的上下两个表面。
[0003]在对形如液晶面板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域进行检测时，通常需要分别检测上述三个表面是否存在表面缺陷，由于三个表面处于不同方位，并不处于同一个平面上，甚至还有彼此背对的情形，最简单的办法是使用3个成像系统分别对三个表面分别成像，但这样会导致整体的视觉结构变得非常复杂且需要占用较大的空间，同时为了处理图像需要配置更多的电脑，设备费用昂贵的同时也浪费了更多的算力。因此，对于“如何仅使用一套检测装置同时对这三个表面清晰成像”这个问题一直是行业内亟待解决的痛点。
[0004]除此之外，在现有技术中，只能实现同时对两个表面进行表面缺陷检测，因此仍然无法满足对液晶平板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测的需求。
[0005]有鉴于此，实有必要开发一种边缘三面检测装置，用以解决：如何仅使用一套检测装置，即可在保证成像清晰度的情况下完成液晶平板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测。
技术实现思路
[0006]本专利技术的实施例提供一种边缘三面检测的光学系统及边缘三面检测装置，用以解决：如何仅使用一套检测装置，即可在保证成像清晰度的情况下完成液晶平板、晶圆及光学玻璃等产品的边缘区域三个表面同步进行表面缺陷检测。
[0007]为了解决上述技术问题，本专利技术的实施例公开了如下技术方案：一方面，提供了一种边缘三面检测装置，包括光学系统及保持机构，所述光学系统用于对待测产品的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品具有彼此相背离的第一表面、第二表面及侧表面，所述第一表面及所述第二表面在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面及第二边缘面，所述侧表面连接在所述第一边缘面与第二边缘面之间，所述光学系统包括：第一光路，其具有第一接收端及第一出射端，所述第一接收端被定位为接收来自所述第一边缘面的第一光线并将所述第一光线传送到所述第一出射端；第二光路，其具有第二接收端及第二出射端，所述第二接收端被定位为接收来自所述第二边缘面的第二光线并将所述第二光线传送到所述第二出射端；以及第三光路，其具有第三接收端及第三出射端，所述第三接收端被定位为接收来自所述侧表面的第三光线并将所述第三光线传送到所述第三出射端；其中，所述第一出射端、所述第二出射端及所述第三出射端终止于一采集平面，定义：
第一接收端与第一出射端间的光程为第一光程；第二接收端与第二出射端间的光程为第二光程；第三接收端与第三出射端间的光程为第三光程；则所述保持机构用于将所述第一光路、第二光路及第三光路保持在预设的位置关系，以致所述第一光程、第二光程及第三光程三者光程相等。
[0008]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述光学系统具有置物平面、第一方向、第二方向及第三方向；所述第一方向与所述置物平面相垂直，所述第一方向、第二方向及第三方向两两相互垂直；其中，所述置物平面穿过所述待测产品的中心，以致所述第一边缘面距所述置物平面的距离与所述第二边缘面距所述置物平面的距离相等。
[0009]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第一光路包括第一上偏转面、第二上偏转面及第三上偏转面，所述第一上偏转面、第二上偏转面及第三上偏转面沿着所述第一光线的传送路径依次布置；所述第二光路包括第一下偏转面、第二下偏转面及第三下偏转面，所述第一下偏转面、第二下偏转面及第三下偏转面沿着所述第二光线的传送路径依次布置；所述第三光路包括第一中偏转面、第二中偏转面、第三中偏转面及第四中偏转面，所述第一中偏转面、第二中偏转面、第三中偏转面及第四中偏转面沿着所述第三光线的传送路径依次布置。
[0010]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述保持机构包括：中安装板；沿所述第一方向布置于所述中安装板两侧的上安装板及下安装板；其中，所述第三上偏转面、第三下偏转面、第一中偏转面及第四中偏转面安装至所述中安装板；所述第一上偏转面及第二上偏转面安装至所述上安装板；所述第一下偏转面及第二下偏转面安装至所述下安装板；所述第一上偏转面、第二上偏转面、第三上偏转面、第一下偏转面、第二下偏转面、第三下偏转面、第一中偏转面、第二中偏转面、第三中偏转面及第四中偏转面关于所述中安装板同侧布置；所述上安装板、下安装板及中安装板中的至少两者结合为一体结构，或者，所述上安装板、下安装板及中安装板中的至少两者独立成分体结构。
[0011]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述保持机构还包括平移组件，所述上安装板和/或下安装板通过所述平移组件与所述中安装板构成平移式的分体结构；所述平移组件包括平移调节件、固定设置的平移导轨以及与所述平移导轨滑动连接的滑块；其中，所述平移导轨沿所述第一方向延伸，所述上安装板或所述下安装板与所述滑块相固接，所述平移调节件与所述滑块传动连接。
[0012]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述光学系统还具有与所述第二方向相平行的光轴，所述光轴位于所述置物平面内；所述光学系统还包括第一光源及第二光源，所述保持机构还包括光源安装组件，所述第一光源及第二光源通过所述光源
安装组件安装至所述中安装板，以致所述第一光源与第二光源射出的光线照射在所述待测产品的外周边缘以构成一采光区，部分所述采光区在所述光轴的方向上与所述第一中偏转面相对，部分所述采光区在所述第一方向上与所述第一上偏转面或所述第二上偏转面相对。
[0013]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述光源安装组件包括：安装架，其与所述中安装板固定连接；以及安装柱，其与所述安装架固定连接，所述安装柱沿所述第一方向延伸；其中，所述第一光源及第二光源可转动调节地连接至所述安装柱。
[0014]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，还包括相机及镜头，所述相机与所述第三光路共面设置，所述镜头布置在所述相机与所述光学系统之间，所述边缘三面检测装置满足以下条件式：;其中，为镜头的物距，为镜头的像距，为镜头的像方焦距，为镜头的放大倍率，为像方高度，为物方视场，为像元尺寸，为边缘三面检测装置的分辨率。
[0015]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过对光路进行偏转，使得三个光路的光程相等，实现了能够对待测产品的边缘区域的三个表面同时清晰成像。
[0016]上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于无需采用大景深镜头即可进行对成像后的图像进行清晰采集，缩小了系统的整体体积，简化了系统结构。
[0017]上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于采用的三面检测光路，可以获得较大的物方视场，扩大了待测产品的边缘检测面积，提高了检测效率。
附图说明
[0018本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种边缘三面检测装置，其特征在于，包括光学系统（1）及保持机构（2），所述光学系统（1）用于对待测产品（5）的边缘部分进行缺陷检测，所述待测产品（5）具有彼此相背离的第一表面（51）、第二表面（52）及侧表面（53），所述第一表面（51）及所述第二表面（52）在各自的周向边缘处分别具有第一边缘面（511）及第二边缘面（521），所述侧表面（53）连接在所述第一边缘面（511）与第二边缘面（521）之间，所述光学系统（1）包括：第一光路（11），其具有第一接收端及第一出射端，所述第一接收端被定位为接收来自所述第一边缘面（511）的第一光线并将所述第一光线传送到所述第一出射端；第二光路（12），其具有第二接收端及第二出射端，所述第二接收端被定位为接收来自所述第二边缘面（521）的第二光线并将所述第二光线传送到所述第二出射端；以及第三光路（13），其具有第三接收端及第三出射端，所述第三接收端被定位为接收来自所述侧表面（53）的第三光线并将所述第三光线传送到所述第三出射端；其中，所述第一出射端、所述第二出射端及所述第三出射端终止于一采集平面，定义：第一接收端与第一出射端间的光程为第一光程；第二接收端与第二出射端间的光程为第二光程；第三接收端与第三出射端间的光程为第三光程；则所述保持机构（2）用于将所述第一光路（11）、第二光路（12）及第三光路（13）保持在预设的位置关系，以致所述第一光程、第二光程及第三光程三者光程相等。2.如权利要求1所述的边缘三面检测装置，其特征在于，所述光学系统（1）具有置物平面、第一方向、第二方向及第三方向；所述第一方向与所述置物平面相垂直，所述第一方向、第二方向及第三方向两两相互垂直；其中，所述置物平面穿过所述待测产品（5）的中心（54），以致所述第一边缘面（511）距所述置物平面的距离与所述第二边缘面（521）距所述置物平面的距离相等。3.如权利要求2所述的边缘三面检测装置，其特征在于，所述第一光路（11）包括第一上偏转面（1111）、第二上偏转面（1121）及第三上偏转面（1131），所述第一上偏转面（1111）、第二上偏转面（1121）及第三上偏转面（1131）沿着所述第一光线的传送路径依次布置；所述第二光路（12）包括第一下偏转面（1211）、第二下偏转面（1221）及第三下偏转面（1231），所述第一下偏转面（1211）、第二下偏转面（1221）及第三下偏转面（1231）沿着所述第二光线的传送路径依次布置；所述第三光路（13）包括第一中偏转面（1311）、第二中偏转面（1321）、第三中偏转面（1331）及第四中偏转面（1341），所述第一中偏转面（1311）、第二中偏转面（1321）、第三中偏转面（1331）及第四中偏转面（1341）沿着所述第三光线的传送路径依次布置。4.如权利要求3所述的边缘三面检测装置，其特征在于，所述保持机构（2）包括：中安装板（23）；沿所述第一方向布置于所述中安装板（23）两侧的上安装板（21）及下安装板（22）；其中，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：苏州高视半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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