【技术实现步骤摘要】
一种半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法
[0001]本专利技术涉及高纯电子化学品的制备
,具体涉及一种半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法。
技术介绍
[0002]丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)是一种高级溶剂,其分子中既有醚键,又有羰基,羰基又形成了酯的结构,同时又含有烷基。在同一分子中既有非极性部分,又有极性部分,这两部分的官能团既相互制约排斥,又各自起到其固有的作用。因此,对非极性物质和极性物质都有一定的溶解能力。因此,目前常将其用作液晶显示器、光刻胶等半导体制造工艺,例如用作清洗剂,而由于化学品纯度和洁净度将直接影响着半导体的成品率、电学性能和长期可靠性等性能,使得该些工艺对于化学品纯度和洁净度有着极高的要求,并且随着高端光刻加工技术的持续发展,要求该些化学品必须达到国际半导体设备和材料组织制定的SEMI
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C12标准要求。目前有人提出如下路线:以工业级丙二醇甲醚醋酸酯为原料,先通过精馏,分子筛脱水,再通过树脂脱酸,阳、阴离子交换树脂去除金属离子和非金属离子,最后再超滤,但是该方案是以结果为导向,即针对每一步都提出了指标要求,然后重复进行每个步骤直至达到指标为止,连续性较差,成本太高,难以适于工业化应用。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是克服现有技术的不足,提供一种改进的丙二醇甲醚醋酸酯的提纯方法,该方法能够连续性且较低成本的获得满足SEMI
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C12标准的半导体级丙二醇甲醚醋酸酯。
[0004]为达到上述目的,本专利技术采用的技术方案 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法,该制备方法以工业级丙二醇甲醚醋酸酯为原料,其特征在于,该制备方法包括依次进行的如下步骤:(1)采用分子筛将原料进行脱水;(2)将经步骤(1)处理后的原料依次经过第一萃取精馏塔、第二萃取精馏塔和第三萃取精馏塔进行处理;其中,所述第一萃取精馏塔从塔釜采出丙二醇甲醚醋酸酯,所述第二萃取精馏从侧线采出丙二醇甲醚醋酸酯,所述第三萃取精馏塔从塔釜采出丙二醇甲醚醋酸酯,所述第一萃取精馏塔、所述第二萃取精馏、所述第三萃取精馏塔分别独立地采用醋酸丁酯、1,2
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丙二醇和异丙醇中的一个作为萃取剂且各不相同;(3)将经步骤(2)处理后的原料依次经过滤芯以除去颗粒物、经分子蒸馏塔再次脱水;(4)将经步骤(3)处理后的原料通过有机硅酮改性聚丙烯腈膜除去金属离子;(5)将经步骤(4)处理后的原料依次经过去除阴离子的凝胶苯乙烯基阴离子交换树脂、去除阳离子的改性聚四氟乙烯膜、除去颗粒物的纳滤处理,获得纯化后的丙二醇甲醚醋酸酯。2.根据权利要求1所述的半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,分子筛选用3埃或者4埃硅铝酸盐分子筛的一种。3.根据权利要求1所述的半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述第一萃取精馏塔、所述第二萃取精馏、所述第三萃取精馏塔分别采用的填料为碳纤维增强聚四氟乙烯填料,塔板数为20
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30,回流比为2
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8,塔顶温度为75
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110℃,塔侧线温度为95
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155℃,塔釜温度为115
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190℃。4.根据权利要求3所述的半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法,其特征在于,当萃取剂为醋酸丁酯时,塔顶温度为95
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110℃,塔侧线温度为110
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135℃,塔釜温度为130
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150℃;当萃取剂为1,2
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丙二醇时,塔顶温度为100
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110℃,塔侧线温度为140
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155℃,塔釜温度为180
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190℃;当萃取剂为异丙醇时,塔顶温度为75
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88℃,塔侧线温度为95
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106℃,塔釜温度为115
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125℃。5.根据权利要求3所述的半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法,其特征在于,当萃取剂为醋酸丁酯时,回流比为2...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘耀鹏,高小云,傅华,金炳生,刘兵,
申请(专利权)人:晶瑞电子材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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