The invention relates to an electrode unit, which comprises a plurality of plasma electrode pairs, the plasma electrode pair is suitable for igniting the plasma between the first plasma electrode and the second plasma electrode of each plasma electrode pair when a certain voltage is applied, the electrode unit includes at least one internal electric conveying network, which is suitable for conveying the first voltage to All first plasma electrodes and deliver a second voltage to all second plasma electrodes, wherein at least one of the voltages is high frequency, and the electrode unit includes a first and a second wiring clamp adapted to feed the first or second voltage into the at least one delivery network. The internal electric conveying network comprises a plurality of wires, wherein the conveying network is adapted by the arrangement structure of the wires, the geometric dimensions and / or materials, and / or the arrangement structure of the feeding points fed into the electrode unit by the first or second voltage within the conveying network and the frequency of the first and / or second voltage.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包括用于输送高频电压的内部网络的电极单元和用于等离子体处理设备的支架布置结构
本专利技术涉及一种用于等离子体处理设备的电极单元,其中,所述电极单元包含多个等离子体电极对,所述等离子体电极对适合于尤其是在真空中产生电容性耦合的等离子体,并且不同的高频电压分别通过内部的电输送网络输送给每个等离子体电极对的两个等离子体电极。此外本专利技术也涉及一种用于等离子体处理设备的支架布置结构,其中,所述支架布置结构包含至少两个这样的电极单元。
技术介绍
等离子体工艺例如在太阳能电池制造、微电子或基板表面(例如玻璃)的精整中用于沉积或去除层或颗粒;用于掺杂层、例如通过等离子体浸渍离子注入;或用于净化或激活基板的表面。以下所有这些等离子体工艺称为等离子体处理。在电容性耦合的等离子体中,要处理的基板处于两个等离子体电极之间的空间内,其中,低频或高频电压施加到所述两个等离子体电极上。在此基板通常通过与等离子体电极之一直接的欧姆接触加载电压。然而尤其是在等离子体辅助地沉积介电层时也可能在等离子体电极上至少在一个基板边缘区域中构成相应的绝缘层,所述绝缘层负面影响在其他的以下铺设到同一个等离子体电极上的基板上的沉积的均一性。为了提高在等离子体处理时对基板的处理能力,使用其中同时处理多个基板的批量系统。在此,具有要处理的表面的基板可以并排或相叠地设置。所述基板分别设置在等离子体电极对的等离子体电极之间,所述等离子体电极彼此电绝缘并且这样与电压输送部连接,使得在这些等离子体电极对的每个等离子体电极对的等离子体电极之间可以电容性 ...
【技术保护点】
1.电极单元(10、101...109),适合于在等离子体处理设备的处理室中等离子体处理多个基板(14),包括/n-沿第一方向的多个等离子体电极对,其中,每个等离子体电极对包括第一等离子体电极(12)和第二等离子体电极(13),所述第一等离子体电极和第二等离子体电极彼此平行并且彼此对置地设置并且彼此电绝缘,并且适合于在存在所定义的电压时在等离子体电极对的第一和第二等离子体电极(12、13)之间的等离子体空间(15)中点燃等离子体,/n-至少一个内部的电输送网络(17、18、20),其适合于在处理室内将第一电压输送给电极单元(10、101...109)的每个第一等离子体电极(12)并且将第二电压输送给电极单元(10、101...109)的每个第二等离子体电极(13),其中,所述电压中的至少一个电压是具有在1MHz至100MHz的范围内的频率的电压,/n-第一接线夹(A)和第二接线夹(B),其适合于将第一电压通过第一接线夹(A)并且将第二电压通过第二接线夹(B)馈入到所述至少一个内部的电输送网络(17、18、20)中,/n其特征在于,所述至少一个内部的电输送网络(17、18、20)按照等离 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170228 EP 17158448.51.电极单元(10、101...109),适合于在等离子体处理设备的处理室中等离子体处理多个基板(14),包括
-沿第一方向的多个等离子体电极对,其中,每个等离子体电极对包括第一等离子体电极(12)和第二等离子体电极(13),所述第一等离子体电极和第二等离子体电极彼此平行并且彼此对置地设置并且彼此电绝缘,并且适合于在存在所定义的电压时在等离子体电极对的第一和第二等离子体电极(12、13)之间的等离子体空间(15)中点燃等离子体,
-至少一个内部的电输送网络(17、18、20),其适合于在处理室内将第一电压输送给电极单元(10、101...109)的每个第一等离子体电极(12)并且将第二电压输送给电极单元(10、101...109)的每个第二等离子体电极(13),其中,所述电压中的至少一个电压是具有在1MHz至100MHz的范围内的频率的电压,
-第一接线夹(A)和第二接线夹(B),其适合于将第一电压通过第一接线夹(A)并且将第二电压通过第二接线夹(B)馈入到所述至少一个内部的电输送网络(17、18、20)中,
其特征在于,所述至少一个内部的电输送网络(17、18、20)按照等离子体电极(12、13)在电极单元(10、101...109)中的布置结构和第一电压和/或第二电压的频率来设计,其中,所述至少一个内部的电输送网络(17、18、20)具有在第一或第二接线夹(A、B)之间的馈电线(174a-g、184a-g)和至少两个第一或至少两个第二等离子体电极(12、13)和/或在两个相邻的第一或第二等离子体电极(2、3)之间的中间导线(172a-i、182a-i、212a-212i、222a-222i)和到由相互连接的中间导线(172a-172i、182a-182i、212a-i、222a-i)组成的第一或第二系统(170、180、210、220)中的各一个馈入点(173、183、213、223)以及在第一或第二接线夹(A、B)和所属的馈入点(173、183、213、223)之间的各一个连接导线(171、181、211、221),并且所述网络的设计包括馈电线(174a-g、184a-g)的适合的布置结构、和/或馈电线(174a-g、184a-g)和/或中间导线(172a-i、182a-i、212a-212i、222a-222i)和/或连接导线(171、181、211、221)的适合的几何尺寸、和/或馈电线(174a-g、184a-g)和/或中间导线(172a-i、182a-i、212a-i、222a-i)和/或连接导线(171、181、211、221)的适合的材料、和/或馈入点(173、183、213、223)关于电极单元(10、101...109)沿第一方向的适合的布置结构。
2.按照权利要求1所述的电极单元,其特征在于,所述馈电线(174a-g、184a-g)和/或中间导线(172a-i、182a-i、212a-i、222a-i)和/或连接导线(171、181、211、221)分别是具有在0.1mm至5mm的范围内的厚度和在1mm至100mm的范围内的宽度的金属条。
3.按照权利要求1或2所述的电极单元,其特征在于,所述馈电线(174a-g、184a-g)和/或中间导线(172a-i、182a-i、212a-i、222a-i)和/或连接导线(171、181、211、221)分别是由包括铝、铜、银和镀银的铜的组中的高导电性的材料制成的金属条。
4.按照上述权利要求之一所述的电极单元(101),其特征在于,所述电极单元具有内部的第一电输送网络(17)和内部的第二电输送网络(18),所述第一输送网络适合于在处理室内将第一电压输送给电极单元的每个第一等离子体电极(12),所述第二输送网络适合于在处理室内将第二电压输送给电极单元的每个第二等离子体电极(13),其中,第一输送网络(17)和第二输送网络(18)空间上彼此分开,第一输送网络(17)的馈入点(173)设置在如下第一等离子体电极(12)的高度上,所述第一等离子体电极沿第一方向作为首个设置在彼此间通过由中间导线(172a-i)组成的第一系统(170)连接的各第一等离子体电极(12)的组中,并且第二输送网络(18)的馈入点(183)设置在如下第二等离子体电极(13)的高度上,所述第二等离子体电极沿第一方向作为首个设置在彼此间通过由中间导线(182a-i)组成的第二系统(180)连接的第二等离子体电极(13)的组中,从而馈入的第一或第二电压在第一和第二系统(170、180)中沿相同的方向传输。
5.按照权利要求1至4之一所述的电极单元(102),其特征在于,所述电极单元具有内部的第一电输送网络(17)和内部的第二电输送网络(18),所述第一输送网络适合于在处理室内将第一电压输送给电极单元的每个第一等离子体电极(12),所述第二输送网络适合于在处理室内将第二电压输送给电极单元的每个第二等离子体电极(13),其中,第一输送网络(17)和第二输送网络(18)空间上彼此分开,第一输送网络(17)的馈入点(173)设置在如下第一等离子体电极(12)的高度上,所述第一等离子体电极沿第一方向作为首个设置在彼此间通过由中间导线(172a-i)组成的第一系统(170)连接的第一等离子体电极(12)的组中,并且第二输送网络(18)的馈入点(183)设置在如下第二等离子体电极(13)的高度上,所述第二等离子体电极沿第一方向作为最后一个设置在彼此间通过由中间导线(182a-i)组成的第二系统(180)连接的第二等离子体电极(13)的组中,从而馈入的第一或第二电压在第一和第二系统(170、180)中沿相反的方向传输。
6.按照权利要求1至4之一所述的电极单元(103),其特征在于,所述电极单元具有内部的第一电输送网络(17)和内部的第二电输送网络(18),所述第一输送网络适合于在处理室内将第一电压输送给电极单元的每个第一等离子体电极(12),所述第二输送网络适合于在处理室内将第二电压输送给电极单元的每个第二等离子体电极(13),其中,第一输送网络(17)和第二输送网络(18)在空间上彼此分开,第一输送网络(17)的馈入点(173)设置在一个第一等离子体电极(12)和另一个第一等离子体电极(12)之间,所述一个第一等离子体电极沿第一方向作为最后一个设置在彼此间通过由中间导线(172a-i)组成的第一系统(170)连接的第一等离子体电极(12)的组中,所述另一个第一等离子体电极沿第一方向作为最后一个设置在彼此间通过由中间导线(172a-i)组成的第一系统(170)连接的第一等离子体电极(12)的组中,并且第二输送网络(18)的馈入点(183)设置在一个第二等离子体电极(13)和另一个第二等离子体电极(13)之间,所述一个第二等离子体电极沿第一方向作为首个设置在彼此间通过由中间导线(182a-i)组成的第二系统(180)连接的第二等离子体电极(13)的组中,所述另一个第二等离子体电极沿第一方向作为最后一个设置在彼此间通过由中间导线(182a-i)组成的第二系统(180)连接的第二等离子体电极(13)的组中,从而馈入的第一或第二电压在第一系统(170)的第一部分(170a)中和第二系统(180)的第一部分(180a)中沿第一方向传输并且在第一系统(170)的第二部分(170b)中和第二系统(180)的第二部分(180b)中沿相反于第一方向的第二方向传输。
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【专利技术属性】
技术研发人员:H·施勒姆,M·克尔,E·安佐格,
申请(专利权)人:迈尔博尔格德国有限公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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